Controlador de deposición de película delgada XTC/3

Controlador de velocidad asequible y avanzado para una o varias capas

Consiga todo lo que desea en un controlador de deposición de película delgada para procesos de una o varias capas. El controlador XTC/3 junto con ModeLock patentado evita de forma probada los saltos de modo para obtener una calidad consistente. Con el controlador de deposición de película delgada XTC/3 conseguirá controlar de forma precisa la velocidad y el grosor de las deposiciones, la capacidad para prácticamente cualquier número de capas, una instalación fácil y una fiabilidad extremadamente alta para garantizar la productividad.

INFICON, líder mundial en control de deposición de película delgada, ahora ofrece un instrumento con un coste de propiedad increíblemente bajo por un valor sin precedentes.

Tanto si sus necesidades de control se reflejen la producción como en el uso de investigación y desarrollo, XTC/3 de INFICON es la elección perfecta.

Soporte de INFICON en todo el mundo

No importa dónde se encuentre, obtendrá respuestas rápidas, un servicio personalizado y un tiempo de actividad máximo. INFICON posee oficinas por todo el mundo y es el único fabricante de controladores de deposición de película delgada que le ofrece servicio local y asistencia técnica por todo el mundo.

Características

  • Disponible en modelos de una o múltiples capas
  • La tecnología patentada de ModeLock evita errores en el grosor de películas producidos por saltos de modo
  • Compatible con Crystal 12®, Crystal Six® de INFICON y la sustitución de cristales automático de sensores duales para obtener la máxima productividad
  • El modelo de múltiples capas XTC/3M resiste hasta 99 procesos, 999 capas, 32 películas, 2 sensores y dos fuentes
  • El modelo de una capa XTC/3S soporta hasta 9 películas, 2 sensores y dos fuentes
  • Pantallas gráficas TFT LCD fácil de leer
  • Se pueden asignar nombres descriptivos y exclusivos a las películas y procesos para recuperarlos con facilidad
  • Conexión Ethernet disponible
  • Sistema autónomo (no se necesita ordenador) o con software Windows® para funcionamiento con ordenador
  • Sustitución de tipo plug-and-play en los controladores XTC/2 de INFICON (se limita al conjunto de comandos y características de XTC/2)

Aplicaciones típicas

  • Revestimiento óptico de gama alta

Noticias

El panel frontal XTC/3 se ha rediseñado para cumplir nuestros nuevos estándares corporativos de INFICON
.

XTC/3M es el primer producto de película delgada que incorpora el nuevo diseño y
actualmente se está enviando en los nuevos productos. El panel frontal de nuevo diseño de
XTC/3S se empezará a distribuir a finales de 2013. Los paneles frontales de otros productos de película
delgada se actualizarán en 2014 y 2015.

Especificaciones

Tipo XTC3/S XTC3/M
Resolución de frecuencia ±0.028 Hz @ 6 MHz
±0.028 Hz @ 6 MHz
Rango de frecuencia de medición 6.0 to 5.0 MHz (fixed) 6.0 to 5.0 MHz (fixed)
Intervalo de medición 0.25 seconds 0.25 seconds
Medición/resolución de velocidad y grosor (1) ±0.034 Å ±0.034 Å
Tecnología de medición ModeLock ModeLock
Número de procesos 1 99
Número de capas 1 999
Número de programas de materiales (o películas) 9 32
Número de entradas de sensor 2 2
Compatibilidad con sensor CrystalSix/Crystal 12 Yes Yes
Cambio de soporte XTAL 2 Yes Yes
Número de salidas de fuente 2 2
Comunicaciones del equipo RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional
Velocidad de línea de baudios RS232 máx. 115.2 KBaud 115.2 KBaud
Sustitución automática de cristal Yes Yes
Número de relés 12, Not Event Assignable 12, Event Assignable
Número de funciones de relé programables 1 1
Funciones por relé 1 1
Potencia de voltaje de relé 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps
Número de entradas 8 TTL, 24VDC Max 8 TTL, 24VDC Max
Número de funciones de entrada programables 1, Not Event Assignable 1, Event Assignable
Número de salidas de registrador 1 1
Potencia manual/Controlador manual Yes Yes
Ventilador de escape No Exhaust Fan No Exhaust Fan
Modo de prueba Yes Yes
Retraso de obturador Yes Yes
Herramientas secundarias Yes Yes
Dimensiones de la caja half rack, 2U high half rack, 2U high
Resolución de la pantalla de velocidad y grosor 0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A 0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A
Selección de película mediante entradas Yes No
Idiomas de la guía de usuario English, Chinese English, Chinese
Circuitos de control PID PID
Software para operar desde PC Yes Yes
Registro de datos Yes Yes
Función de calidad y estabilidad Yes Yes
Muestra y retención (RateWatcher™) Yes Yes
Selección de crisol Yes Yes
Entrada de retroalimentación de crisol Yes Yes
Seleccionar polaridad de voltaje de control Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution
Código de bloqueo de programa Yes Yes
Pantalla con gráficos Yes Yes
Procesos etiquetados por el usuario (entrada alfanumérica de estilo de teléfono móvil) No No
Películas etiquetadas por el usuario (entrada alfanumérica de estilo de teléfono móvil) No No
Control de sensor de transferencia Yes Yes
Compatibilidad de comunicaciones XTC/2 RS232 Yes (limited) Yes (limited)

(1) Herramientas / densidad = 100/1, frecuencia fundamental = 6 MHz

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Accesorios

Nombre Descripción
Sensor individual de carga frontal Sensor individual de carga frontal
Sensor dual de carga frontal Sensor dual de carga frontal
Sensor individual Cool Drawer Sensor individual Cool Drawer
Sensor dual Cool Drawer Sensor dual Cool Drawer
Sensor de cabeza dual de bajo perfil Sensor de cabeza dual de bajo perfil
Sensor refractario UHV Sensor refractario UHV
Sensor de pulverización Sensor de pulverización
Sensor CrystalSix® Sensor CrystalSix®
Sensor Crystal 12® Sensor Crystal 12®
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor
Sensor giratorio RSH-600 Sensor giratorio RSH-600
Número de referencia Descripción
780-700-G1 Ethernet Module, XTC/3
755-262-G1 Handheld Power Controller
780-702-G1 Kit de montaje de una unidad en bastidor - Incluye todos los materiales necesarios para montar una unidad XTC/3 en un bastidor estándar de 48 cm (19 pulg.)
780-702-G2 Kit de montaje de dos unidades en bastidor - Incluye todos los materiales necesarios para montar dos unidades XTC/3 en bastidor estándar de 48 cm (19 pulg.) una junto a la otra
780-032-G1 Editor Software, XTC/3
780-038-G1 Communications Library, XTC/3
779-220-G1 Interruptor CrystalTwo, 15,2 cm (6 pulgadas), cables BNC
779-220-G2 Interruptor CrystalTwo, 50,8 cm (20 pulgadas), cables BNC
Oscillator kits (Incluye oscilador y cables)
780-611-G15 XIU PKG con cable de 4,6 m (15 pies) - Para su uso con XTC/3
780-611-G30 XIU PKG con cable de 9,1 m (30 pies) - Para su uso con XTC/3
780-611-G50 XIU PKG con cable de 15,2 m (50 pies) - Para su uso con XTC/3
780-611-G100 XIU PKG con cable de 30,5 m (100 pies) - Para su uso con XTC/3
780-612-G15 XIU PKG de 4 m con cable XIU de 4,6 m (15 pies) - Incluye cable de 4 m en vacío y cable BNC (de XIU a paso eléctrico) de 6 pulg. - Para su uso con XTC/3
780-612-G30 XIU PKG de 4 m con cable XIU de 9,1 m (30 pies) - Incluye cable de 4 m en vacío y cable BNC (de XIU a paso eléctrico) de 6 pulg. - Para su uso con XTC/3
780-612-G50 XIU PKG de 4 m con cable XIU de 15,2 m (50 pies) - Incluye cable de 4 m en vacío y cable BNC (de XIU a paso eléctrico) de 6 pulg. - Para su uso con XTC/3
780-612-G100 XIU PKG de 4 m con cable XIU de 30,5 m (100 pies) - Incluye cable de 4 m en vacío y cable BNC (de XIU a paso eléctrico) de 6 pulg. - Para su uso con XTC/3
780-613-G15 XIU PKG de 4 m con cable XIU de 4,6 m (15 pies) - Incluye cable de 3,5 m en vacío y cable BNC (de XIU a paso eléctrico) de 20 pulg. - Para su uso con XTC/3
780-613-G30 XIU PKG de 4 m con cable XIU de 9,1 m (30 pies) - Incluye cable de 3,5 m en vacío y cable BNC (de XIU a paso eléctrico) de 20 pulg. - Para su uso con XTC/3
780-613-G50 XIU PKG de 4 m con cable XIU de 15,2 m (50 pies) - Incluye cable de 3,5 m en vacío y cable BNC (de XIU a paso eléctrico) de 20 pulg. - Para su uso con XTC/3
780-613-G100 XIU PKG de 4 m con cable XIU de 30,5 m (100 pies) - Incluye cable de 3,5 m en vacío y cable BNC (de XIU a paso eléctrico) de 20 pulg. - Para su uso con XTC/3
Oscillator Only (No incluye cables)
780-600-G1 XTC/3 XIU (oscilador) - Para cables entre la unidad XIU y la cabeza del sensor de 15 cm a 1,83 m (6 a 72 pulg.)
780-600-G2 XTC/3 XIU (oscilador) - Para cables entre la unidad XIU y la cabeza del sensor de 3 a 4 cm (118 a 157 pulg.)
Cables
755-257-G6 Cable de 15,2 cm (6 pulg.), de unidad XIU con paso de corriente hermético
600-1261-P15 Cable de 4,6 m (15 pies), de controlador XTC/3, Cygnus 2 o IC6 a unidad XIU
600-1261-P30 Cable de 9,1 m (30 pies), de controlador XTC/3, Cygnus 2 o IC6 a unidad XIU
600-1261-P50 Cable de 15,2 m (50 pies), de controlador XTC/3, Cygnus 2 o IC6 a unidad XIU
600-1261-P100 Cable de 30,5 (100 pies), de controlador XTC/3, Cygnus 2 o IC6 a unidad XIU

Consumibles

Nombre Descripción
Cristales de cuarzo de monitor Cristales de cuarzo de monitor
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