超高真空計用のBPG402-Sx ATM

 

INFICONベイヤードアルパートピラニコンビネーションゲージ、BPG402-Sは1台のコンパクトなユニットで2台の真空計の機能を持ち、5×10-10から大気圧(3.8×10-10 Torrから大気圧まで)までを計測します。テクノロジーを組合せることによってインストール、セットアップ、統合の複雑さを軽減しました。経済的なパッケージ1台で基準気圧計測ができ、手頃に再現性あるプロセスを実現する、2本の酸化イットリウムコーティングのイリジウムフラメントを備えたBPG402-Sをお選びください。センサ部にオンボード校正データが含まれていることにより、交換時の高い再現性が保証されます。

利点

  • 5×10-10 mbar~大気圧(3.8×10-10 Torr~大気圧)の非常に広範囲な計測
  • 優れた再現性を発揮するプロセス圧力範囲、10-8 … 10-2 mbarで5%
  • ピラニインターロック機構により、フィラメントが寿命前に焼き切れるのを防止
  • 長寿命の酸化イットリウムでコーティングされた2本のイリジウムフィラメント
  • オプションで、グラフィックディスプレイとFieldbusインターフェースもあります
  • 自動高真空ピラニ調整により作業者による介入を軽減
  • 交換が容易なセンサー部と、オンボード較正データにより高い再現性を保証
  • RoHSコンプライアンス

標準的なアプリケーション

  • 半導体プロセスと移送チャンバーの圧力計測
  • 工業用コーティング
  • 一般的な真空計測と低真空から超高真空までの範囲のコントロール

ニュース

NEW! EtherCATデジタルインターフェースが利用可能になりました!

  • tiba31e1 Massbild.png

仕様

タイプ BPG402-S
測定範囲 (Air、O2、CO、N2) 5×10-10 … 1000
精度  
10-8 ~ 10-2 mbar % of reading ±15
再現性  
10-8 ~ 10-2 mbar % of reading 5
脱ガス (1)  
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
最大圧力 bar (absolute) 2
温度  
使用温度 (周囲) °C 0 … +50
保存 °C -20 … +70
ベークアウト(電子ユニット BPG402-S 取外しフランジにおいて) °C 80
ベークアウト(電子ユニット BPG402-SL 取外しフランジにおいて) °C 150
供給電圧 +20 … +28
アナログ出力信号  
出力信号 V 0 … +10
測定範囲 V +0.774 … +10
電圧と圧力の関係 volts per decade 0.75
エラー信号 V 0.1 / 0.3 / 0.5
最小負荷インピーダンス kΩ 10
セットポイントリレー  
セットポイント数 1
レンジ mbar 1×10-9 … 100
リレー接点 n.o., potential free
ヒステリシス % of reading 10
接点定格 ≤30
デジタル機能 degas
インターフェース (デジタル) (2) RS232C
エミッションコントロール automatic / manual via interface
フィラメント two Yt2O3 coated Ir
フィラメントの状態/リレー LED / relay
電気接続 D-Sub, 15-pin, male
ケーブル長、最大 (3) m (ft.) 100 (330)
接ガス材料 Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
内部容積 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF g 450 / 710
保護クラス IP30
Profibus DP  
ボーレート 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
アドレス 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
デジタル機能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
アナログ機能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
セットポイントリレー: セットポイント数 2
セットポイントリレー: レンジ mbar 1×10-9 … 100
セットポイントリレー: リレー接点 n.o., potential free
セットポイントリレー: ヒステリシス % of reading 10
セットポイントリレー: 接点定格 ≤30
Profibus DP 用コネクター D-Sub, 9-pin, female
CDG 用コネクタ(アナログ出力、供給電圧、セットポイント) D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™  
プロトコル DeviceNet™, group 2 slave only
データレートスイッチ kBaud 125, 250, 500 or network programmable
ケーブル長さ 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
ケーブル長さ 250 kbps m (ft.) 250 (825)
ケーブル長さ 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
デジタル機能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
アナログ機能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
仕様 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
デバイスタイプ ''CG'' for combination gauge
I/O スレーブメッセージング polling only
セットポイントリレー:セットポイント数 2
セットポイントリレー: 設定範囲 mbar 1×10-9 … 100
セットポイントリレー: リレー接点 n.o., potential free
セットポイントリレー: ヒステリシス % of reading 10
セットポイントリレー: 接点定格 ≤30
DeviceNet™ 用供給電圧 +11 … +25
ゲージ用供給電圧 +20 … +28
DeviceNet™ 用コネクター Microstyle, 5-pin
BPG 用コネクタ (アナログ出力、供給電圧、セットポイント) D-Sub, 15-pin, male
EtherCAT  
Protocol EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
通信規格 ETG.5003.1 S (R) V1.1.0: Part 1 Common Device Profile (CDP) ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0: Part 2080: Specific Device Profile (SDP) Vacuum Pressure Gauge
ノードアドレス Explicit Device Identification
物理層 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
デジタル機能 EtherCAT read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information
処理データ Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
Mailbox(CoE) SDO requests, responses and information
EtherCATコネクタ RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
ケーブル shielded Ethernet CAT5e or higher
ケーブル長 m (ft.) ≤100 (330)

1) 脱気中の精度低下

2) RS232CまたはVGC40xシリーズコントローラーとFieldbusの同時使用は不可

3) RS232Cのオペレーションは<30m

部品番号

BPG402-S
部品番号 品目
353-570 BPG402-S DN25KF (ディスプレイ無し)
353-571 BPG402-S DN 40 CF-R
353-572 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-573 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-578 BPG402-SL BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-574 BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-575 BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-576 BPG402-SD DN25KF
353-577 BPG402-SD DN40CF-R
353-590 BPG402-SE ECAT、DN 25 ISO-KF
353-591 BPG402-SE ECAT、DN 40 CF-R
353-596 BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-597 BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R
354-494 交換センサー BPG402/DN25KF
354-495 交換用センサ BPG402/DN40CF

アクセサリ

BPG402-S
部品番号 品目
353-511 Power supply BPG400 24VDC
353-512 BAFFLE for BPG400
211-113 Centering ring with baffle DN 25 KF

スペア部品

BPG402-S
部品番号 品目
354-494 交換センサー BPG402/DN25KF
354-495 交換用センサ BPG402/DN40CF
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