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Sensor refractario UHV
Los sensores refractarios de cristal UHV de INFICON ofrecen una fiabilidad y durabilidad probadas, y presentan la mejor estabilidad térmica de cualquier cabeza de sensor del mercado. El diseño del sensor refractario UHV, fabricado en acero inoxidable 304, molibdeno, inconel, níquel y alúmina, resiste temperaturas de cocción constantes de hasta 450° C (solo para cocción, se necesita caudal de agua para el seguimiento real de la deposición). El diseño de carga frontal permite insertar fácilmente el soporte de cristal en aplicaciones que no disponen de espacio suficiente para una inserción lateral.
- Descripción general
- Especificaciones
- Número de referencia
- Accesorios
- Consumibles
- Piezas de repuesto
- Descargas
Características
- Construcción soldada de alta temperatura
- Temperaturas de cocción de hasta 450°°C
- Obturador de cristal (opcional)
- Soporte de cristal de carga frontal
- Instalación fácil
- Paso CF40
- No es necesaria una soldadura al paso
- Combinación de sensor y paso soldada con la longitud especificada por el cliente
Especificaciones
Tipo | Bakeable Sensor w/ Shutter | Bakeable Sensor w/out Shutter | |
---|---|---|---|
Temperatura máxima | 400° C continuous (for bake only; water flow recommended for actual deposition monitoring) | 450°C continuous (for bake only; water flow recommended for actual deposition monitoring) | |
Tamaño de la cabeza del sensor (envolvente máximo) | 1.35 in. x 1.38 in. x 1.21 in. high (34 mm x 35 mm x 31 mm high | 1.35 in. x 1.38 in. x 0.94 in. high (34 mm x 35 mm x 24 mm high) | |
Cambio de cristal | Front loading, self-contained package for ease of exchange. Cam-type locking handle allows easy removal and good thermal contact. Pneumatically operated shutter flips up for easy crystal exchange. | Front loading, self-contained package for ease of exchange. Cam-type locking handle allows easy removal and good thermal contact. | |
Conjunto |
a) Standard—four #4-40 tapped holes on the back of the body b) Optional—right angle bracket; IPN 007-108 |
Four #4-40 tapped holes on the back of the body | |
Paso eléctrico |
2¾ in. ConFlat®, integral with sensor head Water, air and coax tubes are semi-rigid, but easily formed (2.0 in. [50.8 mm] minimum bend radius) |
2¾ in. ConFlat, integral with sensor head Water and coax tubes are semi-rigid, but easily formed. (2.0 in. [50.8 mm] minimum bend radius) |
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Utilidades |
1) Minimum water flow 150-200 cc/min, 30° C max. (Do not allow to freeze.) (Customer should provide means of easily disconnecting the ¼ in. water tubes during bakeout.) 2) Filtered, oil-free air, regulated at 80 PSIG (5.5 bar) [552 kPa] 3) Solenoid valve, 750-420-G1, 24 VAC or VDC, or equivalent valve required |
Minimum water flow 150-200 cc/min, 30° C max. (Do not allow to freeze.) (Customer should provide means of easily disconnecting the ¼ in. water tubes during bakeout.) | |
Materiales | |||
Cuerpo y soporte | 304 type stainless steel | 304 type stainless steel | |
Resortes | Molybdenum and Inconel X-750 | Molybdenum and Inconel X-750 | |
Agua, aire y líneas coaxiales | 0.125 in. (3 mm) O.D. water and air x 0.015 in. (0.4 mm) wall thickness seamless 304 stainless steel; 0.188 in. (5 mm) O.D. coax | ||
Otras piezas mecánicas | 18-8 or 304 stainless | 18-8 or 304 stainless | |
Aislantes | >99% Al2O3 in vacuum; other high density ceramics used elsewhere | >99% Al2O3 in vacuum; other high density ceramics used elsewhere | |
Cable |
1) Ni (in vacuum) 2) Ni plated Cu (elsewhere) |
1) Ni (in vacuum) 2) Ni plated Cu (elsewhere) |
|
Soldar | Vacuum process high temperature Ni-Cr alloy | Vacuum process high temperature Ni-Cr alloy | |
Cristal | 0.550 in. (13.97 mm) diameter | 0.550 in. (13.97 mm) diameter |
Accesorios
Número de referencia | Descripción |
---|---|
750-420-G1 | Válvula solenoide de 24 V (para uso con sensores de obturación y sensores multicristales) |
Consumibles
Nombre | Descripción |
---|---|
Cristales de cuarzo de monitor | Cristales de cuarzo de monitor |
Piezas de repuesto
Número de referencia | Descripción |
---|---|
007-007 | Resorte de retención (para el soporte de cristal) |
007-064 | Ceramic Retainer, Bakeable Sensor |
007-094 | Clamping Sring, UHV Bakeable Sensor |
007-095 | Handle, UHV Bakeable Sensor |
007-098 | Conector hembra (incluye virola y tuerca) |
007-099 | Head Contact, UHV Bakeable Sensor |
007-100 | High Temperature BNC Insulator |
007-103 | Insulator, UHV Bakeable Sensor |
007-104 | High Temperature BNC Body, Bakeable |
007-147 | Vented Screw, 4-40 x 3/8 in. |
007-155 | BRAZE ASM 12 IN. 206-804-G1 |
007-156 | BRAZE ASM 20 IN 206-804-G2 |
007-157 | BRAZE ASM 30 IN 206-804-G3 |
007-228 | SPEC,4-40 X 5/8 VENTED SHC SC |
007-267-P2 | Spreader Bar, UHV Bakeable Sensor |
007-268-P1 | Shoulder Washer, UHV Bakeable Sensor |
007-269-P1 | Shoulder Washer, UHV Bakeable Sensor |
008-007 | CRYSTAL SNATCHER |
059-0084 | Gasket, Copper, Bakeable Sensor Actuator |
070-201 | #4 SPLIT LOCKWASHER SS |
084-069-P1 | SCREW 4-40 x .187 LG PHIL FLAT HD SS |
750-018-P3 | SPLIT CLAMP {THD} {CLEAN} @ |
750-018-P5 | SPLIT CLAMP {CLEAN} @ |
750-022-G5 | ACTR/AIR LINE 12 IN {CLEAN} |
750-022-G6 | ACTR/AIR LINE 20 IN {CLEAN} |
750-022-G7 | Actuator/Air Line 76.2 cm (30 in.),Clean |
750-028-G5 | BK XTAL SNS/FT/AIR 12 IN CLEAN |
750-028-G6 | BK XTAL SNS/FT/AIR 20 IN CLEAN |
750-028-G7 | BK XTAL SNS/FT/AIR 30 IN CLEAN |
750-115-P4 | Acoplamiento (se instala en el conjunto del fuelle) |
750-118-P4 | ACT SUPPORT W/ DOWEL |
750-120-G3 | ASSY,SHAFT |
750-216-G1 | Conjunto de obturador (parte de módulo del obturador) |
750-218-G1 | Crystal Holder, Bakeable Sensor |