Controlador de deposición de película delgada IC6

LA EXCELENCIA, UNA CONSTANTE

El completo dispositivo IC6 proporciona la mayor precisión posible en las mediciones

El controlador de deposición de película delgada IC6 proporciona un valor excepcional mediante la combinación del rendimiento demostrado de los controladores de película delgada de INFICON con características exclusivas diseñadas para que saque el máximo partido del proceso de deposición. El IC6 utiliza nuestro sistema de medición de frecuencia ModeLock para ofrecer mediciones de grosor y velocidad estables y de alta resolución con un excelente estándar de 0,00433 Å/s cada 1/10 segundos. No existe ningún controlador de cristal de cuarzo que iguale en rendimiento, calidad y características al IC6, que le permite convertir la excelencia en una cualidad constante.

Características

  • La tecnología ModeLock de INFICON garantiza la medición de grosor y velocidad más estable y con la mayor resolución posible, incluso a velocidades muy bajas.
  • Auto Z (coeficiente de impedancia acústica) mejora la precisión del grosor al determinar automáticamente el coeficiente de impedancia acústica cuando se coloca el material
  • Codeposición de hasta seis fuentes simultáneas
  • La pantalla TFT LCD en color facilita la visualización del proceso
  • +/-0,0035 Hz en muestras de 100 ms
  • Almacenamiento de datos USB para instantáneas, fórmulas y registro de datos
  • E/S potente con flexibilidad para integrarse en sistemas simples o complejos (con entradas ampliables [28]) y salidas (salidas de 24 relés, 14 TTL) y el uso de funciones lógicas (100 comandos lógicos)
  • 6 salidas DAC estándar, 6 salidas opcionales adicionales para el control de fuentes y el seguimiento de grosor o velocidad
  • Puede almacenar hasta 50 procesos de 200 capas cada uno y los procesos se pueden vincular entre sí para conseguir un máximo de 10.000 capas
  • Promedio de varios sensores (hasta 8)
  • La opción XIU de 4 metros permite utilizar cables largos de sensor de vacío para sistemas grandes
  • Comunicación Ethernet opcional
  • Optional IC6 Configuration Editor Software (part number 781-620-G1) - LabVIEW® based Windows® software that allows for offline creation and editing of IC6 configuration files and converts IC/5 configuration files to IC6 format.
  • Cumplimiento de la normativa RoHS

Aplicaciones típicas

  • Revestimiento óptico de gama alta

Especificaciones

Tipo IC6
Rendimiento de medición  
Resolución de frecuencia ±0.0035 Hz @ 6 MHz
Medición/resolución de velocidad y grosor (1) ±0.00433 Å
Rango de frecuencia de medición 6.0 to 4.5 MHz (fixed)
Precisión de grosor (2) 0.5%
Intervalo de medición 0.10 s
Media de varias mediciones 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed
Funciones de diseño  
Coeficiente de impedancia acústica yes
Autotono yes
Co-deposición yes (up to 6 sources)
Fórmula de proceso y gestión de datos  
Programas de materiales 32
Capas de proceso (por proceso) 200
Procesos 50 (processes can be linked together)
Memoria USB yes
Registro de datos yes
Contenido de hardware  
Sensores (3)  
Único 8
Dual/CrystalTwo® 4 / 8 (with CrystalTwo® Switch)
CrystalSix® 8
Crystal 12® 8
Genérico 8
Controles de fuente  
Número de fuentes (4) up to 6
Voltajes de control de fuente 0 to +/-10 V, adjustable
Resolución de salida 15 bits over full range (0 to 10V)
Posiciones de crisol 64
Entradas/Salidas  
Entradas 14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground
Salidas 8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs
Salida del registrador (4) 0 to +10 V, adjustable
Declaraciones lógicas 100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement
Comunicaciones  
Estándar RS232
Opcional Ethernet
Pantalla  
Resolución de grosor

1 Å for 0 to 9.999 kÅ

10 Å for 10.00 to 99.99 kÅ

100 Å for 100.0 to 999.9 kÅ

1 kÅ for 1000 to 9999 kÅ

Resolución de velocidad

0.001 for 0 to 9.999 Å/s if rate filter time setting is 10 seconds or greater

0.01 for 0 to 99.99 Å/s

0.1 for 100 to 999.9 Å/s

Funcionamiento  
Requisitos de alimentación

100 – 230 V (ac) +/- 15%

50 / 60 Hz +/- 3 Hz

Temperatura de funcionamiento 0 to 50 C (32 to 122 F)
Dimensiones, excluyendo montajes (Al. x An. x Pr.) 5.25” x 19” x 13” (133mm x 483mm x 330 mm)
Peso 23 lbs (10.5 kg)

(1) Herramientas / densidad = 100/1, frecuencia fundamental = 6 MHz

(2) Varía en función del proceso; las figuras reflejan la precisión habitual

(3) Configuración máxima de cada tipo

(4) IC6 tiene 6 salidas DAC estándar y se pueden añadir 6 más de forma opcional.  Cualquiera de las 12 se puede configurar como voltajes de control de fuente o salidas del registrador; no obstante, solo se pueden controlar seis fuentes de forma simultánea

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Accesorios

Nombre Descripción
Sensor individual de carga frontal Sensor individual de carga frontal
Sensor dual de carga frontal Sensor dual de carga frontal
Sensor individual Cool Drawer Sensor individual Cool Drawer
Sensor dual Cool Drawer Sensor dual Cool Drawer
Sensor de cabeza dual de bajo perfil Sensor de cabeza dual de bajo perfil
Sensor refractario UHV Sensor refractario UHV
Sensor ALD Sensor ALD
Sensor de pulverización Sensor de pulverización
Sensor CrystalSix® Sensor CrystalSix®
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor
Sensor Crystal 12® Sensor Crystal 12®
Sensor giratorio RSH-600 Sensor giratorio RSH-600
Número de referencia Descripción
755-262-G1 Handheld Power Controller
779-220-G1 Interruptor CrystalTwo, 15,2 cm (6 pulgadas), cables BNC
779-220-G2 Interruptor CrystalTwo, 50,8 cm (20 pulgadas), cables BNC
Oscillator kits (Incluye oscilador y cables)
781-611-G15 XIU PKG con cable de 4,6 m (15 pies) - Para su uso con Cygnus 2, IC6 o XTC/3
781-611-G30 XIU PKG con cable de 9,1 m (30 pies) - Para su uso con Cygnus 2, IC6 o XTC/3
781-611-G50 XIU PKG con cable de 15,2 m (50 pies) - Para su uso con Cygnus 2, IC6 o XTC/3
781-611-G100 XIU PKG con cable de 30,5 m (100 pies) - Para su uso con Cygnus 2, IC6 o XTC/3
781-612-G15 XIU PKG de 4 m con cable XIU de 4,6 m (15 pies) - Incluye cable de 4 m en vacío y cable BNC (de XIU a paso eléctrico) de 6 pulg. - Para su uso con Cygnus 2, IC6 o XTC/3
781-612-G30 XIU PKG de 4 m con cable XIU de 9,1 m (30pies) - Incluye cable de 4 m en vacío y cable BNC (de XIU a paso eléctrico) de 6 pulg. - Para su uso con Cygnus 2, IC6 o XTC/3
781-612-G50 XIU PKG de 4 m con cable XIU de 15,2 m (50pies) - Incluye cable de 4 m en vacío y cable BNC (de XIU a paso eléctrico) de 6 pulg. - Para su uso con Cygnus 2, IC6 o XTC/3
781-612-G100 XIU de 4 m con cable XIU de 30,5 m (100 pies) - Incluye cable de 4 m en vacío y cable BNC (de XIU a paso eléctrico) de 6 pulg. - Para su uso con Cygnus, 2 IC6 o XTC/3
781-613-G15 XIU PKG de 4 m con cable XIU de4,6 m (15 pies) - Incluye cable de 3,5 m en vacío y cable BNC (de XIU a paso eléctrico) de 20 pulg. - Para su uso con Cygnus 2, IC6 o XTC/3
781-613-G30 XIU PKG de 4 m con cable XIU de 9,1 m (30 pies) - Incluye cable de 3,5 m en vacío y cable BNC (de XIU a paso eléctrico) de 20 pulg. - Para su uso con Cygnus 2, IC6 o XTC/3
781-613-G50 XIU PKG de 4 m con cable XIU de 15,2 m (50 pies) - Incluye cable de 3,5 m en vacío y cable BNC (de XIU a paso eléctrico) de 20 pulg. - Para su uso con Cygnus 2, IC6 o XTC/3
781-613-G100 XIU PKG de 4 m con cable XIU de 30,5 m (100 pies) - Incluye cable de 3,5 m en vacío y cable BNC (de XIU a paso eléctrico) de 20 pulg. - Para su uso con Cygnus 2, IC6 o XTC/3
Oscillator Only (No incluye cables)
781-600-G1 XIU (oscilador) - Para cables entre la unidad XIU y la cabeza del sensor de 15 a 183 cm in (6 a 72 pulg.) - Para su uso con Cygnus 2, IC6 o XTC/3
781-600-G2 XIU (oscilador) - Para cables entre la unidad XIU y la cabeza del sensor de 3 a 4 m (118 a 157 pulg.) - Para su uso con Cygnus 2 o IC6
Cables
600-1261-P100 Cable de 30,5 (100 pies), de controlador XTC/3, Cygnus 2 o IC6 a unidad XIU
600-1261-P15 Cable de 4,6 m (15 pies), de controlador XTC/3, Cygnus 2 o IC6 a unidad XIU
600-1261-P30 Cable de 9,1 m (30 pies), de controlador XTC/3, Cygnus 2 o IC6 a unidad XIU
600-1261-P50 Cable de 15,2 m (50 pies), de controlador XTC/3, Cygnus 2 o IC6 a unidad XIU
755-257-G6 Cable de 15,2 cm (6 pulg.), de unidad XIU con paso de corriente hermético
Configuration Editor Software
781-620-G1 IC6 Configuration Editor Software - LabVIEW® based Windows® software that allows for offline creation and editing of IC6 configuration files and converts IC/5 configuration files to IC6 format.

Consumibles

Nombre Descripción
Cristales de cuarzo de monitor Cristales de cuarzo de monitor
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