超高真空計用のBPG400 ATM

 

INFICON ベアード-アルパート ピラニ コンビネーション ゲージ BPG400 は、1 つのコンパクトなユニットに2つの真空計機能が搭載され、5×10-10 mbar から大気圧までの計測が可能です (3.8×10-10 Torr から大気圧まで)。この組み込み技術が、複雑なインストール、セットアップ、統合の手順を簡素化します。経済的なシングルパッケージでべース圧力測定をするなら、手頃な価格で繰り返しプロセスを得意とする BPG400 をぜひお選びください。

この ベアード ホットイオン ピラニ コンビネーションゲージ BPG400 シリーズは、  ITR 90 シリーズと直接交換が可能です:

 

部品番号タイプ部品番号タイプ
353-500BPG400DN 25 ISO-KF=120 90ITR 90DN 25 ISO-KF
353-502BPG400DN 40 CF-R=120 92ITR 90DN 40 CF-R
353-505BPG400-SPProfiBus、DN 25 KF=230 030ITR 90DN 25 ISO-KF
353-506BPG400-SPProfiBus、DN 40 CF-R230 031ITR 90DN 40 CF-R
353-501BPG400LCD、DN 25 ISO-KF=120 91ITR 90DN 25 ISO-KF Displ.
353-503BPG400LCD、DN 40 CF-R=120 94ITR 90DN 40 CF-R Displ.
354-490BPG400スペア-センサー DN 25 ISO-KF=E 121 02ITR 90スペア-センサー IE90 DN 25 KF
354-491BPG400スペア-センサー DN 40 CF-R=E 121 03ITR 90スペア-センサー IE90 DN CF-R

 

利点

  •  ITR 90 真空 トランスミッターと直接交換が可能です
  • 5×10-10 mbar から大気圧 (3.8×10-10 Torr から大気圧) という非常に広い計測範囲
  • 10-8 … 10-2 mbar の 5%という圧力範囲プロセスにおける優れた再現性
  • ピラニのインターロックがベイヤードアルパートシステムを過早フィラメントバーンアウトと高圧操業による過度の汚染から保護
  • 長寿命のイットリアコートイリジウム・フィラメント
  • オプションでグラフィックディスプレーとフールドバスインターフェースも有り
  • 自動高真空ピラニ調整はオペレーターの作業を軽減します。
  • RoHS 指令に適合
  • 一般的な真空計測と低から超高まで真空範囲のコントロール

標準的なアプリケーション

  • 半導体プロセスと移送チャンバーにおける圧力計測
  • 工業用コーティング
  • 一般的な真空計測と低から超高まで真空範囲のコントロール

ニュース

ITR 90 真空 トランスミッターと直接交換が可能
  • BPG400 Bayard Alpert Piran Gauge

仕様

タイプ BPG400
測定範囲 (Air、O2、CO、N2) 5×10-10 … 1000
精度  
10-8 ~ 10-2 mbar % of reading ±15
再現性  
10-8 ~ 10-2 mbar % of reading 5
脱ガス (1)  
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
圧力、最大 bar (absolute) 2
温度  
使用温度 (周囲) °C 0 … +50
保存 °C -20 … +70
ベークアウト(延長フランジ取付け時) °C 150
ベークアウト(延長フランジ取外し時) °C 80
ベークアウト(電子ユニットなし) °C 150
供給電圧 +20 … +28
アナログ出力信号  
出力信号 V 0 … +10
測定範囲 V +0.774 … +10
電圧と圧力の関係 volts per decade 0.75
エラー信号 V 0.3 / 0.5
最小負荷インピーダンス kΩ 10
インターフェース (デジタル) (2) RS232C
電気接続 D-Sub, 15-pin, male
ケーブル長、最大 (3) m (ft.) 100 (330)
真空にさらされる材料 Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
内部容積 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF g 285 / 550
保護クラス IP30
Profibus DP  
ボーレート 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
アドレス 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
デジタル機能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
アナログ機能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
セットポイントリレー: セットポイント数 2
セットポイントリレー: レンジ mbar 1×10-9 … 100
セットポイントリレー: リレー接点 n.o., potential free
セットポイントリレー: ヒステリシス % of reading 10
セットポイントリレー: 接点定格 60
Profibus DP 用コネクタ D-Sub, 9-pin, female
BPG 用コネクタ (アナログ出力、供給電圧、セットポイント) D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™  
プロトコル DeviceNet™, group 2 slave only
データレートスイッチ kBaud 125, 250, 500 or network programmable
ケーブル長さ 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
ケーブル長さ 250 kbps m (ft.) 250 (825)
ケーブル長さ 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
デジタル機能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
アナログ機能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
仕様 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
デバイスタイプ ''CG'' for combination gauge
I/O スレーブメッセージ polling only
セットポイントリレー: セットポイント数 2
セットポイントリレー: レンジ mbar 1×10-9 … 100
セットポイントリレー: リレー接点 n.o., potential free
セットポイントリレー: ヒステリシス % of reading 10
セットポイントリレー: 接点定格 60
DeviceNet™ 用供給電圧 +11 … +25
ゲージ用供給電圧 +20 … +28
DeviceNet™ 用コネクター Microstyle, 5-pin
BPG 用コネクター (アナログ出力、供給電圧、セットポイント) D-Sub, 15-pin, male

1) 脱ガス中に精度が低下

2) RS232C または VGC40xシリーズのコントローラ とフィールドバスの同時使用は許可されません

3) RS232C 操作 <30m

部品番号

BPG400
部品番号 品目
353-500 BPG400 DN25KF (ディスプレイ無し)
353-501 BCG400 LCD、DN 25 ISO-KF
353-502 BPG400 DN 40 CF-R
353-503 BPG400 LCD、DN 40 CF-R
353-505 BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-506 BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
354-490 BPG400 DN25KF 用交換用ヘッド
354-491 BPG400 DN40CF 用交換用ヘッド
353-511 Power supply BPG400 24VDC

アクセサリ

BPG400
部品番号 品目
353-510 100 mm sensor extension tube
353-511 Power supply BPG400 24VDC
353-512 BAFFLE for BPG400
211-113 Centering ring with baffle DN 25 KF

データシート

パンフレット

マニュアル

3Dステップファイル

その他のファイル

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