Controlador de deposición de película delgada SQC-310

Control de alta precisión secuencial o de codeposición

La gama SQC-310 de INFICON dispone de una electrónica avanzada, una pantalla mejorada y un precio muy asequible; características que no encontrará en otros competidores del mercado de controladores de película delgada. Asimismo, puede seleccionar el modelo ideal para su aplicación: deposición secuencial (SQC-310) o codeposición (SQC-310C).

 

Características

  • Pantalla LCD de color - disponible en inglés o chino
  • USB y RS-232 estándar (RS-232 y Ethernet opcionales)
  • Fácil configuración y funcionamiento con un menú de “Configuración rápida”, 6 botones de comando contextuales y un mando de configuración de parámetros correspondiente
  • Programa de Windows® para desarrollar, probar y descargar procesos, así como para registrar datos del instrumento en el ordenador para el control de calidad y el análisis de procesos.
  • Control de procesos de gran precisión, especialmente con velocidades bajas de deposición, con resolución de ±0,03 Hz a 10 lecturas por segundo
  • Capacidad de almacenamiento de hasta 100 procesos, 1.000 capas y 50 películas
  • Control de materias primas con uno o varios sensores para proporcionar un control preciso de la distribución de las materias primas

Especificaciones

Tipo SQC-310 SQC-310C
Medida    
Entradas de QCM 2 (4 optional) 4
Rango de frecuencia de medición Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
Resolución de frecuencia (1) ± 0.012 Hz ± 0.012 Hz
Medición/resolución de velocidad y grosor (2) ±0.015 Å ±0.015 Å
Estabilidad de frecuencia ± 2 ppm total, 0 to 50C ± 2 ppm total, 0 to 50C
Intervalo de medición 0.10 to 1.0 s (adjustable) 0.10 to 1.0 s (adjustable)
Visualización de velocidad 0.01 Å/sec 0.01 Å/sec
Control    
Almacenamiento 100 processes, 1000 layers, 50 films 100 processes, 1000 layers, 50 films
Salidas de control 2 (4 optional) 4
Señal de salida ± 0 to 10 VDC, 15 bits ± 0 to 10 VDC, 15 bits
Entradas/relés digitales 8/8 (16/16 optional) 16/16
Entradas digitales 5 VDC non-isolated 5 VDC non-isolated
Relés SPST Form 1A, 30V, 2A max SPST Form 1A, 30V, 2A max
Interface(s) Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional) Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)
Control de potencia remoto Optional (IPN 782-900-017) Optional (IPN 782-900-017)
Pantalla    
Tipo 1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD 1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD
Gráficos Rate, deviation, power or full screen numeric Rate, deviation, power or full screen numeric
General    
Alimentación 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25 W
Cumplimiento CE, RoHS CE, RoHS
Software Windows® Included Included
Carcasa/Conjunto 5 1/4” half-rack 5 1/4” half-rack
(1) Resolución para un intervalo de medición de 0,25 s
(2)Instrumental/densidad = 100/1, frecuencia fundamental = 6 MHz, intervalo de medición de 0,25

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Accesorios

Nombre Descripción
Sensor individual de carga frontal Sensor individual de carga frontal
Sensor dual de carga frontal Sensor dual de carga frontal
Sensor individual Cool Drawer Sensor individual Cool Drawer
Sensor dual Cool Drawer Sensor dual Cool Drawer
Sensor de cabeza dual de bajo perfil Sensor de cabeza dual de bajo perfil
Sensor refractario UHV Sensor refractario UHV
Sensor de pulverización Sensor de pulverización
Sensor CrystalSix® Sensor CrystalSix®
Sensor Crystal 12® Sensor Crystal 12®
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor
Sensor giratorio RSH-600 Sensor giratorio RSH-600
Número de referencia Descripción
782-900-017 Handheld Power Controller
782-900-007 Extensor de bastidor completo - Monta una unidad SQC-310 o Composer Elite en un bastidor de 48 cm (incluye obturación)
782-900-016 2 Unit Rack Adapter, 3U (5.25 in.)
782-502-097-G1 Ethernet Option Card, SQC-310/SQM-160
782-502-096-G2 USB Option Card, Tested, SQC-310/SQM-160
Oscillator kits (Incluye oscilador y cables)
783-500-109-10 Kit de oscilador de 3 m (10 pies) - Incluye oscilador, OSC-100, cable BNC de 15,2 cm (6 pulg.) y cable BNC de 3 m (10 pies)
783-500-109-25 Kit de oscilador de 7,6 m (25 pies) - Incluye oscilador, OSC-100, cable BNC de 7,6 m (25 pies)
783-500-109-50 Kit de oscilador de 15,2 m (50 pies) - Incluye oscilador, OSC-100, cable BNC de 15,2 cm (6 pulg.) y cable BNC de 15,2 m (50 pies)
783-500-109-75 Kit de oscilador de 22,8 m (75 pies) - Incluye oscilador, cable BNC de 15,2 cm (6 pulg.) y cable BNC de 22,8 m (75 pies)
Oscillator Only (No incluye cables)
783-500-013 Oscilador OSC-100 (sin cables)
Cables
782-902-011 Cable BNC de 15,2 cm, 6 in (25 pies), macho/hembra
782-902-012-10 Cable BNC de 3 m, (10 pies), macho/hembra
782-902-012-25 Cable BNC de 7,6 m (25 pies), macho/hembra
782-902-012-50 Cable BNC de 15,2 m (50 pies), macho/hembra
782-902-012-75 Cable BNC de 22,8 m (75 pies), macho/hembra

Consumibles

Nombre Descripción
Cristales de cuarzo de monitor Cristales de cuarzo de monitor
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