超高真空トリプルゲージ™に対するBCG450 ATM

 

INFICONベイヤード・アルパートピラニキャパシタンスダイアフラムゲージ(トリプルゲージ™)BCG450は、コンパクトかつ経済的な1台のパッケージに3種類のテクノロジーを組み込み、プロセスと、5×10-10~1500 mbar(3.75×10-10~1125 Torrまで)の基準気圧を計測することができます。BCG450は3つのセンサー(熱陰極、コンベクション式ピラニ、真空スイッチ)に代わるようにデザインされ、これによってコストを削減し、貴重なスペースを節約します。

利点

  • BCG450はコストとスペースを節約し、真空計測システムの取り付けとセットアップのる複雑さを軽減
  • 10 Torr以上のガス種に依存しない気圧計測は、どのような混合ガスに対しても、より信頼できるロードロックコントロールを実現します。
  • ピラニインターロック機構により、熱フィラメントが寿命前に焼き切れるのを防止
  • 自動高真空ピラニ調整により作業者による介入を軽減
  • 差圧測定により、気圧の変化による不確実性を取り除きます
  • 交換が容易なセンサー部と、オンボード較正データにより再現性を保証
  • オプションで、グラフィックディスプレイとFieldbusインターフェースもあります
  • RoHSコンプライアンス

標準的なアプリケーション

  • 半導体プロセスと移送、ロードロックチャンバーにおける圧力計測
  • 工業用コーティング
  • 一般的な真空計測と低真空から超高真空までの範囲でシステムをコントロール

ニュース

NEW! EtherCATデジタルインターフェースが利用可能になりました!

  • BCG450 dimensions

仕様

タイプ BCG450
測定範囲 5×10-10 … 1500
精度  
10-8 ~ 50 mbar % of reading ±15
50 ~ 950 mbar % of reading ±5
950 ~ 1050 mbar % of reading ±2.5
再現性  
10-8 ~ 10-2 mbar % of reading 5
熱陰極エミッションのアクチベーション mbar 2×10-2 (high)
(RS232 / フィールドバスを介して高/低を選択可能) mbar 8×10-3 (low)
脱ガス (1)  
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
最大圧力 bar (absolute) 5
温度  
使用温度 (周囲) °C 0 … +50
保存 °C -20 … +70
ベークアウト (フランジにおいて) °C 80
ベークアウト(電子ユニットなし) °C 150
供給電圧 20 … 28
アナログ出力信号  
出力信号 V 0 … 10.3
測定範囲出力 V 0.774 … 10.3
電圧と圧力の関係 volts per decade 0.75
エラー信号 V 0.3 / 0.5
最小負荷 kΩ 10
インターフェース (デジタル) (2) RS232C
コネクタ D-Sub, 15-pin, male
ケーブル長、最大 (3) m (ft.) 100 (330)
接ガス材料 Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass
内部容積 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF g 285 / 550
保護クラス IP30
DeviceNet™  
プロトコル DeviceNet™, group 2 slave only
データレートスイッチ kBaud 125, 250, 500 or network programmable
ケーブル長さ 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
ケーブル長さ 250 kbps m (ft.) 250 (825)
ケーブル長さ 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
ネットワークサイズ up to 64 nodes per segment
デジタル機能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
アナログ機能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
ビジュアルコミュニケーションインジケーター LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
仕様 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
デバイスタイプ ''CG'' for combination gauge
I/O スレーブメッセージング polling only
セットポイントリレー: セットポイント数 2
セットポイントリレー: レンジ mbar 1×10-9 … 1400
セットポイントリレー: リレー接点 n.o., potential free
セットポイントリレー: ヒステリシス % of reading 10
セットポイントリレー: 接点定格 60
セットポイントリレー: コネクター D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™ 用供給電圧 11 … 25
ゲージ用供給電圧 20 … 28
DeviceNet™ 用コネクタ Microstyle, 5-pin
BCG 用コネクター (アナログ出力、供給電圧、セットポイント) D-Sub, 15-pin, male
Profibus DP  
ボーレート 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
アドレス 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
デジタル機能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
アナログ機能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
セットポイントリレー: セットポイント数 2
セットポイントリレー: レンジ mbar 1×10-9 … 1400
セットポイントリレー: リレー接点 n.o., potential free
セットポイントリレー: ヒステリシス % of reading 10
セットポイントリレー: 接点定格 60
Profibus DP 用コネクター D-Sub, 9-pin, female
BCG 用コネクタ (アナログ出力、供給電圧、セットポイント) D-Sub, 15-pin, male
EtherCAT  
Protocol EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
通信規格 ETG.5003.1 S (R) V1.1.0: Part 1 Common Device Profile (CDP) ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0: Part 2080: Specific Device Profile (SDP) Vacuum Pressure Gauge
ノードアドレス Explicit Device Identification
物理層 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
デジタル機能 EtherCAT read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information
処理データ Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
Mailbox(CoE) SDO requests, responses and information
EtherCATコネクタ RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
ケーブル shielded Ethernet CAT5e or higher
ケーブル長 m (ft.) ≤100 (330)

(1) 脱気中の精度低下

(2) RS232CまたはVGC40xシリーズコントローラーとFieldbusの同時使用は不可

(3) RS232Cのオペレーションは<30m

部品番号

BCG450
部品番号 品目
353-550 BCG450 DN25KF (ディスプレイ無し)
353-551 BCG450 DN 40 CF-R
353-552 BCG450 LCD、DN 25 ISO-KF
353-553 BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R
353-554 BCG450-SP TripleGauge; DN 25 ISO-KF
353-556 BCG450-SP TripleGauge; DN 40 CF-R
353-557 BCG450-SD TripleGauge; DN 25 ISO-KF
353-558 BCG450-SD TripleGauge; DN 40 CF-R.
353-592 BCG450-SE ECAT、DN 25 ISO-KF
353-593 BCG450-SE ECAT、DN 40 CF-R
353-598 BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-599 BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R
354-492 スペア センサーヘッド BCG450、DN 25 ISO-KF
354-493 BCG450 スペア測定 DN40CF-R
353-606 BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R

アクセサリ

BCG450
部品番号 品目
353-511 Power supply BPG400 24VDC
353-512 BAFFLE for BPG400
211-113 Centering ring with baffle DN 25 KF

スペア部品

BCG450
部品番号 品目
354-492 スペア センサーヘッド BCG450、DN 25 ISO-KF
354-493 BCG450 スペア測定 DN40CF-R
友人へ送信