Espectrómetro de masas analítico QMG 700


Algunas variantes de QMG 700 dejarán de publicarse a partir del 31 de enero de 2018

  • Rangos de masa de 1024 uma y 2048 uma 
  • Rangos de masa de 16 uma y 340 uma 
  • Sistemas ópticos de iones 
  • Sistema QMG 725

Más allá de los límites de detección gracias a su gran estabilidad y su resolución refinada

 

Rápidos progresos en la tecnología de fabricación de semiconductores basados en soluciones rápidas y fiables de análisis de gas. En la fábrica o en el laboratorio, escoja el espectrómetro de masas analítico QMG 700 de INFICON para superar las barreras de detección y lograr que su proceso alcance un mayor nivel de innovación. El QMG 700 ofrece un rendimiento sin igual y una gran adaptabilidad gracias a su diseño modular. Mejore sus ventajas competitivas con el QMG 700 y alcance un nivel superior de capacidades de medición.

 

 

Escoja entre una amplia gama de opciones de fuente de iones, filtro de masas y fuente de alimentación de RF para adaptar su QMG 700 a aplicaciones específicas. El QMG 700 puede gozar de un rango dinámico de más de nueve órdenes de magnitud y de límites de detección del orden de ppb, lo que lo convierte en el instrumento ideal para mediciones de vacío muy elevado. El QMG 700 ofrece resolución unitaria en todo el rango de masas, e incluso mayor a masas bajas. El instrumento es una opción magnífica para las mediciones más exigentes, incluyendo análisis isotópicos, como la separación de helio y deuterio. Controle su proceso con el QMG 700 y confíe en su gran estabilidad a largo plazo para proteger las mediciones críticas.

 

Los más de 40 años de excelencia en la espectrometría de masas analítica por parte de INFICON garantizan que el QMG 700 es la elección ideal para su próxima inversión en análisis de gases. Para una precisión constante y unos resultados exactos, puede confiar en el QMG 700 de INFICON y en nuestra experiencia de aplicaciones a escala mundial.

Características

  • Opciones del rango de masas de 1 a 2048 uma
  • Rango dinámico de más de nueve órdenes de magnitud
  • Velocidades de medición extremadamente altas: 0,125 ms/uma
  • MDPP < 10E-16 mbar
  • Gran resolución en todo el rango de masas: masas 1, 2 y 3 claramente separables en el rango de ppb

  • Más de 10 combinaciones diferentes de fuentes de iones y ópticas de iones
  • Opciones discreta o continua del multiplicador electrónico de dínodos
  • Disponible preamplificador de contaje iónico para el análisis de iones positivos y negativos, así como neutros
  • Opciones E/S: 8 entradas/salidas analógicas y 32 entradas/salidas digitales
  • Software potente con una interfaz flexible y sencilla

Aplicaciones típicas

  • Espectrometría de masas por descarga de gas
  • Detección de puntos equivalentes
  • Seguimiento del material de deposición
  • Espectrometría de masas de iones secundarios

Especificaciones

Tipo QMA 400 QMA 410 QMA 430
Rango de masa 1-2048 amu (1) 1-340 amu (2) 1-300 amu
Longitud del sensor 441.5 mm 548 mm 441.5 mm
Diámetro de la barra 8 mm 16 mm 8 mm
Material de la barra Molybdenum Molybdenum Stainless Steel
Brida DN 63 CF-F DN 100 CF-F DN 63 CF-F
Tipo de detector Faraday/SEV 217 Faraday/SEV 217 Faraday/SEV 217
Presión de funcionamiento máx. (FC) 1 E-4 mbar 1 E-4 mbar 1 E-4 mbar
Presión de funcionamiento máx. (EM) 1 E-5 mbar 1 E-5 mbar 1 E-5 mbar
Sensibilidad 5 E-4 A/mbar 1 E -3 A/mbar 2 E-4 A/mbar
Presión parcial detectable mínima 1 E-15 mbar 5 E-16 mbar 1 E-15 mbar
Resolución (ajustable) 0.3 - 7 amu 0.2 - 2.2 amu 0.3 - 7 amu
Cociente de presiones parciales < 0.5 ppb < 0.5 ppb < 0.5 ppb
Temperatura máxima de funcionamiento Sensor 150 °C 150 °C 150 °C
Temperatura máxima de cocción 400 °C 400 °C 400 °C
Temperatura máxima de funcionamiento Electrónica 40 °C 40 °C 40 °C
Velocidad de medición 0.125 ms - 60 s/amu 0.125 ms - 60 s/amu 0.125 ms - 60 s/amu
Fuente de alimentación 100 - 240 VAC 100 - 240 VAC 100 - 240 VAC

(1) QMA 400 está disponible para los siguientes rangos de masa: 1-512 uma, 1-1024 uma, 1-2048 uma.                        

 Las especificaciones del QMA 400 se basan en un rango de masa de 512 uma, configuración del sistema de fuente de iones de haz cruzado

 

(2) QMA 410 está disponible para los siguientes rangos de masa: 1-16 uma, 1-128 uma y 1-340 uma.

Las especificaciones del QMA 410 se basan en una configuración del sistema en el rango de masas de 128 uma y fuente de iones de haz cruzado

 

Número de referencia

QMA 430
Número de referencia Descripción
490-913 QMA 430 with Grid Ion Source
490-943 QMA 430, SEM 217, Crossbeam, YT
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