超高真空計用のBPG402-Sx ATM

 

INFICON ベアード-アルパート ピラニ コンビネーション ゲージBPG402-Sは1台のコンパクトなユニットで2台の真空計として機能し、5×10-10 mbarから大気圧 (3.8×10-10 Torrから大気圧) までを計測します。テクノロジーを組合せることによってインストール、セットアップ、統合の複雑さを軽減しました。経済的なパッケージ1台で基準気圧計測ができ、手頃に再現性あるプロセスを実現する、酸化イットリウム二重コーティングのイリジウムフラメント付きBPG402-Sをお選びください。オンボード校正データと一緒になったセンサー部がセンサー交換時の高い再生産性を保証します。

 

この ベアード ホットイオン (Dual Filament) ピラニ組合せゲージ BPG402-S シリーズは、  ITR 200 シリーズのホットイオン - パラにトランスミッターと直接交換が可能です:

 

利点

  •  ITR 200 シリーズと直接交換
  • 5×10-10 mbar から大気圧 (3.8×10-10 Torr から大気圧) という非常に広い計測範囲
  • 10-8 … 10-2 mbar の 5%という圧力範囲プロセスにおける優れた再現性
  • ピラニのインターロックがフィラメント断線から保護
  • 長寿命のイットリアコートイリジウム・ダブルフィラメント
  • オプションでグラフィックディスプレーとフールドバスインターフェースも有り
  • 自動高真空ピラニ調整は作業者による介入を軽減します。
  • オンボード校正データと一緒になったセンサ部が交換時の高い再生産性を保証します。
  • RoHS 指令に適合

標準的なアプリケーション

  • 半導体プロセスと移送チャンバーにおける圧力計測
  • 工業塗料
  • 一般的な真空計測と低~超高真空領域の圧力制御

ニュース

 ITR 200 シリーズと直接交換が可能です。

新製品 EtherCATデジタルインターフェース搭載モデルを発売

  • tiba31e1 Massbild.png

仕様

Material-NoTypMaterial-NoTyp
353-570BPG402-SDN 25 ISO-KF=230 250ITR 200 SDN25 KF
353-574BPG402-SPProfiBus, DN 25 ISO-KF=230 252ITR 200 SPDN25 KF, PB
353-571BPG402-SDN 40 CF-R=230 254ITR 200 SDN40 CF-R
353-576BPG402-SDDeviceNet, DN 25 ISO-KF=230 253ITR 200SDDN25 KF, DevNet
353-575BPSG402-SPProfiBus, DN 40 CF-R=230 256ITR 200 SPDN40CF-R, PB
タイプ BPG402-S
測定範囲 (Air、O2、CO、N2) 5×10-10 … 1000
精度  
10-8 ~ 10-2 mbar % of reading ±15
再現性  
10-8 ~ 10-2 mbar % of reading 5
脱ガス (1)  
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
最大圧力 bar (absolute) 2
温度  
使用温度 (周囲) °C 0 … +50
保存 °C -20 … +70
ベークアウト(電子ユニット BPG402-S 取外しフランジにおいて) °C 80
ベークアウト(電子ユニット BPG402-SL 取外しフランジにおいて) °C 150
供給電圧 +20 … +28
アナログ出力信号  
出力信号 V 0 … +10
測定範囲 V +0.774 … +10
電圧と圧力の関係 volts per decade 0.75
エラー信号 V 0.1 / 0.3 / 0.5
最小負荷インピーダンス kΩ 10
セットポイントリレー  
セットポイント数 1
レンジ mbar 1×10-9 … 100
リレー接点 n.o., potential free
ヒステリシス % of reading 10
接点定格 ≤30
デジタル機能 degas
インターフェース (デジタル) (2) RS232C
エミッションコントロール automatic / manual via interface
フィラメント two Yt2O3 coated Ir
フィラメントの状態/リレー LED / relay
電気接続 D-Sub, 15-pin, male
ケーブル長、最大 (3) m (ft.) 100 (330)
接ガス材料 Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
内部容積 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF g 450 / 710
保護クラス IP30
Profibus DP  
ボーレート 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
アドレス 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
デジタル機能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
アナログ機能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
セットポイントリレー: セットポイント数 2
セットポイントリレー: レンジ mbar 1×10-9 … 100
セットポイントリレー: リレー接点 n.o., potential free
セットポイントリレー: ヒステリシス % of reading 10
セットポイントリレー: 接点定格 ≤30
Profibus DP 用コネクター D-Sub, 9-pin, female
CDG 用コネクタ(アナログ出力、供給電圧、セットポイント) D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™  
プロトコル DeviceNet™, group 2 slave only
データレートスイッチ kBaud 125, 250, 500 or network programmable
ケーブル長さ 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
ケーブル長さ 250 kbps m (ft.) 250 (825)
ケーブル長さ 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
デジタル機能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
アナログ機能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
仕様 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
デバイスタイプ ''CG'' for combination gauge
I/O スレーブメッセージング polling only
セットポイントリレー:セットポイント数 2
セットポイントリレー: 設定範囲 mbar 1×10-9 … 100
セットポイントリレー: リレー接点 n.o., potential free
セットポイントリレー: ヒステリシス % of reading 10
セットポイントリレー: 接点定格 ≤30
DeviceNet™ 用供給電圧 +11 … +25
ゲージ用供給電圧 +20 … +28
DeviceNet™ 用コネクター Microstyle, 5-pin
BPG 用コネクタ (アナログ出力、供給電圧、セットポイント) D-Sub, 15-pin, male
EtherCAT  
Protocol EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
通信規格 ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
ノードアドレス Explicit Device Identification
物理層 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
デジタル機能 EtherCAT read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information
処理データ Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
Mailbox(CoE) SDO requests, responses and information
EtherCATコネクタ RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
ケーブル shielded Ethernet CAT5e or higher
ケーブル長 m (ft.) ≤100 (330)

1) デガス動作中は通常の計測値に比べて精度は劣ります

2) RS232C または VGC40xシリーズのコントローラとフィールドバスの同時使用は許可されません

3) RS232C 操作 <30m

部品番号

BPG402-S
部品番号 品目
353-570 BPG402-S DN25KF (ディスプレイ無し)
353-571 BPG402-S DN 40 CF-R
353-572 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-573 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-574 BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-575 BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-576 BPG402-SD DN25KF
353-577 BPG402-SD DN40CF-R
353-578 BPG402-SL BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
354-494 交換センサー BPG402/DN25KF
354-495 交換用センサ BPG402/DN40CF
354-496 BPG402-SL Spare measurement system DN40C
353-511 Power supply BPG400 24VDC

アクセサリ

BPG402-S
部品番号 品目
353-511 Power supply BPG400 24VDC
353-512 BAFFLE for BPG400
211-113 Centering ring with baffle DN 25 KF
友人へ送信