Indicador de atmósfera a vacío ultraelevado HPG400 ATM

 

El indicador Pirani de ionización en caliente a alta presión HPG400 de INFICON combina la ionización en caliente a alta presión y los sensores Pirani en un único paquete económico y compacto para medir la presión desde 2×10-6 mbar hasta 1 atmósfera (1.5×10-6 Torr hasta 1 atmósfera). El indicador HPG400 ofrece una medición de la presión altamente repetible y reproducible para obtener un control preciso de la presión del proceso de pulverización.

Ventajas

  • El indicador HPG400 ahorra costes y espacio de herramientas y reduce la complejidad de la configuración y de la instalación del sistema de vacío.
  • Los iones calientes a alta presión proporcionan mediciones de presión fiables y precisas desde 1×10-5 … 1 mbar para obtener un control mejorado del proceso.
  • El usuario puede seleccionar la activación de emisiones de iones calientes entre 5×10-2 and 1 mbar
  • El bloqueo Pirani protege los filamentos calientes del desgaste prematuro
  • Están disponibles una interfaz de bus de campo y una pantalla gráfica opcional
  • El ajuste Pirani automático de alto vacío reduce las intervenciones del operador
  • Cumplimiento de la normativa RoHS

Aplicaciones típicas

  • Aplicaciones de pulverización en el sector de la fabricación de semiconductores, de los dispositivos electrónicos y de los medios de comunicación
  • Revestimiento industrial
  • Medición general de vacío y control en los rangos de vacío bajo y alto vacío
  • HPG400 High Pressure Ionisation Gauge

Especificaciones

Tipo HPG400
Rango de medición (aire, N2) 2×10-6 … 1000
Precisión  
10-5 … 1 mbar % of reading ±15 (1)
Repetibilidad  
10-5 … 10-1 mbar % of reading 2
10-1 … 100 mbar % of reading 30
Emisión de ion caliente encendida, se puede seleccionar:  
Opción 1 mbar 1
Opción 2 mbar 5×10-1
Opción 3 mbar 2×10-1
Opción 4 mbar 1×10-1
Opción 5 mbar 5×10-2
Presión, máx. bar (absolute) 2
Temperatura  
Funcionamiento (ambiente) °C 0 … +50
Almacenamiento °C -20 … +70
Horneado en la brida °C 80
Electrónica de horneado retirado °C 150
Tensión de alimentación 20 … 28
Señal de salida analógica  
Señal de salida V 0 … +10.2
Cátodo caliente del rango de medición V 1.5 … 7.5
Rango de medición Pirani V 8.5 … 9.75
Tensión contra cátodo caliente de presión volts per decade 1
Tensión contra Presión Pirani volts per decade 0.25
Señal de error cátodo caliente V 0.3
Señal de error Pirani V 0.5
Impedancia de carga, mín. kΩ 10
Interfaz (digital) (2) RS232C
Conexión eléctrica D-Sub, 15-pin, male
Longitud de cable, máx. (3) m (ft.) 100 (330)
Materiales expuestos al vacío Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
Volumen interno KF / CF cm³ (in.³) 20 (1.2) / 30 (1.8)
Peso KF / CF g 430 / 695
Grado de protección IP30
DeviceNet™  
Protocolo DeviceNet™, group 2 slave only
Conmutador de velocidad de transmisión de datos kBaud 125, 250, 500 or network programmable
Longitud de cable 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
Longitud de cable 250 kbps m (ft.) 250 (825)
Longitud de cable 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
Tamaño de la red up to 64 nodes per segment
Funciones digitales read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
Funciones analógicas 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
Indicadores de comunicación visual LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
Especificación DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
Tipo de dispositivo ''CG'' for combination gauge
Mensaje de esclavo I / O polling only
Relés de punto de ajuste: Número de puntos de ajuste 2
Relés de punto de ajuste: Rango mbar 2×10-6 … 100
Relés de punto de ajuste: Contacto de relé n.o., potential free
Relés de punto de ajuste: Histéresis % of reading 10
Relés de punto de ajuste: Capacidad nominal de contacto 60
Tensión de alimentación para DeviceNet™ 11 … 25
Tensión de alimentación para calibre V (dc) 20 … 28
Conector para DeviceNet™ Microstyle, 5-pin
Conector para HPG (salida analógica, tensión de alimentación, puntos de ajuste) D-Sub, 15-pin, male
Profibus DP  
Velocidad de transmisión de baudios 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
Dirección 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
Funciones digitales read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
Funciones analógicas 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
Relés de punto de ajuste: Número de puntos de ajuste 2
Relés de punto de ajuste: Rango mbar 2×10-6 … 100
Relés de punto de ajuste: Contacto de relé n.o., potential free
Relés de punto de ajuste: Histéresis % of reading 10
Relés de punto de ajuste: Capacidad nominal de contacto 60
Conector para Profibus DP D-Sub, 9-pin, female
Conector para HPG (salida analógica, tensión de alimentación, puntos de ajuste) D-Sub, 15-pin, male

(1) Precisión de 10-5 mbar hasta la emisión de iones calientes seleccionada en la válvula

2) No se permite el uso simultáneo del bus de campo y de los controladores de las series RS232C o VGC40x

(3) Para el funcionamiento de RS232C <30m

Número de referencia

HPG400
Número de referencia Descripción
353-520 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-521 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-522 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F
353-523 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F
353-525 HPG400-SP HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-526 HPG400-SP PBus, DN 40 CF-F
353-527 HPG400-SD HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-528 HPG400-SD DNet DN 40 CF-F
354-486 HPG400 Spare meas. system DN 25 ISO-KF
354-487 HPG400 Spare meas. system DN 25 ISO-KF
354-488 HPG400 Spare meas. system DN 40 CF-F

Accesorios

HPG400
Número de referencia Descripción
211-113 Centering ring with baffle DN 25 KF
353-511 Power supply BPG400 24VDC
357-499 Baffle HPG (10 pieces)

Piezas de repuesto

HPG400
Número de referencia Descripción
354-487 HPG400 Spare meas. system DN 25 ISO-KF
354-488 HPG400 Spare meas. system DN 40 CF-F
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