UL3000 Fab (PLUS) Detector de fugas de helio en seco

 

El detector de fugas de helio UL3000 Fab (PLUS) de INFICON se ha diseñado para las necesidades de la detección de fugas en aplicaciones de semiconductores.

Es flexible, móvil, arranca rápidamente, tiene una alta sensibilidad y fiabilidad, y proporciona resultados de ensayo precisos.

 

RESULTADOS RÁPIDOS
El sistema de vacío mejorado con bombas de vacío de bajo mantenimiento permite la detección de fugas empezando desde la presión atmosférica. El robusto sistema de espectrómetro de masas asegura un prolongado tiempo de funcionamiento y bajos costes de mantenimiento. El software HYDRO-S en el UL3000 Fab PLUS elimina el fondo de vapor de agua y hace que la detección de fugas sea incluso más rápida. 

El UL3000 Fab PLUS también ofrece una capacidad de rastreador mejorada usando la línea de rastreador probada SL3000, que tiene hasta 10 m de longitud.

 

PANTALLA GIRATORIA Y CON CONTROL REMOTO
La nueva pantalla táctil muestra resultados de ensayo e información de estado incluso desde mucha distancia. Funcionamiento fácil mediante estructura de menú guiada para el usuario, incluso para  operadores inexpertos. Es posible el control inalámbrico del UL3000 Fab (PLUS)  mediante smartphone o tableta, sin software ni aplicaciones especiales. Registro y almacenamiento de resultados de ensayo pulsando un botón, se puede transferir a otros medios de almacenamiento para su análisis subsiguiente.

 

DISEÑO ESBELTO PARA UNA MANIOBRABILIDAD AVANZADA
El bajo centro de gravedad, las ruedas grandes, el mango de diseño ergonómico y la delgada carcasa permiten una buena movilidad del UL3000 Fab (PLUS), incluso en los espacios más apretados.



Ventajas

  • Listo para medir a presión atmosférica
  • Guía de usuario intuitiva con pantalla táctil
  • Sistema de vacío robusto, insensible a la suciedad y la contaminación
  • Movilidad perfecta debido a un pequeño radio de giro
  • Se puede operar mediante smartphone vía navegador web
  • Accesorios disponibles directamente en el dispositivo

Aplicaciones típicas

  • Detección de fugas de componentes antes de instalarlos en herramientas existentes
  • Inspecciones e instalaciones de sistemas de gas de proceso
  • Ensayos automáticos de componentes sellados herméticamente con la cámara de ensayo TC1000
  • Detección de fugas en entornos con elevadas demandas de condiciones de ensayo y limpieza

Especificaciones

Tipo Helium Leak Detector UL3000 Fab (PLUS)
Tasa de fuga mínima detectable para helio (modo de vacío) mbar•L/s < 5·10-12
Tasa de fuga mínima detectable para helio (modo de muestreo) mbar•L/s

< 5·10-8

Presión de entrada máx. modo MASSIVE mbar 1000
Presión de entrada máx. modo FINE mbar 2
Presión de entrada máx. modo ULTRA mbar 0.4
Velocidad de bombeo durante la evacuación m³/h > 30 at 50 Hz
Velocidad de bombeo de helio modo ULTRA L/s 4
Masas detectables 2,3,4 amu
Campo sector espectrómetro de masa 180°
Filamentos fuente de iones con recubrimiento de iridio/itrio 2
Fuga calibrada incorporada mbar•L/s

∼ 10-7

Orificio de prueba DN 25 KF 1
Disparadores ajustables

4

Interfaz 2 x USB, Ethernet / LAN
Temperatura ambiente admisible (en funcionamiento) °C +10 to +40
Entradas/salidas Via I/O 1000 module
Peso 110
Dimensiones (L x An x Al) 1050 x 472 x 987
Tensión conexión V (ac) 100 to 240 V (± 10 % ) 50/60 Hz
Consumo de energía VA Typical 700, max. 1500

Número de referencia

Helium Leak Detector UL3000 Fab (PLUS)
Número de referencia Descripción
550-200 Leak detector UL3000 Fab
550-250 Leak detector UL3000 Fab PLUS

Accesorios

Helium Leak Detector UL3000 Fab (PLUS)
Número de referencia Descripción
14005 SL200 sniffer probe for UL1000/3000/5000 (Extension cable 551-205 required)
551-205 extension cable for TC1000/SL200, UL3000
560-310 Módulo 1000 de E/S
560-335 Cable de datos de 5 m
560-340 Cable de datos de 10 m
525-001 SL3000-3, sniffer line 3 m length
525-002 SL3000-5, sniffer line 5 m length
525-003 SL3000-10, sniffer line 10 m length
551-005 TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band
551-010 Remote Control RC1000C, with 4m cable
551-015 Remote Control RC1000WL, wireless
551-201 Helium Bottle Holder for UL3000 Fab
551-203 Bracket for SL3000
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