Controlador EIES Guardian™

Deposición simultánea de hasta ocho materiales

Ideal para películas delgadas CIGS

Guardian puede controlar las velocidades de reposición desde 0,1 hasta 10 000 Å/s. Trabaja con uno o dos sensores, hasta 8 entradas ópticas y controla hasta 8 fuentes de deposiciones, lo que permite la codeposición de hasta 8 materiales.

Guardian de INFICON es ideal para aplicaciones como la fabricación de módulos fotovoltaicos, como la fabricación de módulos fotovoltaicos, OLED, elementos fotovoltaicos y películas delgadas y MBE de superconducción.

El sistema de codeposición Guardian se basa en la espectroscopia de emisión de impacto de electrones (EIES). Al utilizar EIES, un emisor termoiónico excita el material que se deposita, lo que tiene como resultado la creación de fotones. La luz que se crea pasa a través de un filtro óptico hasta llegar a un detector de tubo fotomultiplicador (PMT), el cual mide la intensidad de la emisión de la longitud de onda que ha pasado. A continuación, el controlador Guardian de INFICON genera una señal para controlar el origen de ese material. Se usan detectores adicionales con filtros ópticos apropiados para varios materiales.

Un sistema Guardian completo está formado por, al menos, un sensor, un detector PMT, un filtro óptico, una unidad de controlador Guardian y un PC (proporcionado por el usuario) con software Guardian. La EIES se suele utilizar para controlar la deposición de diferentes materiales, por lo que la mayoría de estos sistemas suelen incluir sensores adicionales, detectores, componentes ópticos como divisores de rayos y QCM para la calibración o el control de la velocidad de deposición en algunos materiales. Puede encontrar más información sobre sistemas típicos en la guía de configuración de Guardian que se encuentra en la pestaña de descargas que aparece a continuación.

Para configurar el sistema de codeposición de Guardian tenga en cuenta lo siguiente
¿Cuáles son las longitudes de onda de la emisión primaria y secundaria de sus materiales de deposición?

Si materiales diferentes tienen picos muy cerca uno de otros, es posible que tenga que supervisar una longitud de onda secundaria, cuya potencia de señal es inferior.

Durante el proceso de deposición, ¿qué gases de fondo aparecen en la cámara de vacío y cuáles son las longitudes de las ondas de emisión de dichos gases?

Si las emisiones de los gases de fondo interfieren con los materiales de deposición, se recomienda usar un sensor para compensar los gases.

EIES es más efectivo con los espectros exclusivos de especies atómicas. Las especies moleculares que generan espectros de emisión amplios o inestables no pueden medirse adecuadamente. No se recomienda el uso de EIES en el caso de materiales orgánicos. Estos y otros factores determinan la configuración óptima de sistema para el EIES para cada aplicación específica.

Características

  • Supervisa y controla la deposición simultánea de hasta 8 materiales
  • Tasas de deposición desde 0,1 y hasta 10.000 Å/s
  • Control integrado de proceso de película delgada QCM y EIES
  • 12 salidas de relé y 12 entradas digitales
  • Software basado en Windows para la instalación y el funcionamiento
  • Compatible con los sensores Sentinel® de INFICON

Especificaciones

Tipo Guardian EIES Controller
Sensores  
Presión operativa <5x10-4 Torr
Temperatura 450° C maximum during operation and/or bakeout
Tamaño (aproximado) 0.75 in. x 1.25 in. x 1.75 in. (19 mm x 32 mm x 45 mm)
Duración del filamento (típica) ~1000 hours at 2mA emission (Yttria), 4mA for Thoria
Vinculación sensor-paso eléctrico Rigid ss tube, adjustable from 7 in. to 22 in. (175 mm to 550 mm)
Paso eléctrico/brida One optical and four electrical feedthroughs on 2.75 in.CF (NW35CF)
Detector  
Tubo fotomultiplicador (PMT) Hamamatsu R7518 or equivalent
Respuesta espectral 185 to 730 nm
Límite de detección Better than 5 fW of optical input power
Ganancia de PMT 103 to 107 (detectors are independently adjustable)
Resolución de salida 20-bit
Puerto óptico de entrada Built-in filter holder, for filters up to 1 in. (25mm) diameter and 0.2 in. (5mm) thick
Tamaño 2 in. x 5.5 in. x 2.75 in. (50 mm x 140 mm x 70 mm) mounting holes on three sides (optional mounting brackets available)
Controladores  
Sensores

016-600-G22: Standard Sensor Assembly 22 in.

016-601-G22: Gas Compensating Sensor Assembly 22 in.

Detectores Eight optical detector channels
Salidas de control Eight source control outputs, 0 to ±10 VDC programmable
E/S digital 12 relay outputs and 12 logic inputs
Alimentación 100-240 VAC, 50/60Hz, 150W
Tamaño 19 in. x 3.5 in. x 12 in. (483 mm x 89 mm x 305 mm)
Cumplimiento CE
Software de interfaz de usuario: Windows®-based setup program included with Controller
El software muestra la velocidad de la deposición: 4-digit numeric display of all channels, from 0.001 to 9999 Å/s, and graphical X-Y scrolling plot with selectable scales.
Grosor mostrado por software: 4-digit numeric display with range selection, from 0.001 to 9999 KÅ
Equipo proporcionado por el usuario: Any PC with Windows® Vista/XP/2000 operating system, and Ethernet or RS-232 interface

Número de referencia

Guardian EIES Controller
Número de referencia Descripción
782-900-031 Controlador Guardian para un sensor (estándar o de compensación de gas)
782-900-050 Controlador Guardian para dos sensores (estándar o de compensación de gas)

Accesorios

Número de referencia Descripción
EIES Sensors
016-600-G22 Standard EIES Sensor, 22 in.
016-601-G22 Gas Compensating EIES Sensor, 22 in.
Beam Splitters Los divisores de haces de fibra óptica dividen el haz de luz procedente del sensor para poder medir varios materiales mediante el sensor de EIES.
782-900-034 Fiber Optic Beam Splitter, 3 way, 400 mm
782-900-034-x-yyy Divisor de rayos de fibra óptica Guardian (1:x) - yyy mm
Filament Cables Conecta el sensor EIES al controlador Guardian
600-1406-P10 Cable de filamento único Guardian, 3 m (10 pies) - Para sensor estándar EIES
600-1406-P40 Cable de filamento único Guardian, 12 m (40 pies) - Para sensor estándar EIES
600-1407-P10 Cable de filamento dual Guardian, 3 m (10 pies) - Para sensor de compensación EIES
600-1407-P40 Cable de filamento dual Guardian, 12 m (40 pies) - Para sensor de compensación EIES
PMT Detector
782-900-030 Detector Guardian PMT
PMT Detector Cables Conecta el detector PMT al controlador Guardian
782-505-065 PMT Detector Cable, 3m (10ft.), Guardian
782-505-065-40 PMT Detector Cable, 12m(40ft.), Guardian
Optical Filters Seleccione la longitud de onda apropiada para su material
782-900-035-202 Optical Filter, 202 nm, Guardian
782-900-035-241 Optical Filter, 241 nm, Guardian
782-900-035-252 Optical Filter, 252 nm, Guardian
782-900-035-265 Optical Filter, 265 nm, Guardian
782-900-035-267 Optical Filter, 267 nm, Guardian
782-900-035-294 Optical Filter, 294 nm, Guardian
782-900-035-304 Optical Filter, 304 nm, Guardian
782-900-035-325 Optical Filter, 325 nm, Guardian
782-900-035-358 Optical Filter, 358 nm, Guardian
782-900-035-364 Optical Filter, 364 nm, Guardian
782-900-035-396 Optical Filter, 396 nm, Guardian
782-900-035-417 Optical Filter, 417 nm, Guardian
782-900-035-451 Optical Filter, 451 nm, Guardian
782-900-070 Kit monocromador Guardian

Piezas de repuesto

Número de referencia Descripción
016-201-G1 Emitter Assembly, EIES Sensor
782-900-038 Photomultiplier Tube, Guardian
016-509-G22 In-Vacuum Cable, 22 Inch, EIES Sensor
782-530-015 Sensor Filament, EIES Sensor
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