互換性のある真空計とコントローラー

このカテゴリーでは、真空計測のニーズを満たす、幅広い種類の INFICON 真空計 を取り揃えています。INFICON は、次の ゲージ製品のオリジナルメーカーです。 INFICON ゲージ製品シリーズは、 右に表示された Oerlikon Leybold 真空 トランスミッター 製品ラインと 100% 交換が可能です: 

 

計測原理                      

INFICON タイプ                 

Oerlikon Leybold 真空タイプ                   

ピラニゲージ

PSG500、PSG502

=

TTR 91 / TTR 96

ピラニゲージ アドバンスト

PSG550 / PSG552 / PSG554

=

TTR 911 / TTR 916

ピラニ キャパシティブ ダイヤフラム ゲージ

PCG550 / PCG552 / PCG554

=

TTR 101

ベアード-アルパート ホットイオン ピラニゲージ

BPG400 / BPG402

=

ITR 90 / ITR 200

ぺニング ゲージ

PEG100

=

PTR 225 / PTR 237

冷陰極ゲージ

MPG400 / MPG500

=

PTR 90

アクティブゲージ コントローラー

VGC501 / VGC502 / VGC503

=

センター 1 / センター 2 / センター 3

アンビエント キャパシティブ ゲージ

CDG025D

=

CTR 100

45°C キャパシティブゲージ

CDG045D

=

CTR 101

DI センサー

DI 2000

=

DI 2000

真空スイッチ

VSC150A

=

PS 115

真空スイッチ

VSA100A

=

PS 113A

 

 

ご質問、あるいは現在お使いの Leybold 真空トランスミッターの交換をお考えでしたら、INFICON カスタマーサービスまでお気軽にお問い合わせください。

 

互換性のある真空計とコントローラー

コンパクトキャパシタンスダイアフラムゲージ

小さくて優れた性能

製品
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アンビエントキャパシタンスダイヤフラムゲージ - CTR 100 対応

温度補正、環境依存性なし

製品
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45°C キャパシタンスダイアフラムゲージ - CTR 101 対応

先例のないフルスケールに基づいた安定性を提供

製品
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新型対流強化ピラニゲージ - アドバンストシリーズ

100 mbarから大気圧まで、より高い精度の計測を可能にするオールインワン対流強化ピラニゲージ。

製品
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新型対流ゲージ強化ピラニゲージ - パッシブ

100 mbar から大気圧までの間でより高い精度を実現する対流強化ピラニゲージ PGE050 は、 従来の「パッシブゲージとコントローラーの組み合わせ」で、ゲージセンサーとして使用するように意図されています。 弊社のパッシブ ゲージ コントローラー VGC031 および VGC083 は、そのカウンターパートとしてお選びいただけます。

製品
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ピラニ標準ゲージ

最もコンパクトなピラニゲージ設計ながら、5 x 10-4 mbar から大気圧までの範囲で極めて信頼性の高い計測を実現



製品
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ピラニ標準ゲージ - 最先端シリーズ

5 x 10-4 mbar から大気圧までの真空測定に最適なフィールドバスオプションなどのさまざまな特長を備えたコンパクトなピラニゲージ製品

製品
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ピラニキャパシタンスダイアフラムゲージ

ピラニゲージとキャパシタンスダイアフラムゲージを組み合わせたもので、5 x 10-4 mbar から大気圧までの計測範囲に対応し、極めて高い精度で大気圧を検知します。

製品
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ベヤード・アルパートピラニゲージ

超高真空から大気圧までの非常に広い測定領域の為のコンビネーションゲージテクノロジー

製品
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新型ベアード-アルパートホットイオンゲージ - スタンダード

スタンドアローン式のホットイオンゲージが必要なアプリケーション用に、INFICON は、シングル技術ベアード-アルパート ホットイオン ゲージ と、新型の極めて経済的なスタンダードダブルフィラメントソリューションを提供します。

製品
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新製品逆マグネトロンピラニゲージ

新製品Gemini逆マグネトロン真空計は、大気圧から 1x10 – 9 mbar までの計測が可能な、すべての真空計測用途向けの主力製品です(特許申請中)。

製品
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逆マグネトロンピラニゲージ

逆マグネトロンとピラニゲージの原理を組み合わせることにより、大気圧から 5 x 10-9 mbar までの高真空度を測定します

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ペニング式冷陰極真空計

堅牢なペニング式冷陰極真空計は、1 x 10-2 mbarから 1 x 10-9 mbar までの高真空領域で信頼できる測定を提供します。 オプションでフィールドバスもご利用できます。



製品
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真空計コントローラ

新型アクティブゲージ コントローラシリーズ VGC50x は 最高の技術加工測定の状態およびコントロールに設計され、単一、デュアルならびにトリプルチャンネルデバイスが利用可能です。広範囲な INFICON アクティブゲージに対応し、 10-10 ~ 1500 mbar (10-10 ~ 1125 Torr) の全体圧力範囲のモニタおよびデータログならびに設定値ステータスのモニタおよびデータログに最適です。

VGC40x シリーズ (製造中止) へ互換しています。



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Spare sensor head BAG100

Spare sensor head for INICON BAG100 Bayard-Alpert Hot Ion Gauges.

BAG100 Hot Ion Gauges are discontinued since 2004. INFICON sill is able to support enduser, who have this gauge type still running on their production tools after all those years with the original spare sensor head.



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Pirani Standard Gauges - Passive

The INFICON Pirani Standard Gauges PSG050 & PSG051 use the vacuum gauge

controller VGC012 or VGC023 as operating Units. These VGC012 and VGC023 controller units are already discontinued for many years now but still can be seen in the field very often. So PSGG050 & PSG051 are still reuqested by many enduser as "consumable" to make the customer able to continue the keep his poduction tool alive.



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Penning Cold Cathode Gauges - Passive

The passive PEG050 Penning Cold Cathode Gauge provides reliable high vacuum measurements and is intended for the use with the older and meanwhile discontinued vacuum gauge Controller VGC023 as operating and control unit.

The rugged penning cold cathode sensor has no filment to burn out and due to the titanium cathode plates and the reduced high voltage after plasma ignition the gauge can be operated also in demanding sputtering applications.



利点
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DI センサー

キャパシティブ、リニア圧力センサー

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真空スイッチ

能動電子スイッチ、受動メカニカルスイッチ、絶対圧力/差動圧力計測用スイッチ

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新型真空計コントローラー (パッシブ対流強化ピラニ用) とアクセサリー

新型 INFICON 真空計コントローラー 031 (VGC031) は、INFICON ピラニゲージ強化 050 (PGE050) と組み合わせて使用するように設計されており、便利な電源供給、制御、読み取り機能が搭載されています。VGC031 と PGE050 は、1.3 × 10-4 から、最大 1333 mbar (1 × 10-4 ~ 1000 Torr) の真空システムの監視用に柔軟に組み合わせることが可能です。省スペースのパネル取り付け式ハウジングを備えた VGC031 は、2 つの設定点リレー、ユーザーが選択できる 4 つのアナログ出力、追加で提供される RS232/ RS485 デジタルインターフェースなど、多彩な機能をサポートします。明るくシャープでクリアな OLED 画面と統合されたキーパッド式ユーザーインターフェースが、この使いやすい真空計コントローラーパッケージを完成させます。堅牢な工業デザインにより、VGC031 は対流強化 PGE050 ゲージセンサーと組み合わせて、低真空から高真空まで経済的な真空測定が必要な多くの真空アプリケーションに最適にご使用いただけます。

製品
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新型真空計コントローラー (パッシブイオン化ゲージ用) とアクセサリー

新型 INFICON 真空計コントローラー VGC083は、PGE050 ゲージ 2 つと BAG05x ゲージ 1 つの一定の組み合わせで、パッシブゲージヘッド BAG05x と PGE050 とともに使用するために設計されています。VGC083 は、大気圧から 2.7×10-11mbar の真空圧を、BAG と PGE ゲージを使用して制御および監視します。システム統合を助ける、RS232 と RS485 のインターフェースとともに、あらゆるゲージヘッドに割り当て可能な 6 つの単極リレー。パッシブ ゲージ ヘッドと組み合わせた VGC083 の頑丈な工業用設計。幅広い真空計測用アプリケーションに、信頼できる経済的なシステムを提供します。

製品

サービスドキュメント

INFICONサービス部門との 情報交換をサポートする、 サービス取引用の INFICON ドキュメントテンプレート

製品

検査文書サービス

特定のニーズに対応した適切な検査書類

製品
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真空計および真空部品のカタログ/パンフレット

真空制御製品カタログおよび一般的な文書/パンフレットのダウンロード

製品