Indicador de vacío medio a ultraelevado PEG100

 

El calibre Penning de INFICON PEG100 proporciona mediciones fiables de alto vacío.El sensor de cátodo frío de penning sólido tiene un filamento para quemar. Debido a las placas catódicas de titanio y la alta tensión reducida después de la ignición del plasma, el calibre se puede utilizar también en aplicaciones de pulverización. Las opciones de bus de campo, además de la señal de salida analógica logarítmica, permiten una fácil integración en sistemas de vacío con Profibus DP o protocolos DeviceNet.

Ventajas

  • Direct replacement for PTR 225 / PTR 225-S / PTR 237 / PTR 225 PB / PTR 237 D Vacuum Transmitters
  • Rango de medición de ancho desde 1 x 10-9 hasta 1 x 10-2 mbar (7.5 x 10-10 hasta 7.5 x 10-3 Torr)
  • Sensor de cátodo frío todo de metal (Penning) con terminal de paso de cerámica
  • La geometría del electrodo innovador proporciona excelentes propiedades de ignición
  • La disminución de alta tensión después de la ignición de plasma y placas de cátodo de titanio reducen el riesgo de contaminación, incluso durante las operaciones de pulverización catódica con argón
  • El anillo de ánodo y el cátodo de titanio se pueden limpiar o reemplazar fácilmente
  • Intensidad del campo magnético mínimo adyacente a calibrar
  • Indicador LED para encender y plasma encendido
  • Señal de salida analógica logarítmica
  • Interfaz de bus de campo (Profibus DB, DeviceNet) para una integración fácil en los sistemas de vacío usando las comunicaciones de red

Aplicaciones típicas

  • Control de presión de vacío alto
  • Sistemas de evaporación y pulverización
  • Medición de vacío general y control en el rango de vacío alto y fino

Noticias

PEG100, PEG100-S and PEG100-D series is direct replacement for PTR 225 / PTR 225-S / PTR 237 / PTR 237 D Vacuum Transmitters
  • PEG100 Penning Gauge

Especificaciones

Tipo PEG100
Rango de medición 1 x 10-9 to 1 x 10-2
Precisión  
10-8 a 10-4 mbar % of reading ±30
Presión, máx. (absoluta) bar 10
Temperatura  
Funcionamiento (ambiente) °C +10 to +50
Almacenamiento °C -20 to +75
Horneado sin electrónica °C 350
Horneado con electrónica, en la brida °C 70
Suministro  
Tensión V (dc) 14.5 to 36
Consumo, máx. W <2
Señal de salida analógica  
Señal de salida V 0 to 10.6
Rango de medición V 0.66 to 10
Relación tensión / presión volts per decade 1.333
Conector FCC 68, female, 8 pin (shielded)
Longitud de cable, máx. (analógico) m (ft.) 100 (330)
Materiales expuestos al vacío Stainless steel, CrNi, AI2O3, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti
Volumen interno cm³ (in.³) 21 (1.28)
Peso, aprox. g 500
Tipo de protección IP40
DeviceNet™  
Tipo de dispositivo generic
Par explícito hasta mensajes de par no
Mensaje par a par I / O no
Valor de consistencia de configuración no
Recuperación del nodo con fallo no
Velocidad de transmisión de baudios kBaud 125 / 250 / 500
Máster / Escáner no
Mensaje de esclavo I / 0: Bit estroboscópico yes
Mensaje de esclavo I / 0: Transmitir yes
Mensaje de esclavo I / 0: Cíclico yes
Mensaje de esclavo I / 0: Cambio de estado (COS) yes
Suministro para DeviceNet™ V (dc) 11 to 25
Conector para DeviceNet™ Phoenix Combicon, 5 pin

Número de referencia

PEG100
Número de referencia Descripción
351-000 PEG100 Penning Gauge; DN25KF
351-000 PEG100 Penning Gauge; DN25KF
351-002 PEG100 Penning Gauge; DN40CF-F
351-003 PEG100-D Penning Gauge; DN25KF
351-004 PEG100-D Penning Gauge; DN40CF-F
399-510 PEG050 Indicador Penning DN 25 KF
351-490 Kit de recambio, consiste en: Placa de cátodo (5 uds.)
351-499 Ánodo PR 25
enviar a un amigo