Indicador de atmósfera a vacío ultraelevado Gemini™ MxG5xx

 

El calibre Magnetron Invertido de Vacío de Gemini™ es el caballo de batalla para todas las aplicaciones de medición de vacío (pendiente). Gemini combina dos sistemas de sensores en un dispositivo pequeño para medir desde la atmósfera hasta 1x10 – 9 mbar. El diseño del campo de dispersión magnética ultra bajo patentada abre toda una nueva gama de aplicaciones. Una unidad de sensor de doble cámara intercambiable única evita ciclos de limpieza y reduce el mantenimiento, haciendo de Gemini el calibre de vacío más robusto y económico de su clase.

El cátodo frío Gemini y la combinación viene con sistema electrónico digital totalmente integrado, ofreciendo la máxima flexibilidad para la integración en sistemas. La opción de combinación de cátodo frío y Pirani ofrece una transición sin problemas, fiabilidad, practicidad y flexibilidad en las aplicaciones de amplio alcance.

Ventajas

  • Long lifetime in harsh environments

  • Larga duración en entornos extremos

  • Campo de dispersión magnético bajo
  • Sin mantenimiento: piezas reemplazables
  • Tamaño supercompacto
  • Paso resistente a la corrosión
  • Corriente de medición seleccionable
  • 2 relay setpoints (in conjunction with MxG55x EtherCAT Version)
  • EtherCAT and RS232/ RS485 digital interace

Aplicaciones típicas

  • Seguimiento y control de la presión base, desde la atmósfera hasta un vacío elevado en aplicaciones de revestimiento de pulverización y evaporación.
  • Medición general de vacío (hornos industriales, vidrios arquitectónicos, semiconductores y sistemas de refrigeración y aire acondicionado).
  • Aplicaciones analíticas y de I+D (espectrometría de masas, microscopios electrónicos, medicina, oftalmología, óptica y física de altas energías).

Noticias

La NUEVA generación de indicadores que combina cátodo frío/cátodo frío-pirani ya está lista para su venta

  • Massbild Gemin plus EtherCAT_15.02.2019.PNG

Especificaciones

Tipo MAG5xx MPG5xx
Sistema de medición Cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle) Pirani and cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle)
Rango de medición (aire, N2) 1×10-9 … 1×10-2 1×10-9 … 1000
Precisión (N2)    
1×10-8 … 1×10-2 mbar % of reading 30

30

1×10-2 … 100 mbar % of reading - 30
100 … 1000 mbar % of reading - 50
Repetibilidad (N2)    
1×10-8 … 1×10-2 mbar % of reading 5 -
1×10-8 … 100 mbar % of reading - 5
Orientación de montaje any any
Presión admisible bar (absolute) 10 (limited to inert gases <55°C) 10 (limited to inert gases <55°C)
Temperatura admisible    
Funcionamiento (ambiente) °C +5 ... +55 +5 ... +55
Horneado en la brida (1) °C <150 <150
Almacenamiento °C -40 ... +70 -40 ... +70
Temperatura de filamento °C - 120
Humedad relativa del aire durante 30 días al año    
1×10-7 … 1×10-2 mbar % <95 (non-condensing) <95 (non-condensing)
1×10-8 … 1×10-2 mbar % <70 (non-condensing) <70 (non-condensing)
Tensión de alimentación    
En el calibre (2) V (dc) +14.5 ... +30 +14.5 ... +30
Ondulación V (p-p)

<1

<1

Consumo de potencia W <2 <2
Fusible para conectar AT <1 <1
Rango de tensión    
Salida analógica V 0 ... +10.5 0 ... +10.5
Rango de medición    
3MAx-xxx-xxxN V <+0.5  
3MBx-xxx-xxxP V -  
3MAx-xxx-xxxQ V +0.667 ... +10  
Tensión contra presión    
3MAx-xxx-xxxN volts per decade 1 (logarithmic)  
3MBx-xxx-xxxP volts per decade -  
3MAx-xxx-xxxQ volts per decade 1.33 (logaritmic)  
Señal de error    
3MAx-xxx-xxxN V <+0.5  
3MA-xxx-xxxQ V <+0.3  
3MBx-xxx-xxxP V -  
Output impedance

2 x 4.7 (short circuit-proof)

 
Load impedance kΩ >10 (short circuit-proof)  
Tiempo de respuesta faseado    
p > 1 x 10-6 mbar ms

<100

<100

p = 1x10-6...1x10-8 mbar s

~1

 
Identificación de calibre (FCC connector gauges)    
3MAx-0xx-000N kΩ -  
3MAx-0xx-000Q kΩ 100  
3MBx-0xx-000P kΩ -  
Estado signal, digital output (FCC connector)    
Current rating mA 100 (sink)  
High Voltage is ON V (dc) +14.5 ... +30 (depending on supply voltage)  
High Voltage is OFF V (dc) 0  
Status signal, digital output (D-sub connector)    
Supply voltage V (dc)

<30

 
Current rating mA 100  
High voltage ON V (dc)

0

 
High voltage OFF open  
Conexión eléctrica    
3Mxx-0xx-000x FCC68, 8-pin, female  
3Mxx-0xx-010x D-sub, 9-pin, male  
3Mxx-0xx-04xx D-Sub HD, 15-pin, male (for RS232/485 version)  
3Mxx-xxx-x2Gx D-Sub HD, 15-pin, male (for EtherCAT Version)  
Cable sensor    
3Mxx-0xx-000x 8-pin, shielded  
3Mxx-0xx-010x 9-pin, shielded  
3Mxx-0xx-04xx D-Sub HD, 15-pin, male (for RS232/485 version)  
3Mxx-xxx-x2Gx D-Sub HD, 15-pin, male (for EtherCAT Version)  
Longitud de cable    
FCC connector cable m

<50 (0.14 mm2/ conductor)

 
High voltage (in the measuring chamber)    
Ignition voltage kV <4.5  
Tensión de funcionamiento kV <3.3 <3.3
Current (in the measuring chamber)    
High current µA <380  
Low current µA <130  
Setpoint relays (MxG55x)    
Range (N2) mbar bar 5x10-5 ... 1500  
Relay contact normally open (NO), potential free  
Hysteresis % of threshold 10  
Contact rating of mechanical relays V/A <30/ <1  
Switching time ms <30  
Materiales expuestos al vacío    
3Mx0-xxx-xxxx Ni alloy, Mo, AI2O3, glass, stainless steels  
3Mx3-xxx-xxxx Mo, AI2O3, stainless steels  
3Mx0-11x-xxxx Ni alloy, Mo, Al2O3, glass, Ti, stainless steels  
3Mx3-11x-xxxx Mo, Al2O3, Ti, stainless steels  
Volumen interno    
DN 25 ISO-KF cm³
DN 40 ISO-KF cm³ ~20.9
DN 40 CF-F cm³ ~25.2  
DN 40 CF-R cm³ ~25.6  
Volumen interno cm³ 22.8 22.8
Peso (MxG50x)    
DN 25 ISO-KF g

<280

<280

DN 40 ISO-KF g <320
DN 40 CF-F & CF-R g <570 <570
Weight (MxG55x)    
DN 25 ISO-KF g

<280

<280

DN 40 ISO-KF g <320
DN 40 CF-F & CF-R g <570 <570
Grado de protección IP 40 IP 40
CE conformity    
RoHS 2011/65/EU  
EMC 2014/30/EU, EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61326-1  
Safety EN 61010-1  
RS232C / 485C (MxG50x)    
Baud rates kBaud 9.6/ 19.2/ 38.4/ 57.6  
Address 2 switches (address 00 - 255)  
Digital functions Read pressure, select Units: Torr, mbar, Pa, micron, counts. Monitor gauge Status, detailed Alarm and warning Information, safe state allows Definition of behaviour in case of error.  
Connector for RS232 & RS485 D-Sub HD, 15-pin, male  
EtherCAT® (MxG55x)    
Protocol EtherCAT®

 

 
Communication standard

ETG.5003.1  S (R) V1.1.0 4)

ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 5)

 
Node address Explicit Device Identification  
Physical layer 100Base-Tx (IEEE 802.3)  
Digital functions Read pressure, select Units: Torr, mbar, Pa, micron, counts. Monitor gauge Status, detailed Alarm and warning Information, safe state allows Definition of behaviour in case of error.  
EtherCAT connector 2 x RJ45, 8-pin (socket), Input & output  
EtherCAT cable Special Ethernet Patch cable or crossover cable, shielded (CAT5e Quality or higher)  
Cable lenght m (ft.) <100 (330)  

1) Sin componentes electrónicos.

2) Es necesario aumentar el voltaje mínimo de la unidad de alimentación de forma proporcional a la longitud del cable del sensor.

3) Cátodo frío detonado.

Gemini Ordering Information_13.03.2019.PNG

Accesorios

MAG5xx
Número de referencia Descripción
211-098 Centering ring with fine filter DN 25 KF
351-550 MxG50x Ignition tool set
211-113 Centering ring with baffle DN 25 KF
353-512 Baffle for BPG400
MPG5xx
Número de referencia Descripción
211-098 Centering ring with fine filter DN 25 KF
351-550 MxG50x Ignition tool set
211-113 Centering ring with baffle DN 25 KF
353-512 Baffle for BPG400

Piezas de repuesto

MAG5xx
Número de referencia Descripción
351-500 MAG500 spare sensor, 25KF, SS
351-556 Spare ion chamber ti
351-512 MAG500 spare sensor, 40KF, SS
351-536 MAG500 spare sensor, 40CF-R, SS
351-524 MAG500 spare sensor, 40CF-F, SS
351-502 MAG500 spare sensor, 25KF, TI
351-514 MAG500 spare sensor, 40KF, TI
351-538 MAG500 spare sensor, 40CF-R, TI
351-526 MAG500 spare sensor, 40CF-F, TI
351-501 MAG504 spare sensor, 25KF, SS
351-513 MAG504 spare sensor, 40KF, SS
351-537 MAG504 spare sensor, 40CF-R, SS
351-525 MAG504 spare sensor, 40CF-F, SS
351-503 MAG504 Ersatzsensor, 25KF, TI
351-515 MAG504 spare sensor, 40KF, TI
351-539 MAG504 spare sensor, 40CF-R, TI
351-527 MAG504 spare sensor, 40CF-F, TI
351-995 MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
351-555 Spare ion chamber ss
MPG5xx
Número de referencia Descripción
351-506 MPG500 spare sensor, 25KF, SS
351-518 MPG500 spare sensor, 40KF, SS
351-542 MPG500 spare sensor, 40CF-R, SS
351-530 MPG500 spare sensor, 40CF-F, SS
351-508 MPG500 spare sensor, 25KF, TI
351-520 MPG500 spare sensor, 40KF, TI
351-544 MPG500 spare sensor, 40CF-R, TI
351-532 MPG500 spare sensor, 40CF-F, TI
351-507 MPG504 SS,LC,9DSub,25KF
351-519 MPG504 spare sensor, 40KF, SS
351-543 MPG504 spare sensor, 40CF-R, SS
351-531 MPG504 spare sensor, 40CF-F, SS
351-509 MPG504 spare sensor, 25KF, TI
351-521 MPG504 spare sensor, 40KF, TI
351-545 MPG504 spare sensor, 40CF-R, TI
351-533 MPG504 spare sensor, 40CF-F, TI
351-995 MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
351-555 Spare ion chamber ss
351-556 Spare ion chamber ti
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