Edge™ CDG045D2 1 … 1000Torr / mbar

 

El indicador del diafragma de la capacitancia Edge de INFICON es un instrumento de medición de vacío de alta precisión diseñado para entornos de fabricación extremos. El sensor de cerámica ultrapura, resistente a la corrosión y con una temperatura controlada ofrece una estabilidad superior a largo plazo, junto con una estabilidad de cero de última generación. El indicador Edge incluye la exclusiva pantalla de sensor patentada de INFICON, que protege el indicador de derivados del proceso no deseados. Los dispositivos electrónicos avanzados ofrecen una amplia variedad de acondicionamiento de señales configurable para todas las aplicaciones y una interfaz de bus de campo EtherCATTM opcional. El innovador concepto de calentamiento permite obtener una superficie fría al tacto y ahorrar un valioso espacio entre las herramientas. El indicador Edge de INFICON es el instrumento de medición de vacío más pequeño de su clase.

Ventajas

  • Compacto: ahorra un valioso espacio entre las herramientas
  • Fácil integración, EtherCAT, amplia variedad de escalas completas, bridas y escalas, y estándar con dos puntos de ajuste
  • Botón sencillo o señal remota de puesta a cero y valor cero ajustable
  • Puerto de diagnóstico para un servicio y mantenimiento rápidos
  • Dos años de garantía y mayor duración con un concepto de calentamiento avanzado y protección del indicador
  • A largo plazo, no es necesario realizar recalibraciones debido a la excelente estabilidad y repetibilidad de la señal, incluso en duras aplicaciones de plasma
  • Cumplimiento y estándares: CE, EN, UL, SEMI y RoHS

Aplicaciones típicas

  • CVD, decapado, PVD y otros procesos de producción de semiconductores
  • tina__e1 CDG045D2 Edge Massbild mit EtherCAT.png

Especificaciones

Tipo 1000 Torr, 1100 mbar 500 ... 1 Torr / mbar
Precisión (1) % of reading 0.15 0.15
Efecto de temperatura    
en cero percent FS/°C 0.0025 0.0025
en duración % of reading / °C 0.01 0.01
Presión, máx. kPa (absolute) 400 260
Resolución percent FS 0.003 0.003
La lectura más baja percent FS 0.01 0.01
La lectura sugerida más baja percent FS 0.05 0.05
La presión de control sugerida más baja percent FS 0.5 0.5
Temperatura    
Sensor °C 45 45
Funcionamiento (ambiente) °C +10 … +40 +10 … +40
Horneado en la brida °C ≤110 ≤110
Almacenamiento °C –20 … +65 –20 … +65
Tensión de alimentación +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
Consumo de potencia    
Durante el calentamiento W ≤15 ≤15
En la temperatura de operación W ≤10 ≤10
Señal de salida (analógica) V (dc) 0 … +10 0 … +10
Tiempo de respuesta (2) ms 30 30
Grado de protección IP 40 IP 40
Estándares    
Conformidad CE EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
Certificación ETL UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
Cumplimiento SEMI SEMI S2 SEMI S2
Conexión eléctrica D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
Punto de ajuste    
Número de puntos de ajuste 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
Contacto de relé ≤30 ≤30
Histéresis percent FS 1 1
Puerto de diagnóstico    
Protocolo RS232-C RS232-C
Lectura pressure, status, ID pressure, status, ID
Set set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Materiales expuestos al vacío Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
Volumen interno    
I. volumen tubo 1/2'' cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
I. volumen DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
I. volumen DN 16 CF-R cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
I. volumen 8 VCR® cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Peso    
Peso tubo 1/2'' g 837 837
Peso DN 16 ISO KF g 852 852
Peso DN 16 CF-R g 875 875
Peso 8 VCR® g 897 897
EtherCAT    
Protocolo EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
Estándares de comunicación ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge
Velocidad de datos Kbps 100000 100000
Dirección de nodo Explicit Device Identification Explicit Device Identification
Capa física 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Lectura de funciones digitales pressure, status, ID pressure, status, ID
Conjunto de funciones digitales set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
Datos de procesos Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
Buzón (CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
Conector EtherCAT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
Cable shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
Longitud del cable m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330)

(1) No linealidad, histéresis y repetibilidad a 25 °C de temperatura ambiente de funcionamiento sin efectos de temperatura tras 2 horas de funcionamiento.

(2) Aumento de 10 … 90 por ciento a escala completa  

(3) Sólo para tipo de control de presión

(4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

CDG045D2 Edge PIM Ordering Information.png
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