Sensor dual de carga frontal

Los sensores duales de cristal de carga frontal de INFICON ofrecen una fiabilidad y durabilidad demostradas y presentan la mejor estabilidad térmica de cualquier cabeza de sensor del mercado. Este sensor dual proporciona un cristal de apoyo y es fundamental para procesos críticos en los que es preferible tener un segundo cristal en la cámara de vacío.

El diseño de carga frontal permite insertar fácilmente el soporte de cristal en aplicaciones que no disponen de espacio suficiente para una inserción lateral. Las piezas no están soldadas, sino montadas mecánicamente, por lo que se pueden sustituir fácilmente in situ si es necesario. Los sensores se pueden adquirir individualmente o en combinaciones de sensor y paso, que pueden estar soldadas o montadas con conectores por compresión.

Características

  • Cristales dobles
  • Obturador de cristal
  • Soporte de cristal de carga frontal
  • Instalación fácil
  • Disponible con paso de perno de 2,54 cm (1 pulg.)/paso eléctrico CF40
  • Longitud ajustable si se solicita con conectores por compresión
  • No requiere soldadura si se solicita con conectores por compresión o soldada a un paso
  • Combinaciones de sensor/paso soldadas disponibles con la longitud especificada por el cliente

Especificaciones

Tipo Front Load Dual Sensor
Temperatura máxima de cocción sin agua 130° C
Temperatura de entorno isotérmico operativo máximo con flujo de agua mínimo 400 ° C
Tamaño (envolvente máximo sin obturador) 1.54 in. x 3.23 in. x 1.95 in. (39.12 mm x 82.04 mm x 49.54 mm)
Tubo de agua y longitud coaxial, sensor "E" Standard 30 in. (762 mm)
Cambio de cristal Front-loading, self-contained package for ease of exchange. Shutter flips up to ease access to the holders.
Conjunto Two #4-40 tapped holes on the back of the sensor body
Requisitos de la instalación  
Paso eléctrico

Qty. (1) 2¾ in. (69.85 mm) ConFlat® with 2 Microdot®, 2 pass water and air, or

Qty. (1) 1 in. (25.4 mm) bolt with 2 Microdot, 2 pass water and air.

Otro

1) Valve assembly for air—IPN 750-420-G1

2) Two oscillators or one oscillator and 779-220-G1 CrystalTwo Switch designed to interface with the deposition controller.

3) For automatic operation, the deposition process controller must be designed for the implementation of this feature.

Utilidades

1) Minimum water flow 150-200 cc/min, 30°C max (Do not allow to freeze.)

2) Air, 80 PSIG (5.5 bar) [552 kPa] very low volume, DO NOT EXCEED 110 PSIG (7.6 bar) [760 kPa]

Calidad del agua Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. Extremely dirty water may result in loss of cooling capacity.
Materiales  
Cuerpo y soporte 304 Type stainless steel
Resortes Au plated Be-Cu
Tubos de agua S-304, 0.125 in. (3.175 mm) OD x 0.015 in. (0.381 mm) Wall thickness seamless stainless steel tubing
Conector (Microdot) Stainless steel, Teflon® and glass insulated
Aislantes >99% Al2O3
Cable Teflon insulated copper
Otras piezas mecánicas 304 or 18-8 stainless steel
Soldar Vacuum process high temperature Ni-Cr alloy
Cristal 0.550 in. (13.97 mm) diameter
Especificaciones de paso eléctrico - Perno de 1 pulg. (2,54 cm) y terminaciones Ultra-Torr (conector por compresión):  
Materiales 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON®
Temperatura Operational environment to 300ºC with water cooling or 165° C without
Conjunto 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
Especificaciones del paso eléctrico - Terminaciones soldadas CF 40 (2 3/4 pulg. ConFlat):  
Materiales 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
Temperatura Operational environment to 450° C with water cooling or 165° C without
Conjunto Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.
FrontLoadDual_OrderChart_2013_web-01.png

Accesorios

Nombre Descripción
Paso de sensor QCM Paso de sensor QCM
Front Load Dual Sensor
Número de referencia Descripción
750-420-G1 Válvula solenoide de 24 V (para uso con sensores de obturación y sensores multicristales)

Consumibles

Nombre Descripción
Cristales de cuarzo de monitor Cristales de cuarzo de monitor

Piezas de repuesto

Front Load Dual Sensor
Número de referencia Descripción
007-007 Resorte de retención (para el soporte de cristal)
007-023 Retención cerámica
080-018 Tornillo de fijación (para coaxial hembra)
082-044 Tornillo de teflón (para resorte de hojas)
750-115-P4 Acoplamiento (se instala en el conjunto del fuelle)
750-169-P2 Conjunto del fuelle (acoplamiento no incluido)
750-171-P1 Contacto de resorte de retención
750-172-G1 Soporte del cristal (incluye resorte de retención)
750-174-P2 Coaxial hembra
750-175-P1 Aislante (bajo resorte de hojas)
750-188-P3 Leaf Spring, Formed
008-007 CRYSTAL SNATCHER
750-210-G1 Módulo de obturador (conjunto de fuelle, conjunto de eje y conjunto de obturador)
750-215-G1 Conjunto de eje (parte de módulo del obturador)
750-216-G1 Conjunto de obturador (parte de módulo del obturador)
In-vacuum cables
321-039-G12 Cable en vacío, 15,2 cm (6 pulg.)
007-252 Cable en vacío, 30,5 cm (12 pulg.)
321-039-G11 Cable en vacío, 61,0 cm (24 pulg.)
007-044 Cable en vacío, 78,1 cm (30,75 pulg.)
007-059 Cable en vacío, 91,4 cm (36 pulg.)
007-061 Cable en vacío, 121,9 cm (48 pulg.) - Necesita controlador ModeLock
321-039-G13 Cable en vacío, 154,2 cm (60 pulg.) - Necesita controlador ModeLock
321-039-G14 Cable en vacío, 182,9 cm (72 pulg.) - Necesita controlador ModeLock
321-039-G15 Cable en vacío, 3,5 m (137,8 pulg.) - Necesita controlador ModeLock y XIU de 4 m
321-039-G16 Cable en vacío, 4 m (157,5 pulg.) - Necesita controlador ModeLock y XIU de 4 m
enviar a un amigo


Productos relacionados