Indicador de atmósfera a vacío ultraelevado MPG40x

 

Los indicadores de magnetrón invertido de Pirani MPG400 y MPG401 de INFICON miden desde 5 x 10-9 hasta 1 atmósfera (3.8 x 10-9 Torr hasta la atmósfera). La combinación de tecnologías en una única unidad compacta con una señal de salida analógica y logarítmica reduce en gran medida la complejidad de la instalación, configuración e integración.

Ventajas

  • Indicador combinado: magnetrón invertido y Pirani
  • Amplio rango de mediciones desde los 5 x 10-9 mbar hasta 1 atmósfera
  • Sin filamento que se queme
  • Excelentes propiedades de ignición
  • Fácil de limpiar
  • Paso sellado con metal o con FPM
  • Indicador LED de conexión de alto voltaje
  • Señal de salida analógica y logarítmica

Aplicaciones típicas

  • Control de presión de alto vacío
  • Presión base para los sistemas de evaporación y pulverización
  • Medición general de vacío y control en los rangos de vacío medio y alto
  • MPG400/ 401 Inverted Magnetron Pirani Gauge

Especificaciones

Tipo MPG400 FPM sealed MPG401 metal-sealed
Rango de medición (aire, N2) 5 x 10-9 … 1000 5 x 10-9 … 1000
Precisión(N2)    
1 x 10-8 … 100 mbar % of reading ≈±30% ≈±30%
Repetibilidad    
1 x 10-8 … 100 mbar % of reading ≈±5% ≈±5%
Orientación de montaje any any
Presión admisible bar (absolute) ≤10 (limited to inert gases) ≤10 (limited to inert gases)
Temperatura admisible    
Funcionamiento (ambiente) °C +5 … +55 +5 … +55
Almacenamiento °C –40 … +65 –40 … +65
Horneado (1) °C 150 150
Temperatura de filamento (Pirani) °C 120 120
Tensión de alimentación    
En el calibre V (dc) +15 … +30 +15 … +30
En la unidad de suministro con una longitud de cable máx. (2) V (dc) +16 … +30 +16 … +30
Ondulación V (p-p) ≤1 ≤1
Consumo de potencia W ≤2 ≤2
Fusible para conectar AT ≤1 ≤1
Señal de salida (señal de medición)    
Rango de tensión V 0 … +10.5 0 … +10.5
Rango de medición V +1.82 … +8.6 +1.82 … +8.6
Tensión contra Presión logarithmic, 0.6 volts per decade logarithmic, 0.6 volts per decade
Señal de error    
sin suministro V <0.5 <0.5
Sensor Pirani, ruptura de filamento V >9.5 >9.5
Impedancia de salida 2 x 10 2 x 10
Impedancia cargada mínima kΩ 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof
Tiempo de respuesta    
p > 10-6 mbar ms <10 <10
p = 10-8 mbar ms ≈1000 ≈1000
Calibre de identificación 85, referenced to supply common 85, referenced to supply common
Estado    
Modo sólo Pirani V 0 (low) 0 (low)
Modo de cátodo frío / Pirani combinado V 15 … 30 (high) 15 … 30 (high)
LED LED green high voltage on high voltage on
Conexión eléctrica FCC 68 appliance connector, 8 poles, female FCC 68 appliance connector, 8 poles, female
Cable sensor 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding
Longitud de cable m ≤50 (8 x 0.14 mm2) ≤50 (8 x 0.14 mm2)
Tensión de funcionamiento kV ≤3.3 ≤3.3
Corriente de funcionamiento µA ≤500 ≤500
Materiales expuestos al vacío stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W
Volumen interno cm³ ≈20 ≈20
Peso    
DN 25 ISO-KF g ≈700 ≈730
DN 40 ISO-KF g ≈720 ≈750
DN 40 CF-F g ≈980 ≈1010
Categoría de protección IP 40 IP 40
Estándares    
Conformidad CE EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

1) Sin pantalla magnética ni componentes electrónicos

2) Es necesario aumentar el voltaje mínimo de la unidad de alimentación de forma proporcional a la longitud del cable del sensor.

Número de referencia

MPG400 FPM sealed
Número de referencia Descripción
351-010 MPG400 DN 25 ISO-KF
351-011 MPG400 DN 40 ISO-KF
351-012 MPG400 DN 40 CF-F
MPG401 metal-sealed
Número de referencia Descripción
351-020 MPG401 DN 25 ISO-KF
351-021 MPG401 DN 40 ISO-KF
351-022 MPG401 DN 40 CF-F
351-023 Escudo magnético

Accesorios

MPG400 FPM sealed
Número de referencia Descripción
351-023 Escudo magnético
MPG401 metal-sealed
Número de referencia Descripción
351-023 Escudo magnético

Piezas de repuesto

MPG400 FPM sealed
Número de referencia Descripción
BN846469-T Spare measurement system MPG400
BN846470-T Spare measurement system MPG400 DN40 KF
BN846471-T Spare measurement system MPG400 DN40CF-F
351-994 MPG40x Ignition tool set
351-995 MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
351-998 MPG400 Repair set.
351-999 MPG400 Maintenance set
MPG401 metal-sealed
Número de referencia Descripción
BN846472-T Replacement meas. unit MPG401 DN25 KF
BN846473-T Replacement meas. unit MPG401 DN40 KF
BN846474-T Spare meas. system, MPG401 DN40CF-F
351-994 MPG40x Ignition tool set
351-995 MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
351-996 MPG401 Repair set
351-997 MPG401 Maintenance set
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