UL1000 Fab - Detector de fugas de helio por vacío (en seco)

 

Tecnología de sensores ULTRATEST™

 

El estándar «en seco» para pruebas de estanqueidad al vacío en la fabricación de semiconductores y vacío industrial 

 

El detector de fugas de helio INFICON UL1000 Fab es el estándar más famoso en cuanto a pruebas económicas de estanqueidad al vacío con helio en entornos industriales o de semiconductores. 

 

La posible contaminación de las piezas o equipos analizados por compuestos o partículas de carbono-hidrógeno se elimina con la tecnología de bomba en seco del instrumento. El UL1000 Fab ofrece el mejor equilibro entre alta prestación, robustez incomparable y asequibilidad. Proporciona unos avanzados límites de detección de 10-12 mbar*l/s combinados con un tiempo razonablemente corto de reacción y de bombeo. El diseño económico ofrece una alta maniobrabilidad, lo que permite un acceso sencillo a las zonas de mantenimiento con espacio limitado. La supresión de fondo seleccionable (iZERO) permite la detección continua de fugas dentro de al menos dos décadas menos que los niveles de fondo existentes. 

 

Todas las funciones permiten acortar el tiempo de las pruebas de estanqueidad asegurando que todas las fugas puedan ser identificadas de manera económica. 

Ventajas

  • minimiza el esfuerzo dedicado a las pruebas de estanqueidad gracias a un tiempo rápido de bombeo y de reacción
  • evita la necesidad de realizar múltiples pruebas de estanqueidad al usar la supresión de fondo seleccionable (iZERO)
  • permite acceder fácilmente a zonas de mantenimiento con espacio limitado gracias a un diseño adaptable
  • bajo coste total de propiedad (TCO) gracias a una robusta fuente iónica de dos filamentos calientes (3 años de garantía) y al sistema de vacío a contracorriente
  • fácil de usar con pantalla giratoria, indicación de fuga óptica y acústica y mando a distancia opcional
  • bajo mantenimiento gracias a una detección de fugas integrada con método de autocalibración

Aplicaciones típicas

  • producción de equipos de vacío industrial con exigencias altas de limpieza
  • componentes de vacío o subconjuntos antes de instalarlos en herramientas existentes
  • tareas de mantenimiento en herramientas de vacío, con o sin el apoyo de su propia bomba
  • inspecciones e instalaciones de sistemas de gas de proceso
  • fabricación de semiconductores, pantallas planas o células solares

Especificaciones

Tipo Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
Tasa de fuga mínima detectable para helio (modo de vacío) mbar•L/s

< 5 • 10-12

Tasa de fuga mínima detectable para helio (modo de muestreo) mbar•L/s

< 5·10-8

Presión de entrada máx. modo GROSS mbar 15
Presión de entrada máx. modo FINE mbar 2
Presión de entrada máx. modo ULTRA mbar 0.4
Velocidad de bombeo durante la evacuación m³/h 25 at 50 Hz
Velocidad de bombeo de helio, modo GROSS L/s max. 8
Velocidad de bombeo de helio modo FINE L/s 7
Velocidad de bombeo de helio modo ULTRA L/s 2.5
Masas detectables 2,3,4 amu
Campo sector espectrómetro de masa 180°
Filamentos fuente de iones con recubrimiento de iridio/itrio 2
Fuga calibrada incorporada mbar•L/s

∼ 10-7

Orificio de prueba DN 25 KF 1
Disparadores ajustables

2

Interfaz RS 232
Salida del registrador gráfico V 2 x10
Entradas/salidas PLC compatible
Temperatura ambiente admisible (en funcionamiento) °C +10 to +40
Peso 110
Dimensiones (L x An x Al) 1050 x 472 x 987
Tensión conexión (EU) V (ac) 230 (± 10 %) 50 Hz
Tensión conexión (US) V (ac) 100/115 V (± 10 %) 50/60 Hz
Consumo de energía (typ.) VA 1100
Consumo de energía (typ.) VA 1100

Número de referencia

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
Número de referencia Descripción
550-100A ULTRATEST UL1000 Fab, 230 V, EU plug
550-101A ULTRATEST UL1000 Fab, 100/115 V, US plug

Accesorios

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
Número de referencia Descripción
14005 SL200 sniffer probe for UL1000/3000/5000 (Extension cable 551-205 required)
14022 RC1000 extension cable, 8 m
14090 LeakWare, PC SW for UL1000/UL5000
551-000 Toolbox, detachable,for UL1000
551-001 Helium Bottle Holder for UL1000/5000
551-002 ESD Mat for UL1000/5000
551-005 TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band
551-010 Remote Control RC1000C, with 4m cable
551-015 Remote Control RC1000WL, wireless
551-020 Wireless transmitter for RC1000WL
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