Indicador de vacío medio a ultraelevado PEG100

 

El indicador Penning PEG100 de INFICON proporciona mediciones fiables de alto vacío. El sensor de cátodo frío de Penning no tiene filamentos que se quemen. Debido a las placas catódicas de titanio y a la disminución del alto voltaje tras la ignición de plasma, el indicador se puede utilizar también con aplicaciones de pulverización. Las opciones de bus de campo, además de la señal de salida analógica y logarítmica, permiten una integración fácil en los sistemas de vacío con protocolos Profibus DP o DeviceNet.

Ventajas

  • Amplio rango de medición de 1 x 10-9 a 1 x 10-2 mbar (7.5 x 10-10 a 7.5 x 10-3 Torr)
  • Sensor de cátodo frío metálico (Penning) con paso de cerámica
  • La geometría del electrodo proporciona excelentes propiedades de ignición
  • La disminución del alto voltaje tras la ignición del plasma y las placas catódicas de titanio reducen el riesgo de contaminación, incluso durante las operaciones de pulverización con argón
  • El anillo de ánodo y el cátodo de titanio se pueden limpiar y sustituir fácilmente
  • Mínima intensidad de campo magnético adyacente al indicador
  • Indicador LED de encendido y de plasma calentado
  • Señal de salida analógica y logarítmica
  • Interfaz de bus de campo (Profibus DB, DeviceNet) para una integración sencilla en los sistemas de vacío con comunicaciones de red

Aplicaciones típicas

  • Control de presión de alto vacío
  • Sistemas de evaporación y pulverización
  • Medición general de vacío y control en los rangos de vacío fino y alto vacío
  • PEG100 Penning Gauge

Especificaciones

Tipo PEG100
Rango de medición 1 x 10-9 to 1 x 10-2
Precisión  
10-8 a 10-4 mbar % of reading ±30
Presión, máx. (absoluta) bar 10
Temperatura  
Funcionamiento (ambiente) °C +10 to +50
Almacenamiento °C -20 to +75
Horneado sin electrónica °C 350
Horneado con electrónica, en la brida °C 70
Suministro  
Tensión V (dc) 14.5 to 36
Consumo, máx. W <2
Señal de salida analógica  
Señal de salida V 0 to 10.6
Rango de medición V 0.66 to 10
Relación tensión / presión volts per decade 1.333
Conector FCC 68, female, 8 pin (shielded)
Longitud de cable, máx. (analógico) m (ft.) 100 (330)
Materiales expuestos al vacío Stainless steel, CrNi, AI2O3, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti
Volumen interno cm³ (in.³) 21 (1.28)
Peso, aprox. g 500
Tipo de protección IP40
DeviceNet™  
Tipo de dispositivo generic
Par explícito hasta mensajes de par no
Mensaje par a par I / O no
Valor de consistencia de configuración no
Recuperación del nodo con fallo no
Velocidad de transmisión de baudios kBaud 125 / 250 / 500
Máster / Escáner no
Mensaje de esclavo I / 0: Bit estroboscópico yes
Mensaje de esclavo I / 0: Transmitir yes
Mensaje de esclavo I / 0: Cíclico yes
Mensaje de esclavo I / 0: Cambio de estado (COS) yes
Suministro para DeviceNet™ V (dc) 11 to 25
Conector para DeviceNet™ Phoenix Combicon, 5 pin

Número de referencia

PEG100
Número de referencia Descripción
351-000 PEG100 Penning Gauge; DN25KF
351-002 PEG100 Penning Gauge; DN40CF-F
351-003 PEG100-D Penning Gauge; DN25KF
351-004 PEG100-D Penning Gauge; DN40CF-F
351-490 Kit de recambio, consiste en: Placa de cátodo (5 uds.)
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