Stripe CDG045Dhs 0,01- 1.000 Torr/mbar, nuevo 10 mTorr

 

Los indicadores del diafragma de la capacitancia de alta velocidad Stripe de INFICON son los instrumentos de medición de vacío más rápidos y precisos del mercado. Su tiempo de respuesta inferior a 2 ms, en combinación con su interfaz de bus de campo EtherCAT, abren la puerta a un campo totalmente nuevo de aplicaciones. El sensor de cerámica ultrapura, resistente a la corrosión y con una temperatura controlada ofrece una estabilidad superior a largo plazo, junto con una estabilidad de cero de última generación. El indicador Stripe incluye la exclusiva pantalla de sensor patentada de INFICON que protege el indicador de derivados del proceso no deseados. El indicador Stripe de INFICON utiliza un concepto de calentamiento innovador que le permite ofrecer una superficie fría al tacto y, además, su gran rapidez le permitirá obtener un aumento de la productividad sin precedentes, lo que lo convierten en el instrumento de vacío más avanzado de su clase.


En 2014, el indicador Stripe CDG045Dhs recibió el prestigioso galardón R&D 100 Award

Ventajas

  • Gran productividad – Tiempo de respuesta inferior a 2 ms
  • Integración flexible: bus de campo EtherCAT
  • Larga duración. Sensor de cerámica probado.
  • Sin recalibración: estabilidad a escala completa de 90ppm/año

Aplicaciones típicas

  • Deposición de capa atómica
  • Control de proceso de alta velocidad
  • PVD, CVD y decapado
  • aplicaciones generales de vacío de alta temperatura
  • Stripe_MB.gif

Especificaciones

Tipo 1000Torr / 1100mbar ... 0.05Torr / mbar 0.02 ... 0.01Torr / mbar
Precisión (1) % of reading 0.15 -
Precisión % of reading - 0.2
Efecto de temperatura    
en cero, entre 1.000 y 1 Torr/mbar percent FS/°C 0.0025 -
en cero, entre 0,5 y 0,05 Torr/mbar percent FS/°C 0.005 -
en cero, entre 0,02 y 0,01 Torr percent FS/°C - 0.01
en duración % of reading / °C 0.01 0.01
Presión máxima    
P máx 1.000 Torr/mbar kPa (absolute) 400 400
P máx 500 ... 1 Torr/mbar kPa (absolute) 260 260
P máx 0,5 ... 0, 01 Torr/mbar kPa (absolute) 130 130
Resolución percent FS 0.003 0.003
La lectura más baja percent FS 0.01 0.01
La lectura sugerida más baja percent FS 0.05 0.05
La presión de control sugerida más baja percent FS 0.5 0.5
Temperatura    
Funcionamiento (ambiente) °C +10 … +40 +10 … +40
Horneado en la brida °C ≤110 ≤110
Almacenamiento °C –20 … +85 –20 … +85
Tensión de alimentación +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
Consumo de potencia    
Durante el calentamiento W ≤14 ≤14
En la temperatura de operación W ≤9 ≤9
Señal de salida (analógica) V (dc) 0 … +10 0 … +10
Tiempo de respuesta (2) ms 2
Grado de protección IP 30 IP 30
Estándares    
Conformidad CE EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
Certificación ETL UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
Cumplimiento SEMI SEMI S2 SEMI S2
Conexión eléctrica D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
Punto de ajuste    
Número de puntos de ajuste 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
Contacto de relé ≤30 ≤30
Histéresis percent FS 1 1
Puerto de diagnóstico    
Protocolo USB USB
Lectura pressure, status, ID pressure, status, ID
Set set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Materiales expuestos al vacío Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
Volumen interno    
I. volumen tubo 1/2'' cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
I. volumen DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
I. volumen DN 16 CF-R cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
I. volumen 8 VCR® cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Peso    
Peso tubo 1/2'' g 837 837
Peso DN 16 ISO KF g 852 852
Peso DN 16 CF-R g 875 875
Peso 8 VCR® g 897 897
EtherCAT    
Protocolo EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
Estándares de comunicación ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
Dirección de nodo Explicit Device Identification Explicit Device Identification
Capa física 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Lectura de funciones digitales pressure, status, ID pressure, status, ID
Conjunto de funciones digitales set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
Datos de procesos Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
Buzón (CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
Conector EtherCAT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
Cable shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
Longitud del cable m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330)

(1) No linealidad, histéresis y repetibilidad a 25 °C de temperatura ambiente de funcionamiento sin efectos de temperatura tras 2 horas de funcionamiento.

(2) Aumento entre el 10 y el 90 por cierto a escala completa

Stripe45_PN.PNG
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