ALDセンサー

ALDアプリケーションにおいて精度とアップタイムを最適化し、メンテナンスは最小限

INFICONのALDセンサは、原子層蒸着(ALD)において、再現可能で正確、そして耐久性の高い水晶振動子マイクロバランス(QCM)計測を実現します。ALDセンサは最大で摂氏450º度までの使用が可能であり、ALDを実施する苛酷な環境においても動作するよう設計されています。暴露側の振動子の電極は完全に接地されているので、電気干渉について発生しうる問題を効果的に排除します。

ALDに特化した設計

INFICON ALDセンサのユニークな特徴は、振動子の背面をパージするのに使用されるガスチューブと、不活性ガス、通常は窒素で満たされたセンサキャビティです。そうすることで、反応チャンバガスがセンサヘッドに入り込むのを防ぎ、振動子の背面および電気接点に沈着物質が生じないように保てます。この手法によって、標準QCMが適さないシステムにおいてもin situ計測が可能になります。

フィードスルーおよびフィードスルー接続

INFICON ALDセンサは、カスタムの溶接長のものも利用できます。また圧縮フィッティングによって長さも調節できるので、ろう付けや溶接の必要はありません。すべての構成は2 ¾インチ(CF40) ConFlat®フランジフィードスルーを使用します。

より高精度の計測のための高温振動子

INFICONのALDセンサで、高温用途で最高の計測精度を達成し、低周波数ノイズを抑えるには、INFICONの新しい高温水晶振動子とあわせてご使用ください。これらの高温振動子、120、240、285°Cでの使用に最適化されているので、お客様のプロセスに適した水晶をご利用いただけます。その他の温度に最適化された水晶もご利用可能な場合があります。お客様のニーズについて、INFICONにご相談ください。

利点

  • 大半のALD処理温度との互換性あり
  • メンテナンスを大幅に削減
  • システムのアップタイムを最大化
  • 計測精度を最大化
  • 高い処理温度において低ノイズで安定した測定

機能

  • 最大450°Cの処理温度
  • ガスパージラインは振動子背面を沈着物質が生じないように維持
  • 溶接Conflatフランジ(CF40)オプション
  • Oリング圧縮継ぎ手オプション
  • 高温対応の振動子が利用可能

標準的なアプリケーション

  • 原子層蒸着(ALD)
ALD PN.png

アクセサリ

部品番号 品目
750-1058-G10 摂氏120度で最適化した振動子、6 MHz、14 mm(0.55インチ)、金、10パック
750-1059-G10 摂氏240度で最適化した振動子、6 MHz、14 mm(0.55インチ)、金、10パック
750-1060-G10 摂氏285度で最適化した振動子、6 MHz、14 mm(0.55インチ)、金、10パック

消耗品

名前 説明
水晶モニター振動子 水晶モニター振動子

スペア部品

部品番号 品目
007-007 固定器具スプリング (振動子保持用)
007-064 セラミック固定器具
007-094 Clamping Sring, UHV Bakeable Sensor
007-095 Handle, UHV Bakeable Sensor
007-098 メスコネクター (金輪とナット含む)
007-099 加熱可能ヘッドコンタクト
007-100 High Temperature BNC Insulator
007-103 Insulator, UHV Bakeable Sensor
007-104 High Temperature BNC Body, Bakeable
007-147 Vented Screw, 4-40 x 3/8 in.
007-228 #4-40 X 5/8ねじ
007-267-P2 Spreader Bar, UHV Bakeable Sensor
007-268-P1 Shoulder Washer, UHV Bakeable Sensor
007-269-P1 Shoulder Washer, UHV Bakeable Sensor
070-201 #4 SPLIT LOCKWASHER SS
084-069-P1 SCREW 4-40 x .187 LG PHIL FLAT HD SS
750-018-P3 SPLIT CLAMP {THD} {CLEAN} @
750-018-P5 SPLIT CLAMP {CLEAN} @
750-218-G1 振動子ホルダー
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