超高真空計用のBPG400 ATM

 

INFICONベイヤードアルパートピラニコンビネーションゲージ、BPG400は、1台のコンパクトなユニットで2台の真空計の機能を持ち、5×10-10 mbarから大気圧(3.8×10-10 Torrから大気圧まで)までを計測します。テクノロジーを組合せることによってインストール、セットアップ、統合の複雑さを軽減しました。1台の経済的なパッケージで基準気圧計測ができ、再現性あるプロセスが実現できる、入手しやすいBPG400をお選びください。

利点

  • 5×10-10 mbar~大気圧(3.8×10-10 Torr~大気圧)の非常に広範囲な計測
  • 優れた再現性を発揮するプロセス圧力範囲、10-8 … 10-2 mbarで5%
  • ピラニインターロック機構により、Bayard-Alpertシステムを、フィラメントが寿命前に焼き切れることや、高圧でのオペレーションで過剰に汚染されることから守ります。
  • 長寿命の酸化イットリウムでコーティングされたイリジウムフィラメント
  • オプションで、グラフィックディスプレイとFieldbusインターフェースもあります
  • 自動高真空ピラニ調整により作業者による介入を軽減
  • RoHSコンプライアンス
  • 一般的な真空計測と低真空から超高真空までの範囲のコントロール

標準的なアプリケーション

  • 半導体プロセスと移送チャンバーの圧力計測
  • 工業用コーティング
  • 一般的な真空計測と低真空から超高真空までの範囲のコントロール
  • BPG400 Bayard Alpert Piran Gauge

仕様

タイプ BPG400
測定範囲 (Air、O2、CO、N2) 5×10-10 … 1000
精度  
10-8 ~ 10-2 mbar % of reading ±15
再現性  
10-8 ~ 10-2 mbar % of reading 5
脱ガス (1)  
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
圧力、最大 bar (absolute) 2
温度  
使用温度 (周囲) °C 0 … +50
保存 °C -20 … +70
ベークアウト(延長フランジ取付け時) °C 150
ベークアウト(延長フランジ取外し時) °C 80
ベークアウト(電子ユニットなし) °C 150
供給電圧 +20 … +28
アナログ出力信号  
出力信号 V 0 … +10
測定範囲 V +0.774 … +10
電圧と圧力の関係 volts per decade 0.75
エラー信号 V 0.3 / 0.5
最小負荷インピーダンス kΩ 10
インターフェース (デジタル) (2) RS232C
電気接続 D-Sub, 15-pin, male
ケーブル長、最大 (3) m (ft.) 100 (330)
真空にさらされる材料 Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
内部容積 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF g 285 / 550
保護クラス IP30
Profibus DP  
ボーレート 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
アドレス 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
デジタル機能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
アナログ機能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
セットポイントリレー: セットポイント数 2
セットポイントリレー: レンジ mbar 1×10-9 … 100
セットポイントリレー: リレー接点 n.o., potential free
セットポイントリレー: ヒステリシス % of reading 10
セットポイントリレー: 接点定格 60
Profibus DP 用コネクタ D-Sub, 9-pin, female
BPG 用コネクタ (アナログ出力、供給電圧、セットポイント) D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™  
プロトコル DeviceNet™, group 2 slave only
データレートスイッチ kBaud 125, 250, 500 or network programmable
ケーブル長さ 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
ケーブル長さ 250 kbps m (ft.) 250 (825)
ケーブル長さ 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
デジタル機能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
アナログ機能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
仕様 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
デバイスタイプ ''CG'' for combination gauge
I/O スレーブメッセージ polling only
セットポイントリレー: セットポイント数 2
セットポイントリレー: レンジ mbar 1×10-9 … 100
セットポイントリレー: リレー接点 n.o., potential free
セットポイントリレー: ヒステリシス % of reading 10
セットポイントリレー: 接点定格 60
DeviceNet™ 用供給電圧 +11 … +25
ゲージ用供給電圧 +20 … +28
DeviceNet™ 用コネクター Microstyle, 5-pin
BPG 用コネクター (アナログ出力、供給電圧、セットポイント) D-Sub, 15-pin, male

1) 脱気中の精度低下

2) RS232CまたはVGC40xコントローラーシリーズとFieldbusの同時使用は不可

3) RS232Cのオペレーションは <30m

部品番号

BPG400
部品番号 品目
353-500 BPG400 DN25KF (ディスプレイ無し)
353-501 BCG400 LCD、DN 25 ISO-KF
353-502 BPG400 DN 40 CF-R
353-503 BPG400 LCD、DN 40 CF-R
353-505 BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-506 BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-507 BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-508 BPG400-SD DeviceNet DN40CF-R
354-491 BPG400 DN40CF 用交換用ヘッド
354-490 BPG400 DN25KF 用交換用ヘッド

アクセサリ

BPG400
部品番号 品目
353-511 Power supply BPG400 24VDC
353-510 100 mm sensor extension tube
353-512 BAFFLE for BPG400
211-113 Centering ring with baffle DN 25 KF

スペア部品

BPG400
部品番号 品目
354-490 BPG400 DN25KF 用交換用ヘッド
354-491 BPG400 DN40CF 用交換用ヘッド
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