ワイドレンジ真空ゲージ

 

INFICONの幅広い真空計は優れた精度と信頼をコンパクトなデザインでお届けします。4つの物理的技術で、超高真空から大気圧まで、全範囲の真空をカバーします。.

 

INFICON Pirani技術によって、低~中真空範囲において費用対効果の高い測定を可能します。INFICONの小型キャパシタンスダイアフラム技術によって、低い真空範囲において正確な測定が可能になります。超高~高真空範囲は高温イオン化および低温イオン化技術によってカバーされます。.

 

各測定技術はスタンドアロンのセンサーとして利用するか、または 補助的な測定技術と組み合わせることで、全真空範囲において、最適な費用対効果を実現します。

 

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新型対流強化ピラニゲージ - アドバンストシリーズ

100 mbarから大気圧まで、より高い精度の計測を可能にするオールインワン対流強化ピラニゲージ。

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新型対流強化ピラニゲージ - スタンダードシリーズ

PGE300対流強化型のピラニゲージは、PGE500と同じセンサー技術が搭載されており、100から1000 mbarまでの計測範囲で同じ精度の測定が可能です。コストを最小限に抑えられるよう、最も重要な機能を内蔵しています

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新型対流ゲージ強化ピラニゲージ - パッシブ

100 mbarから大気圧まで高精度で測定する対流強化型のピラニゲージPGE050は、典型的な「パッシブゲージ - コントローラ」の組み合わせで使用するように作られています。組になる製品としては、当社のパッシブゲージコントローラVGC031およびVGC083があります。

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新型ベアード-アルパート真空計ヘッド - パッシブ

INFICONベアード-アルパートパッシブ真空計ヘッドBAG050、BAG051、BAG052およびBAG053は、INFICONの真空計コントローラVGC083A & VGC083Bとともに使用するように設計されています。

対応するコントローラVGC083 AとBについては、「真空計コントローラとアクセサリー」の章をご確認ください。



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新型逆マグネトロン冷陰極ゲージヘッド - パッシブ

INFICON逆マグネトロン冷陰極パッシブ真空計ヘッドMAG050とMAG060は、INFICON真空計コントローラVGC083Cとともに使用するように設計されています。

対応するコントローラVGC083Cについては、「真空計コントローラとアクセサリー」の章をご確認ください。



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新型ベアード-アルパートホットイオンゲージ - スタンダード

スタンドアローンのホットイオンゲージが必要な用途向けに、INFICONは、単一技術ベアード-アルパートホットイオンゲージと、新型の極めて経済的なスタンダードダブルフィラメントソリューションを提供しています。

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新しいベアードアルパートゲージ

単独のホットイオンゲージ技術を必要とするアプリケーションのため、INFICONは単独型のベアード·アルパートホットイオンゲージを提供しています。

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ベヤード・アルパートピラニゲージ

超高真空から大気圧までの非常に広い測定領域の為のコンビネーションゲージテクノロジー

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高圧熱陰極ピラニゲージ

2 x 10-6 mbarから大気圧までの範囲で正確なスパッタリングプロセス圧力コントロールを行うための、優れた繰り返しおよび再現可能な圧力計測を提供します



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ベヤード・アルパートピラニキャパシタンスダイアフラムゲージ-トリプルゲージ

コンビネーションゲージテクノロジー - 1台のパッケージに3種類のテクノロジーを組み込み、正確なプロセス圧とUHV から 1500 mbar までのベース圧力を計測することができます。

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新製品逆マグネトロンピラニゲージ

新製品Gemini™ 逆マグネトロン真空計は、大気圧から 1x10 – 9 mbar までの計測が可能な、すべての真空計測用途向けの主力製品です(特許申請中)。

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逆マグネトロンピラニゲージ

逆マグネトロンとピラニゲージの原理を組み合わせることにより、大気圧から 5 x 10-9 mbar までの高真空度を測定します

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ペニング式冷陰極真空計

堅牢なペニング式冷陰極真空計は、1 x 10-2 mbarから 1 x 10-9 mbar までの高真空領域で信頼できる測定を提供します。 オプションでフィールドバスもご利用できます。



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ピラニ標準ゲージ

最もコンパクトなピラニゲージ設計ながら、5 x 10-4 mbar から大気圧までの範囲で極めて信頼性の高い計測を実現



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ピラニ標準ゲージ - 最先端シリーズ

5 x 10-4 mbar から大気圧までの真空測定に最適なフィールドバスオプションなどのさまざまな特長を備えたコンパクトなピラニゲージ製品

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ピラニキャパシタンスダイアフラムゲージ

ピラニゲージとキャパシタンスダイアフラムゲージを組み合わせたもので、5 x 10-4 mbar から大気圧までの計測範囲に対応し、極めて高い精度で大気圧を検知します。

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真空計の較正サービス

真空ゲージは工場、もしくは、Dakksにてキャリブレーション

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検査文書サービス

特定のニーズに対応した適切な検査書類

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サービスドキュメント

INFICONサービス部門との情報交換をサポートする、サービス取引用のINFICONドキュメントテンプレート

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