BAG302中~超高真空計

INFICONシングルベアード-アルパート熱陰極電離真空計BAG302は、1.3 × 10-9から6.7×10-2 mbar (1 × 10-9から5 × 10-2 Torr)の広い測定範囲をカバーしています。コンパクトなオールインワン式の熱陰極電離ゲージBAG302は、交換の容易なデュアルフィラメントセンサ、内蔵のOLEDディスプレイ、セットポイントリレー機能、対数-線形アナログ出力、および統合型RS485デジタルインターフェースで、統合の柔軟性を向上させています。これらの機能が堅牢なデザインにまとめられているので、BAG302は、入手しやすく、再現性の高いプロセスからベースの圧力測定装置となっており、高価値で所有コストの低い選択肢です。

利点

  • 測定範囲は1.3 × 10-9から6.7×10-2 mbar (1 × 10-9から5 × 10-2 Torr)
  • 酸化イットリウムでコーティングされた、長寿命の2本のイリジウムフィラメントを標準装備
  • ディスプレイを内蔵し、セットポイント機能とアナログ出力を備え、統合型のRS485デジタルインターフェースを標準装備した、オールインワンアクティブゲージ
  • 明るいデジタルOLEDディスプレイとキーパッドを装備しており、セットアップ、操作、プログラミングが容易
  • ユーザーがプログラム可能なセットポイントリレー
  • ユーザーが選択可能な表示単位。mbar、TorrまたはPa
  • ユーザーが選択可能な放出電流の自動レンジ設定
  • 機械的強度と堅牢さ
  • 様々なフランジのオプションを選択可能
  • センサーエレメントの交換が容易
  • コンプライアンスと規格: CE、RoHS
  • ほとんどのGranville-Phillips® 354 Micro-Ion®モジュールと直接交換可能。ソフトウェアコマンド(RS485)を含め、同一のコントロール機能があります。

    (Granville-Phillips®およびMicro-Ion®は、MKS Instruments, Andover, MAの登録商標です)

標準的なアプリケーション

  • 半導体プロセスと移送チャンバーの圧力計測
  • 工業用コーティング
  • 一般的な真空計測と低真空から超高真空までの範囲のコントロール

ニュース

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  • BAG302 Dimensional drawing.png

仕様

タイプ BAG302
測定範囲 1.3 x 10-9 ... 6.7 x 10-2
精度(N2)  
1.3×10-8 … 6.7 ×10-2 mbar % of reading ±15
1×10-8 … 5×10-2 Torr % of reading ±15
再現性 % of reading ±5
脱気  
p < 6.7 x 10-5 mbar electron bombardment, 2 min (default)
p < 5.00 x 10-5 Torr (programmable between 2 ... 10 min)
温度  
動作時(周囲温度) °C 0 ... +40
保管 °C -40 ... +70
フランジ側のベークアウト(センサーのみ、電子機器を外した状態) °C 200
供給電圧 V (dc) +20 ... +28
出力信号アナログ V 0 ... +9 (log-linear)
電圧と圧力 volts per decade 1
セットポイントリレー 1 (single-pole double-throw relay (SPDT))
1 A at 30 V (dc) resistive, or V (ac) non-inductive
電気接続 D-Sub, 9-pin, male for analog, D-Sub, 9-pin, female for RS485
インターフェース (デジタル) RS485
放出制御 manual
フィラメント two Yt2O2 coated Ir
フィラメントのステータス display / digital output
デジタル機能 degas, filament on/off and emission control
真空に晒される材料 Yt2O3, Ir, W, Ta, stainless steel, glass, Ni
取り付けの向き any
内部容積 cm³ (in.³) 16.4 (1.0)
重量KF / CF 270
BAG302 Ordering Information.PNG
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