Sensor de pulverización

El sensor de pulverización de INFICON se ha diseñado específicamente para su uso en cualquier proceso de pulverización. El cuerpo del sensor y los tubos de refrigeración son de cobre al berilio chapado en oro, de modo que proporcionan una refrigeración más eficaz durante la pulverización. El imán integrado en la cabeza del sensor reduce el calentamiento excesivo provocado por electrones sin carga en los sistemas de pulverización mediante su desviación con el campo magnético externo. El diseño del soporte de cristal de carga trasera permite sustituir el cristal fácilmente sin necesidad de quitar la cabeza del sistema.

Características

  • Tubos de refrigeración y cuerpo del sensor en cobre al berilio chapado en oro para una eficacia máxima durante la refrigeración
  • Imán para desviar los electrones sin carga del cristal del monitor
  • Fácil instalación con tubos de agua flexibles para obtener flexibilidad en la instalación del sensor
  • Cristal de carga trasera para su fácil sustitución

Especificaciones

Tipo Sputtering Sensor
Temperatura máxima de cocción sin agua 105°C
Temperatura de entorno isotérmico operativo máximo con flujo de agua mínimo 400° C
Tamaño (envolvente máximo) 1.36 in. OD x 0.69 in. high (3.45 cm x 1.75 cm)
Agua, aire y longitud coaxial Standard 30 in. (76.2 cm)
Cambio de cristal Rear-loading
Conjunto Customer supplied
Requisitos de la instalación  
Paso eléctrico

2 pass water with coax connector

2¾ in. ConFlat® Flange – IPN 002-043

1 in. Bolt – IPN 002-042

 

Otro

1) Customer to provide vacuum-tight braze joints or connectors for the water tubes.

2) XIU or Oscillator designed to interface with the specific deposition controller.

Velocidad de flujo de agua Minimum water flow 750 cc/min, 30° C max (Do not allow to freeze) Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. If the water tube passes through a cryoshroud, drain the tubes if the water flow is stopped for any reason.
Materiales  
Cuerpo y soporte Au plated Be-Cu
Resortes, contactos eléctricos Au plated Be-Cu
Tubos de agua Au plated Be-Cu, 0.125 in. (0.32 cm) O.D.
Conector 304 Stainless steel
Aislantes 99% Al2O3
Cable Teflon® insulated copper
Soldadura Cadmium free silver and indium alloys
Cristal 0.550 in. (1.4 cm) Diameter
Imán ALNICO 5 Alloy
Especificaciones del conjunto de obturador opcional 750-005-G1:  
Temperatura 130° C
Perno de 2,54 cm (1 pulg.) y terminaciones Ultra-Torr (conector por compresión):  
Materiales 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON®
Temperatura Operational environment to 300ºC with water cooling or 165ºC without
Conjunto 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
Terminaciones soldadas CF 40:  
Materiales 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
Temperatura Operational environment to 450ºC with water cooling or 165ºC without
Conjunto Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.

Número de referencia

Sputtering Sensor
Número de referencia Descripción
750-618-G1 Sensor de pulverización (solo sensor, no se incluye paso eléctrico)

Accesorios

Nombre Descripción
Paso de sensor QCM Paso de sensor QCM
Sputtering Sensor
Número de referencia Descripción
750-005-G1 Conjunto de obturador neumático para sensor de pulverización (solo conjunto de obturador, sensor no incluido)
750-420-G1 Válvula solenoide de 24 V (para uso con sensores de obturación y sensores multicristales)

Consumibles

Nombre Descripción
Cristales de cuarzo de monitor Cristales de cuarzo de monitor

Piezas de repuesto

Sputtering Sensor
Número de referencia Descripción
007-023 Retención cerámica
007-049 Crystal Holder, Sputtering Sensor
007-007 Resorte de retención (para el soporte de cristal)
007-047 Front Cover, Sputtering Sensor
007-009 DET, MAGNET
070-0440 Z5-1 RETAINING RING,SS,PIC
070-0442 Anillo de retención (se instala en el eje del conjunto del obturador)
070-0441 Spacer, B4-4, Stainless Steel
082-044 Tornillo de teflón (para resorte de hojas)
082-029-P1 SCREW 2-56 x .125 LG SOC SET SCR SS
750-009-P2 COVER, PIVOT FINISHED
750-046-G2 SPUTTER SHUTTER WELD ASM FIN @
750-048-P1 Retainer Spring, CrystalSix
750-115-P4 Acoplamiento (se instala en el conjunto del fuelle)
750-169-P4 Conjunto de fuelle para conjunto de obturador neumático
750-174-P2 Coaxial hembra
750-175-P1 Aislante (bajo resorte de hojas)
750-188-P3 Leaf Spring, Formed
008-007 CRYSTAL SNATCHER
750-619-G1 Body, Sputtering Sensor
750-626-P1 Spring, Crystal 12 and Sputtering Sensor
In-vacuum cables
321-039-G12 Cable en vacío, 15,2 cm (6 pulg.)
007-252 Cable en vacío, 30,5 cm (12 pulg.)
321-039-G11 Cable en vacío, 61,0 cm (24 pulg.)
007-044 Cable en vacío, 78,1 cm (30,75 pulg.)
007-059 Cable en vacío, 91,4 cm (36 pulg.)
007-061 Cable en vacío, 121,9 cm (48 pulg.) - Necesita controlador ModeLock
321-039-G13 Cable en vacío, 154,2 cm (60 pulg.) - Necesita controlador ModeLock
321-039-G14 Cable en vacío, 182,9 cm (72 pulg.) - Necesita controlador ModeLock
321-039-G15 Cable en vacío, 3,5 m (137,8 pulg.) - Necesita controlador ModeLock y XIU de 4 m
321-039-G16 Cable en vacío, 4 m (157,5 pulg.) - Necesita controlador ModeLock y XIU de 4 m
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