Clasificación y detección de errores FabGuard®

 

Específico para procesos a nivel de fábrica


FabGuard FDC combina capacidades de clasificación y detección (FDF) en línea con potentes herramientas para que los ingenieros de la fábrica puedan analizar fácilmente casi cualquier aspecto del comportamiento del equipo y de los procesos. Ningún otro sistema ofrece más funciones para que no se pierdan obleas, para reducir el tiempo de inactividad no programados de las herramientas y para mejorar el rendimiento.

Independientemente del tamaño de las obleas o de la geometría de los productos, tener la información a tiempo es esencial para aumentar la productividad industrial y la competitividad. El aumento de la presión para reducir costes es crucial a la hora de maximizar la productividad de su fábrica, reducir el número de obleas deterioradas y aumentar el uso del equipo. FabGuard está a la altura de los retos que plantea la industria actual de semiconductores ya que combina la experiencia colectiva de estadísticos e ingenieros a cargo de mantener una productividad más elevada en las prácticas. FabGuard FDC se basa en el principio de que el conocimiento sobre procesos y equipos es crucial para un funcionamiento sin incidentes de la fábrica.

 

Redefinición de FDC: clasificación y detección FabGuard



FabGuard FDC permite que se utilice la ingeniería de FDC en todos los niveles, desde el conocimiento específico de los laboratorios prácticos hasta el control de los procesos estadísticos de toda la empresa.

FabGuard es el único sistema que combina la función de barrido en los sistemas FDC de la empresa con funciones de análisis de datos específicos para solucionar problemas de los equipos y de la ingeniería de procesos. Los métodos establecidos para el control estadístico de procesos (SPC) en fábricas se pueden programar con facilidad en FabGuard, con la ventaja añadida de la interceptación de herramientas en tiempo real. El deterioro de la oblea se reduce enormemente cuando se aplica la interceptación de la herramienta tan pronto como se detecta el error. FabGuard reacciona instantáneamente para detener las herramientas problemáticas cuando se detecta una situación fuera de control.


El sistema experto de FabGuard FDC aprende el proceso y reconoce los problemas


Las reglas para el control estadístico de procesos se emplean con frecuencia como primera línea de defensa para evitar una pérdida de productos. FabGuard ofrece un nivel de protección adicional: la posibilidad de instruir al sistema experto. Los ingenieros de la fábrica pueden entrenar al sistema FabGuard para que reconozca los problemas nuevos a medida que surjan y los detecte automáticamente cuando se vuelvan a producir. Los conocimientos de los ingenieros de la fábrica a la hora de resolver problemas se pueden traducir fácilmente a fórmulas FabGuard, que controlan cualquier paso del proceso en cualquier cámara o herramienta. El sistema experto de FabGuard, que se ejecuta en paralelo con la interceptación de herramientas basada en SPC, permite a los ingenieros de procesos y equipos entrenar a FabGuard para que reconozca los problemas que no detecten los métodos de SPC. Los sistemas expertos FabGuard permiten programar los conocimientos prácticos de ingeniería en FabGuard para una mayor protección de la oblea y una mejor identificación de errores.

 

Protección nivel de fábrica


El sistema FabGuard FDC es desplegable y sostenible a nivel de fábrica para un control estadístico de procesos a tiempo real en todos los equipos de proceso de obleas. Una única interfaz de usuario permite que los ingenieros clasifiquen, visualicen y analicen datos de herramientas y de procesos con una flexibilidad y facilidad extremas.

  • Los ingenieros de la fábrica disponen de una potente pantalla de visualización de datos por herramienta y tienen la posibilidad de analizar todos los aspectos del comportamiento del equipo y los procesos.
  • Los ingenieros de procesos pueden determinar fácilmente las relaciones entre el estado del equipo y las obleas resultantes.
  • Los ingenieros de equipos pueden diagnosticar rápidamente los problemas en la herramientas para reducir el tiempo de inactividad no programado. Las cámaras de procesos se pueden comparar y adaptar.


Integración de indicadores, sensores y herramientas

 

Recopilar los datos pertinentes en el momento adecuado es esencial para detectar variaciones y describir procesos. Junto con el análisis FDC y la supervisión de variaciones, FabGuard actúa como una plataforma de integración para permitir que los ingenieros recopilen datos desde un amplio rango de fuentes de datos alternativas. La arquitectura FabGuard permite que se integren fácilmente nuevos sensores e indicadores.

 

  • SECS
  • OPC
  • Sistema analógico de alta velocidad
  • Sensores INFICON (RGA, OES, detector de arcos RF/DC)
  • Indicadores y sensores de terceros

 


Capacidad de ampliación y sostenibilidad


Los datos se archivan y los resultados de los análisis se almacenan en una base de datos relacional. FabGuard admite las bases de datos Microsoft®SQL, PostgreSQL u Oracle®. La redundancia de hardware se elimina a través de un sistema basado en herramientas que puede ampliarse con facilidad de una a cientos de ellas en toda una fábrica. Los ingenieros de FDC pueden revisar y visualizar toda la información a través de una única interfaz fácil de usar basada en la Web. La homogeneidad del formato en toda la fábrica mejora la curva de aprendizaje y facilita el intercambio de información entre los diferentes grupos de equipos y procesos. Las funciones de alarma, notificación e interrupción de herramientas se pueden configurar según las necesidades específicas de los grupos de usuarios y de las circunstancias de los equipos. INFICON ha utilizado su experiencia como líder internacional en fábricas para crear plantillas de sistemas que se rentabilizan tan pronto como se implementan.

La combinación única de las funciones de sistemas expertos y SPC en tiempo real hacen que FabGuard FDC sea el sistema más potente que existe de detección de problemas para evitar pérdidas de obleas y para reducir el tiempo de inactividad no programado.

Características

  • Análisis secuencia a secuencia y en tiempo real para el control del proceso que, unido a la detección de fallos, reduce el deterioro y mejora el control del proceso
  • Perfecta integración de equipo y datos de sensores que permite que los datos procedentes de diferentes fuentes estén disponibles para su análisis
  • Sistema de tareas para generar automáticamente informes y llevar a cabo el mantenimiento del sistema para reducir significativamente la gestión del sistema
  • La interfaz de usuario única para todos los datos de herramienta reduce la curva de aprendizaje
  • Clasificación de los errores para ofrecer una respuesta más rápida a los problemas, lo que reduce el tiempo de inactividad
  • Impresión general del estado del proceso y de las herramientas para facilitar el trabajo del personal de mantenimiento preventivo.
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