BAG402中~超高真空計

INFICONシングルベイヤードアルパート熱陰極電離ゲージBAG402は、5 × 10-10~2.7×10-2 mbar (3.75 × 10-10~5 × 10-2 Torr)の測定範囲をカバーしています。小さいアクティブゲージパッケージで基準圧力計測ができ、手頃に再現性あるプロセスが実現できるINFICON BAG402をお選びください。独自の、サポートされているデュアルフィラメントは、優れた精度、長期安定性、長寿命を提供します。

利点

  • 測定範囲は5×10-10 mbar~2.7×10-2 mbar (3.75×10-10 Torr~5×10-2 Torr)
  • 優れた再現性を発揮するプロセス圧力範囲、10-8 … 10-2 mbarで5%
  • 過圧検出機構により、フィラメントが寿命前に焼き切れるのを防止
  • 長寿命の酸化イットリウムでコーティングされた2本のイリジウムフィラメント
  • 自動放出電流選択機構により、複雑な制御から解放
  • 交換が容易なセンサー部と、オンボード較正データにより高い再現性を保証
  • RoHSコンプライアンス

標準的なアプリケーション

  • 半導体プロセスと移送チャンバーの圧力計測
  • 工業用コーティング
  • 一般的な真空計測と低真空から超高真空までの範囲のコントロール
  • tiba46e1 Dimensioned Drawing.png

仕様

タイプ BAG402
測定範囲 (大気、O2、CO、N2) 5×10-10 … 2.7×10-2
精度  
10-8 … 10-2 mbar % of reading ±15
再現性  
10-8 … 10-2 mbar % of reading 5
Degas (1)  
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
最大圧力 bar (absolute) 2
温度  
動作 (環境) °C 0 … +50
保存 °C -20 … +70
ベークアウト(BPG402-Sユニット無しでフランジにおいて) °C 80
供給電圧 +20 … +28
出力信号 アナログ (4)  
出力信号 V 0 … +10
測定範囲 log / lin V 0 … +9
電圧と圧力の関係 volts per decade 1
エラー信号 V > +10
最小負荷インピーダンス kΩ 10
セカンダリアナログ出力 none
セットポイントリレー  
セットポイント数 none
範囲  
リレー接点  
ヒステリシス  
接点定格  
デジタル機能 degas and emission
インターフェース (デジタル) (2) Diagnosis port
エミッションコントロール manual
フィラメント two Yttriumoxid (Y2O3) coated Iridium (Ir)
フィラメントステータス /リレー LED / relay
電気接続 D-Sub, 9-pin, male
ケーブル最大長 m (ft.) 100 (330)
接ガス部材料 Y2O3, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
内部容積 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF g 450 / 710
保護クラス IP30

1) 脱気中の精度低下

2) RS232CまたはVGC40xシリーズコントローラーとFieldbusの同時使用は不可

部品番号

BAG402
部品番号 品目
353-600 BAG402 DSUB9 KF25
353-601 BAG402 DSUB9 CF40

アクセサリ

BAG402
部品番号 品目
303-333 Communication adapter(2m)forPC RS232

スペア部品

BAG402
部品番号 品目
354-484 スペアセンサーヘッド BAG402 DN 25 ISO-KF
354-485 スペアセンサーヘッド BAG402 DN 40 CF-R
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