Monitor de procesos compacto Transpector® CPM 3

 

SISTEMA DE SUPERVISIÓN DE PROCESOS RÁPIDO Y LISTO PARA SU USO

 

Rendimiento, fiabilidad y versatilidad

 

Transpector CPM de INFICON ha sido el sistema de supervisión del proceso de analizador de gases residuales (RGA) líder en el mercado durante más de una década. Ahora, Transpector CPM 3 proporciona una sensibilidad y velocidad de medición líderes en la industria a través de un sistema de bombeo y entrada probado y que integra un nuevo sensor y una nueva electrónica. Transpector CPM 3 es el monitor de procesos RGA ideal para procesos de semiconductores nuevos y establecidos, como ALD, CVD, PVD y decapado.


 

Transpector CPM 3 proporciona una rentabilidad probada a nuestros clientes mediante:

  • Tecnología de medición líder en la industria
  • Arquitectura flexible y resistente
  • Facilidad de mantenimiento
  • Soporte de productos inmejorable

Características

  • Analizador de gases residuales para análisis y supervisión de procesos en tiempo real de degasificación de 300 mm, ALD, decapado y CVD.
  • Preparado para ALD con una velocidad de medida de 1,8 ms por punto (555 puntos por segundo).
  • Fiabilidad y durabilidad probadas en la mayoría de las aplicaciones CVD y de decapado.
  • En cuanto a la integración de aplicaciones, el Transpector CPM se ha convertido en una potente herramienta de diagnóstico y supervisión de procesos cuando se integra con el software FabGuard y recibe el apoyo de los expertos de aplicaciones de primera clase de INFICON.
  • El tamaño compacto facilita la integración en equipos semiconductores de producción.
  • Hexblock™ tiene hasta tres entradas de presión y un área de superficie reducida para minimizar los tiempos de respuesta y las reacciones de la superficie.
  • El indicador del diafragma de la capacitancia (CDG) permite a los usuarios supervisar la presión del proceso y proteger automáticamente el sistema ante variaciones de la presión.
  • La calibración automática garantiza la estabilidad y la precisión de datos a largo plazo de forma que sea adapten entre sensores y entre herramientas.

Especificaciones

Tipo 100 AMU CPM 200 AMU CPM 300 AMU CPM
Resolución 1 amu wide @ 10% peak height 1 amu wide @ 10% peak height 1 amu wide @ 10% peak height
Rango total de presión¹ 5E-7 - 1E-3 Torr 5E-7 - 1E-3 Torr 5E-7 - 1E-3 Torr
Precisión total de presión² +/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr +/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr +/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr
Presión máxima de funcionamiento de fuente de iones³ 1E-3 Torr 1E-3 Torr 1E-3 Torr
Presión de funcionamiento nominal⁴ 2E-4 Torr 2E-4 Torr 2E-4 Torr
Presión de funcionamiento del sistema 1E-8 Torr - 1.2 atm 1E-8 Torr - 1.2 atm 1E-8 Torr - 1.2 atm
Sensibilidad (baja emisión) > 4E-6 Amps/Torr > 2E-6 Amps/Torr > 1E-6 Amps/Torr
Sensibilidad (alta emisión) > 2E-5 Amps/Torr > 1E-5 Amps/Torr > 5E-6 Amps/Torr
Presión parcial detectable mínima (MDPP)⁵ 1E-13 Torr 2E-13 Torr 4E-13 Torr
Tasa máxima de datos 1.8 ms/point (555 points/sec) 1.8 ms/point (555 points/sec) 1.8 ms/point (555 points/sec)
Sensibilidad en abundancia⁶ < 5 ppm < 10 ppm < 100 ppm
Explosión cero⁷ < 2 ppm < 25 ppm < 200 ppm
Límite de detección⁸ < 1 ppm < 2 ppm < 4 ppm
Linealidad⁹ +/- 20% +/- 20% +/- 20%
Presión de fondo mínima 1E-8 Torr 1E-8 Torr 1E-8 Torr
Temperatura máxima de entrada y del sensor °C 150 150 150

1 Lectura de la presión de la fuente de iones a baja emisión mediante el uso de lentes de presión total

2 Precisión de presión total a baja emisión

3 Presión máxima de funcionamiento de la fuente de iones a baja emisión

4 2x10-4 Torr en la fuente de iones generará 1x10-5 Torr en la región cuadripolo

5 MDPP en la fuente de iones con EM activo y tiempo de permanencia de 1 s

6 Contribución de la masa de 40 a 41 AMU

7 Contribución de explosión cero a 2 AMU

8 Concentración mínima detectable con criptón en aire con tiempo de permanencia de 1 s

9 Para orificios de 1 Torr o menores. Linealidad a baja emisión de 0,1 a 2 veces la presión nominal del orificio.

Consumibles

100 AMU CPM
Número de referencia Descripción
059-0196 NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400 Replacement c-ring, CPM
070-1042 O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1 CPM Replacement Diaphragm Kit 2 Stage
923-706-G10 Orifice Kit, CPM, 30 Torr
923-706-G3 Orifice Kit, CPM, 10 Torr
923-706-G4 Orifice Kit, CPM, 1 Torr
923-706-G6 Orifice Kit, CPM, 10 mTorr
923-706-G7 Orifice Kit, CPM, 360 mTorr
923-706-G8 Orifice Kit, CPM, 15 mTorr
923-706-G9 Orifice Kit, CPM, 3 Torr
923-707-G1 Sniffer Kit, CPM, 10 Torr, 5 cm
923-707-G2 Sniffer Kit, CPM, 100 Torr
923-707-G3 Sniffer Kit, CPM, 7 Torr, 30.5 cm
961-707-G1 Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1 Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2 Filament Kit CPM Coated
964-711-G1 Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2 Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1 Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2 Ion Source Kit CPM Coated w/Liner
200 AMU CPM
Número de referencia Descripción
059-0196 NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400 Replacement c-ring, CPM
070-1042 O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1 CPM Replacement Diaphragm Kit 2 Stage
923-706-G10 Orifice Kit, CPM, 30 Torr
923-706-G3 Orifice Kit, CPM, 10 Torr
923-706-G4 Orifice Kit, CPM, 1 Torr
923-706-G6 Orifice Kit, CPM, 10 mTorr
923-706-G7 Orifice Kit, CPM, 360 mTorr
923-706-G8 Orifice Kit, CPM, 15 mTorr
923-706-G9 Orifice Kit, CPM, 3 Torr
923-707-G1 Sniffer Kit, CPM, 10 Torr, 5 cm
923-707-G2 Sniffer Kit, CPM, 100 Torr
923-707-G3 Sniffer Kit, CPM, 7 Torr, 30.5 cm
961-707-G1 Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1 Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2 Filament Kit CPM Coated
964-711-G1 Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2 Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1 Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2 Ion Source Kit CPM Coated w/Liner
300 AMU CPM
Número de referencia Descripción
059-0196 NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400 Replacement c-ring, CPM
070-1042 O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1 CPM Replacement Diaphragm Kit 2 Stage
923-706-G10 Orifice Kit, CPM, 30 Torr
923-706-G3 Orifice Kit, CPM, 10 Torr
923-706-G4 Orifice Kit, CPM, 1 Torr
923-706-G6 Orifice Kit, CPM, 10 mTorr
923-706-G7 Orifice Kit, CPM, 360 mTorr
923-706-G8 Orifice Kit, CPM, 15 mTorr
923-706-G9 Orifice Kit, CPM, 3 Torr
923-707-G1 Sniffer Kit, CPM, 10 Torr, 5 cm
923-707-G2 Sniffer Kit, CPM, 100 Torr
923-707-G3 Sniffer Kit, CPM, 7 Torr, 30.5 cm
961-707-G1 Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1 Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2 Filament Kit CPM Coated
964-711-G1 Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2 Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1 Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2 Ion Source Kit CPM Coated w/Liner

Piezas de repuesto

100 AMU CPM
Número de referencia Descripción
032-0079 Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400 Replacement c-ring, CPM
915-724-G1 Spare Ion Source Liner
922-204-G1 Capillary, CPM, 1.5 m
922-204-G3 Capillary, CPM, 3 m
923-403-P2 US18238, SMC VQ100 Manifold for CPM
923-417-G1 Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1 HexBlock Orifice Replacement tools
923-711-G1 HexBlock Valve Replacement Kit
923-712-G1 HexBlock Orifice Gasket, Quantity 5
923-723-G2 2 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12 CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13 CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1 CPM Cable Box Assembly
964-403-P1 CPM Manifold Heater
964-603-G2 CPM Controller Box
964-720-G1 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2 CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3 CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable
200 AMU CPM
Número de referencia Descripción
032-0079 Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400 Replacement c-ring, CPM
915-724-G1 Spare Ion Source Liner
922-204-G1 Capillary, CPM, 1.5 m
922-204-G3 Capillary, CPM, 3 m
923-403-P2 US18238, SMC VQ100 Manifold for CPM
923-417-G1 Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1 HexBlock Orifice Replacement tools
923-711-G1 HexBlock Valve Replacement Kit
923-712-G1 HexBlock Orifice Gasket, Quantity 5
923-723-G2 2 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12 CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13 CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1 CPM Cable Box Assembly
964-403-P1 CPM Manifold Heater
964-603-G2 CPM Controller Box
964-720-G1 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2 CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3 CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable
300 AMU CPM
Número de referencia Descripción
032-0079 Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400 Replacement c-ring, CPM
915-724-G1 Spare Ion Source Liner
922-204-G1 Capillary, CPM, 1.5 m
922-204-G3 Capillary, CPM, 3 m
923-403-P2 US18238, SMC VQ100 Manifold for CPM
923-417-G1 Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1 HexBlock Orifice Replacement tools
923-711-G1 HexBlock Valve Replacement Kit
923-712-G1 HexBlock Orifice Gasket, Quantity 5
923-723-G2 2 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12 CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13 CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1 CPM Cable Box Assembly
964-403-P1 CPM Manifold Heater
964-603-G2 CPM Controller Box
964-720-G1 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2 CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3 CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable
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