Easy Rate Single Sensor


Los sensores dobles de tasa sencilla pueden maximizar la producción a la vez que minimizan el coste. Estos sensores maximizan la disponibilidad con una mayor vida útil del sensor y menos mantenimiento a la vez que minimizan el coste de producción con la inversión inicial y el coste total de propiedad más bajos. Se trata de sensores fiables cuyas piezas se pueden sustituir fácilmente en el terreno.

A la vez que proporciona la solución más rentable para supervisión de grosor, el sensor individual de tasa sencilla de INFICON está disponible con orientaciones estándar o en ángulo recto y se pueden configurar para que incluyan un paso con o sin conexiones de tubo estándar.

Nota: Los sensores individuales dobles de tasa sencilla utilizan tubos de refrigeración por agua con un diámetro externo de 4,8 mm (3/16 pulgadas).  No son compatibles con pasos equipados con junta tórica Ultra-Torr y requieren un adaptador de tuberías para ser soldados a un paso estándar con tubos de refrigeración por agua con un diámetro externo de 4,8 mm (3/16 pulgadas).

Características

  • Minimum investment with lowest upfront cost
  • Lowest total cost of ownership from extended sensor life
  • Maximum throughput with less maintenance
  • Easy installation
  • Available in standard and right angle configurations
  • Optional shutter available
  • Sensor / Feedthrough combinations available with or without bored-through tube fittings

Especificaciones

Tipo Easy Rate Single Sensor
Maximum bakeout temp with no water 175°C
Temperatura de entorno isotérmico operativo máximo con flujo de agua mínimo 400° C
BS-A _ _ E 1 _ _ Size (maximum envelope without shutter) 3.2 5 x 4.04 x 1.53 cm (1.28 x 1.59 x 0.60 in.)
BS-B _ _ E 1 _ _ Size (maximum envelope without shutter) 3.2 5 x 3.30 x 1.60 cm (1.28 x 1.30 x 0.63 in.)
Water Tubes S-304, 4.76 mm (0.188 in) OD x 0.51 mm (0.020 in.) wall thickness seamless stainless steel tubing
Cambio de cristal Front loading; self-contained package for ease of exchange
Mounting 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
Installation Requirements  
Feedthrough 2 pass water 4.76 mm (0.188 in) OD with 1 microdot coaxial connection
Otro XIU or Oscillator to match specific controller, solenoid valve assembly 750-420-G1 for shuttered sensors
Velocidad de flujo de agua Minimum water flow 150-200 cc/min, 30° C max
Calidad del agua Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. Extremely dirty water may result in loss of cooling capacity.
Materials  
Cuerpo y soporte 304 type stainless steel
Resortes, contactos eléctricos Au plated Be-Cu
Water Tubes 4.76 mm (0.188 in) OD seamless stainless steel
Conector (Microdot) Stainless steel, Teflon® and glass insulated
Aislantes >99% Al2O3
Wire Tin plated copper
Cristal 0.550 in. (13.97 mm) Diameter
Feedthrough Specifications-1 in. Bolt  
Materiales 304 stainless steel, Teflon®, ceramic, beryllium nickel, VITON®
Temperatura Operational environment to 300° C with water cooling or 165° C without
Conjunto Four #4-40 tapped holes on the back of the sensor body
Feedthrough Specifications-CF40 (2-3/4 in. ConFlat)  
Materiales 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
Temperatura Operational environment to 450° C with water cooling or 165° C without
Conjunto Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.
Easy Rate Single Sensor Configurator

Accesorios

Nombre Descripción
Easy Rate Sensor Feedthroughs Easy Rate Sensor Feedthroughs
Easy Rate Single Sensor
Número de referencia Descripción
750-420-G1 Válvula solenoide de 24 V (para uso con sensores de obturación y sensores multicristales)

Consumibles

Nombre Descripción
Cristales de cuarzo de monitor Cristales de cuarzo de monitor

Piezas de repuesto

Easy Rate Single Sensor
Número de referencia Descripción
784-205-G1 Crystal Retainer Assembly
784-204-G1 Crystal Holder Assembly
784-403-P1 Crystal Finger Spring
784-404-P1 Retaining Ring
784-300-P1 Crystal Holder
784-405-P1 Holder Finger Spring
750-174-P2 Coaxial hembra
080-011-P3 SCREW 0-80 x .125 LG SLOT PAN HD SS GP
080-013 Washer, Split Lock Stainless Steel
784-209-G1 Shutter Kit, Single (Unassembled Parts)
784-305-P1 Easy Rate Single Sensor Shutter
784-206-G1 Easy Rate Sensor Actuator Assembly
784-306-P1 Easy Rate Sensor Actuator Clamp
084-054 Split Washer, #4, Stainless Steel
084-027 Socket Screw
783-500-023 Cable en vacío, 25,4 cm (10 pulg.)
783-500-024 Cable en vacío, 76,2 cm (30 pulg.)
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