Monitor de deposición de película delgada SQM-160

SQM-160 utiliza la tecnología probada del sensor de cristal de cuarzo de INFICON para medir la velocidad y el grosor en procesos deposición de película delgada. Dos entradas al sensor son estándar y otras cuatro adicionales son opcionales. Dos salidas del registrador;proporcionan una velocidad analógica y señales de grosor.

Las entradas de sensor se pueden asignar a diferentes materiales, calcular la media para un control preciso de la deposición en sistemas grandes o configurar para un sensor dual. El modo de muestreo de velocidad permite que un sensor de obturación pueda aumentar su duración en procesos a altas velocidades. El usuario puede seleccionar la visualización de velocidades de 0,1Å/s o 0,01Å/s. Además, también se puede seleccionar la visualización de la masa o la frecuencia. Las cuatro salidas de relés permiten que el monitor SQM-160 controle los obturadores del sensor y la fuente, los puntos de ajuste de grosor y tiempo de señal y fallos del cristal de señal. Las entradas digitales permiten que las señales externas puedan iniciar, parar y poner a cero las lecturas.

Características

  • Dos canales de medición estándar y cuatro adicionales opcionales
  • Salidas analógicas para registrar el grosor y la velocidad
  • Opción de alta precisión: 0,03Hz a 10 lecturas/segundo
  • RS-232 estándar, USB o Ethernet opcional

Especificaciones

Tipo SQM-160 Standard Resolution SQM-160 High Resolution
Entradas de sensor QCM Standard: 2; optional: 4 Standard: 2; optional: 4
Rango de frecuencia de medición Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
Resolución de frecuencia (1) ± 0.30 Hz ± 0.03 Hz
Medición/resolución de velocidad y grosor (2) ± 0.37 Å ± 0.037 Å
Intervalo de medición 0.10 to 2.0 s (adjustable) 0.10 to 2.0 s (adjustable)
Filtro de medición 1 to 20 readings 1 to 20 readings
Películas almacenadas 99 99
Salidas analógicas Two 0 to 5 VDC, rate & thickness Two 0 to 5 VDC, rate & thickness
Entradas/salidas digitales Four inputs, four relay outputs Four inputs, four relay outputs
Interfaz de comunicaciones

Standard: RS-232;

Optional: USB or Ethernet

Standard: RS-232;

Optional: USB or Ethernet

Alimentación 100-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W 100-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
Cumplimiento con CE

Class 1 equipment,

73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD

Class 1 equipment,

73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD

Carcasa/Conjunto

1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,

89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")

1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,

89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")

Peso 2.7 Kg (6 lbs) 2.7 Kg (6 lbs)
Software Windows (incluido)

Provides remote setup and operation,

datalogging functions - see sample

screenshot at right.

Provides remote setup and operation,

datalogging functions - see sample

screenshot at right.

(1) Resolución para un intervalo de medición de 0,10 s
(2)Instrumental/densidad = 100/1, frecuencia fundamental = 6 MHz, intervalo de medición de 0,10

SQM-160_OrderChart_2013_web-01.png

Accesorios

Nombre Descripción
Sensor individual de carga frontal Sensor individual de carga frontal
Sensor dual de carga frontal Sensor dual de carga frontal
Sensor individual Cool Drawer Sensor individual Cool Drawer
Sensor dual Cool Drawer Sensor dual Cool Drawer
Sensor de cabeza dual de bajo perfil Sensor de cabeza dual de bajo perfil
Sensor refractario UHV Sensor refractario UHV
Sensor de pulverización Sensor de pulverización
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor
Número de referencia Descripción
782-900-008 Kit de montaje en bastidor de 48 cm para un instrumento SQM-160 o CI-100
782-900-014 Kit de montaje en bastidor de 48 cm para dos instrumentos SQM-160 o CI-100
782-502-096-G1 USB Option Bd Assy Spare
782-502-097-G1 Ethernet Option Card, SQC-310/SQM-160
Oscillator kits (Incluye oscilador y cables)
783-500-109-10 Kit de oscilador de 3 m (10 pies) - Incluye oscilador, OSC-100, cable BNC de 15,2 cm (6 pulg.) y cable BNC de 3 m (10 pies)
783-500-109-25 Kit de oscilador de 7,6 m (25 pies) - Incluye oscilador, OSC-100, cable BNC de 7,6 m (25 pies)
783-500-109-50 Kit de oscilador de 15,2 m (50 pies) - Incluye oscilador, OSC-100, cable BNC de 15,2 cm (6 pulg.) y cable BNC de 15,2 m (50 pies)
783-500-109-75 Kit de oscilador de 22,8 m (75 pies) - Incluye oscilador, cable BNC de 15,2 cm (6 pulg.) y cable BNC de 22,8 m (75 pies)
Oscillator Only (No incluye cables)
783-500-013 Oscilador OSC-100 (sin cables)
Cables
782-902-011 Cable BNC de 15,2 cm, 6 in (25 pies), macho/hembra
782-902-012-10 Cable BNC de 3 m, (10 pies), macho/hembra
782-902-012-25 Cable BNC de 7,6 m (25 pies), macho/hembra
782-902-012-50 Cable BNC de 15,2 m (50 pies), macho/hembra
782-902-012-75 Cable BNC de 22,8 m (75 pies), macho/hembra

Consumibles

Nombre Descripción
Cristales de cuarzo de monitor Cristales de cuarzo de monitor
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