Sensor refractario UHV

Los sensores refractarios de cristal UHV de INFICON ofrecen una fiabilidad y durabilidad probadas, y presentan la mejor estabilidad térmica de cualquier cabeza de sensor del mercado. El diseño del sensor refractario UHV, fabricado en acero inoxidable 304, molibdeno, inconel, níquel y alúmina, resiste temperaturas de cocción constantes de hasta 450° C (solo para cocción, se necesita caudal de agua para el seguimiento real de la deposición). El diseño de carga frontal permite insertar fácilmente el soporte de cristal en aplicaciones que no disponen de espacio suficiente para una inserción lateral.

Características

  • Construcción soldada de alta temperatura
  • Temperaturas de cocción de hasta 450°°C
  • Obturador de cristal (opcional)
  • Soporte de cristal de carga frontal
  • Instalación fácil
  • Paso CF40
  • No es necesaria una soldadura al paso
  • Combinación de sensor y paso soldada con la longitud especificada por el cliente

Especificaciones

Tipo Bakeable Sensor w/ Shutter Bakeable Sensor w/out Shutter
Temperatura máxima 400° C continuous (for bake only; water flow recommended for actual deposition monitoring) 450°C continuous (for bake only; water flow recommended for actual deposition monitoring)
Tamaño de la cabeza del sensor (envolvente máximo) 1.35 in. x 1.38 in. x 1.21 in. high (34 mm x 35 mm x 31 mm high 1.35 in. x 1.38 in. x 0.94 in. high (34 mm x 35 mm x 24 mm high)
Cambio de cristal Front loading, self-contained package for ease of exchange. Cam-type locking handle allows easy removal and good thermal contact. Pneumatically operated shutter flips up for easy crystal exchange. Front loading, self-contained package for ease of exchange. Cam-type locking handle allows easy removal and good thermal contact.
Conjunto

a) Standard—four #4-40 tapped holes on the back of the body

b) Optional—right angle bracket; IPN 007-108

Four #4-40 tapped holes on the back of the body
Paso eléctrico

2¾ in. ConFlat®, integral with sensor head

Water, air and coax tubes are semi-rigid, but easily formed (2.0 in. [50.8 mm] minimum bend radius)

2¾ in. ConFlat, integral with sensor head

Water and coax tubes are semi-rigid, but easily formed. (2.0 in. [50.8 mm] minimum bend radius)

Utilidades

1) Minimum water flow 150-200 cc/min, 30° C max. (Do not allow to freeze.) (Customer should provide means of easily disconnecting the ¼ in. water tubes during bakeout.)

2) Filtered, oil-free air, regulated at 80 PSIG (5.5 bar) [552 kPa]

3) Solenoid valve, 750-420-G1, 24 VAC or VDC, or equivalent valve required

Minimum water flow 150-200 cc/min, 30° C max. (Do not allow to freeze.) (Customer should provide means of easily disconnecting the ¼ in. water tubes during bakeout.)
Materiales    
Cuerpo y soporte 304 type stainless steel 304 type stainless steel
Resortes Molybdenum and Inconel X-750 Molybdenum and Inconel X-750
Agua, aire y líneas coaxiales 0.125 in. (3 mm) O.D. water and air x 0.015 in. (0.4 mm) wall thickness seamless 304 stainless steel; 0.188 in. (5 mm) O.D. coax  
Otras piezas mecánicas 18-8 or 304 stainless 18-8 or 304 stainless
Aislantes >99% Al2O3 in vacuum; other high density ceramics used elsewhere >99% Al2O3 in vacuum; other high density ceramics used elsewhere
Cable

1) Ni (in vacuum)

2) Ni plated Cu (elsewhere)

1) Ni (in vacuum)

2) Ni plated Cu (elsewhere)

Soldar Vacuum process high temperature Ni-Cr alloy Vacuum process high temperature Ni-Cr alloy
Cristal 0.550 in. (13.97 mm) diameter 0.550 in. (13.97 mm) diameter
UHV PN.png

Accesorios

Número de referencia Descripción
750-420-G1 Válvula solenoide de 24 V (para uso con sensores de obturación y sensores multicristales)

Consumibles

Nombre Descripción
Cristales de cuarzo de monitor Cristales de cuarzo de monitor

Piezas de repuesto

Número de referencia Descripción
007-007 Resorte de retención (para el soporte de cristal)
007-064 Ceramic Retainer, Bakeable Sensor
007-094 Clamping Sring, UHV Bakeable Sensor
007-095 Handle, UHV Bakeable Sensor
007-098 Conector hembra (incluye virola y tuerca)
007-099 Head Contact, UHV Bakeable Sensor
007-100 High Temperature BNC Insulator
007-103 Insulator, UHV Bakeable Sensor
007-104 High Temperature BNC Body, Bakeable
007-147 Vented Screw, 4-40 x 3/8 in.
007-155 BRAZE ASM 12 IN. 206-804-G1
007-156 BRAZE ASM 20 IN 206-804-G2
007-157 BRAZE ASM 30 IN 206-804-G3
007-228 SPEC,4-40 X 5/8 VENTED SHC SC
007-267-P2 Spreader Bar, UHV Bakeable Sensor
007-268-P1 Shoulder Washer, UHV Bakeable Sensor
007-269-P1 Shoulder Washer, UHV Bakeable Sensor
008-007 CRYSTAL SNATCHER
059-0084 Gasket, Copper, Bakeable Sensor Actuator
070-201 #4 SPLIT LOCKWASHER SS
084-069-P1 SCREW 4-40 x .187 LG PHIL FLAT HD SS
750-018-P3 SPLIT CLAMP {THD} {CLEAN} @
750-018-P5 SPLIT CLAMP {CLEAN} @
750-022-G5 ACTR/AIR LINE 12 IN {CLEAN}
750-022-G6 ACTR/AIR LINE 20 IN {CLEAN}
750-022-G7 Actuator/Air Line 76.2 cm (30 in.),Clean
750-028-G5 BK XTAL SNS/FT/AIR 12 IN CLEAN
750-028-G6 BK XTAL SNS/FT/AIR 20 IN CLEAN
750-028-G7 BK XTAL SNS/FT/AIR 30 IN CLEAN
750-115-P4 Acoplamiento (se instala en el conjunto del fuelle)
750-118-P4 ACT SUPPORT W/ DOWEL
750-120-G3 ASSY,SHAFT
750-216-G1 Conjunto de obturador (parte de módulo del obturador)
750-218-G1 Crystal Holder, Bakeable Sensor
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