Controlador de deposición de película delgada Cygnus® 2

La máxima precisión posible en las mediciones para aplicaciones OLED

El controlador de deposición de película delgada Cygnus 2 proporciona un valor excepcional mediante la combinación del rendimiento demostrado de los controladores de película delgada de INFICON con características exclusivas diseñadas para que saque el máximo rendimiento al proceso OLED. Cygnus 2 utiliza nuestro sistema de medición de frecuencia ModeLock para ofrecer mediciones de grosor y velocidad estables y de alta resolución con un excelente estándar de 0,00433 /s cada 1/10 segundos. No existe ningún controlador de cristal de cuarzo que iguale en rendimiento, calidad y características al Cygnus 2, que le permite convertir la excelencia en una cualidad constante.

Características

  • La tecnología ModeLock de INFICON garantiza la medición de grosor y velocidad más estable y con la mayor resolución posible, incluso a velocidades muy bajas.
  • Auto Z (coeficiente de impedancia acústica) mejora la precisión del grosor al determinar automáticamente el coeficiente de impedancia acústica cuando se coloca el material
  • Permite controlar hasta seis fuentes de forma simultánea, independientemente o en cualquier combinación, con un solo Cygnus 2, por lo que ya no necesitará dos o tres controladores
  • La pantalla TFT LCD en color facilita la visualización del proceso
  • Medición de 10 Hz
  • +/-0,0035 Hz en muestras de 100 ms
  • Almacenamiento de datos USB para instantáneas, fórmulas y registro de datos
  • Recopilación de grosor de varias fuentes
  • Media de tasas de medición para materiales de densidad baja y velocidad muy baja (hasta 30 segundos en fuentes estables para la deposición de materiales impurificadores OLED de velocidad muy baja)
  • Resolución de velocidad de visualización máxima de 0,001Å
  • La opción XIU de 4 metros permite utilizar cables largos de sensor de vacío para sistemas grandes
  • El control sin depósito permite controlar las fuentes continuamente, a medida que se colocan sustratos en la cámara de deposición
  • 6 salidas DAC estándar, 6 salidas opcionales adicionales para el control de fuentes y el seguimiento de grosor o velocidad
  • Comunicación Ethernet opcional
  • Cumplimiento de la normativa RoHS

Especificaciones

Tipo Cygnus 2
Rendimiento de medición  
Resolución de frecuencia ±0.0035 Hz @ 6 MHz
Medición/resolución de velocidad y grosor (1) ±0.00433 Å
Rango de frecuencia de medición 6.0 to 4.5 MHz (fixed)
Precisión de grosor (2) 0.5%
Intervalo de medición 0.10 s
Media de varias mediciones 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed
Funciones de diseño  
Medida del sensor múltiple yes (up to 6 sensors)
Coeficiente de impedancia acústica yes
Co-deposición yes (up to 6 sensors)
Fórmula de proceso y gestión de datos  
Programas de materiales 6 independent materials
Memoria USB yes
Registro de datos yes
Contenido de hardware  
Sensores (3)  
Único 6
Dual con CrystalTwo® 6 (with one CrystalTwo Switch per sensor input)
CrystalSix® 6
Crystal 12® 6
Genérico 6
Controles de fuente  
Número de fuentes (4) up to 6
Voltajes de control de fuente 0 to +/-10 V, adjustable
Resolución de salida 15 bits over full range (0 to 10V)
Posiciones de crisol 64
Entradas/Salidas  
Entradas 14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground
Salidas 8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs
Salida del registrador (4) 0 to +10 V, adjustable
Declaraciones lógicas 100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement
Comunicaciones  
Estándar RS232
Opcional Ethernet
Pantalla  
Resolución de grosor

1 Å for 0 to 9.999 kÅ

10 Å for 10.00 to 99.99 kÅ

100 Å for 100.0 to 999.9 kÅ

1 kÅ for 1000 to 9999 kÅ

Resolución de velocidad

0.001 for 0 to 9.999 Å/s

0.01 for 0 to 99.99 Å/s

0.1 for 100 to 999.9 Å/s

Funcionamiento  
Requisitos de alimentación

100 – 230 V (ac) +/- 15%

50 / 60 Hz +/- 3 Hz

Temperatura de funcionamiento 0 to 50 C (32 to 122 F)
Dimensiones, excluyendo montajes (Al. x An. x Pr.) 5.25” x 19” x 13” (133mm x 483mm x 330 mm)
Peso 13 lbs (5.9 kg)

(1) Herramientas / densidad = 100/1, frecuencia fundamental = 6 MHz

(2) Varía en función del proceso; las figuras reflejan la precisión habitual

(3) Configuración máxima de cada tipo

(4)Cygnus 2 tiene 6 salidas DAC estándar y se pueden añadir 6 más de forma opcional.  Cualquiera de las 12 se puede configurar como voltajes de control de fuente o salidas del registrador; no obstante, solo se pueden controlar seis fuentes de forma simultánea

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Accesorios

Nombre Descripción
Sensor individual de carga frontal Sensor individual de carga frontal
Sensor dual de carga frontal Sensor dual de carga frontal
Sensor individual Cool Drawer Sensor individual Cool Drawer
Sensor dual Cool Drawer Sensor dual Cool Drawer
Sensor de cabeza dual de bajo perfil Sensor de cabeza dual de bajo perfil
Sensor ALD Sensor ALD
Sensor refractario UHV Sensor refractario UHV
Sensor de pulverización Sensor de pulverización
Sensor CrystalSix® Sensor CrystalSix®
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor
Sensor Crystal 12® Sensor Crystal 12®
Sensor giratorio RSH-600 Sensor giratorio RSH-600
Número de referencia Descripción
755-262-G1 Handheld Power Controller
779-220-G1 Interruptor CrystalTwo, 15,2 cm (6 pulgadas), cables BNC
779-220-G2 Interruptor CrystalTwo, 50,8 cm (20 pulgadas), cables BNC
Oscillator kits (Incluye oscilador y cables)
781-611-G15 XIU PKG con cable de 4,6 m (15 pies) - Para su uso con Cygnus 2, IC6 o XTC/3
781-611-G30 XIU PKG con cable de 9,1 m (30 pies) - Para su uso con Cygnus 2, IC6 o XTC/3
781-611-G50 XIU PKG con cable de 15,2 m (50 pies) - Para su uso con Cygnus 2, IC6 o XTC/3
781-611-G100 XIU PKG con cable de 30,5 m (100 pies) - Para su uso con Cygnus 2, IC6 o XTC/3
781-612-G15 XIU PKG de 4 m con cable XIU de 4,6 m (15 pies) - Incluye cable de 4 m en vacío y cable BNC (de XIU a paso eléctrico) de 6 pulg. - Para su uso con Cygnus 2, IC6 o XTC/3
781-612-G30 XIU PKG de 4 m con cable XIU de 9,1 m (30pies) - Incluye cable de 4 m en vacío y cable BNC (de XIU a paso eléctrico) de 6 pulg. - Para su uso con Cygnus 2, IC6 o XTC/3
781-612-G50 XIU PKG de 4 m con cable XIU de 15,2 m (50pies) - Incluye cable de 4 m en vacío y cable BNC (de XIU a paso eléctrico) de 6 pulg. - Para su uso con Cygnus 2, IC6 o XTC/3
781-612-G100 XIU de 4 m con cable XIU de 30,5 m (100 pies) - Incluye cable de 4 m en vacío y cable BNC (de XIU a paso eléctrico) de 6 pulg. - Para su uso con Cygnus, 2 IC6 o XTC/3
781-613-G15 XIU PKG de 4 m con cable XIU de4,6 m (15 pies) - Incluye cable de 3,5 m en vacío y cable BNC (de XIU a paso eléctrico) de 20 pulg. - Para su uso con Cygnus 2, IC6 o XTC/3
781-613-G30 XIU PKG de 4 m con cable XIU de 9,1 m (30 pies) - Incluye cable de 3,5 m en vacío y cable BNC (de XIU a paso eléctrico) de 20 pulg. - Para su uso con Cygnus 2, IC6 o XTC/3
781-613-G50 XIU PKG de 4 m con cable XIU de 15,2 m (50 pies) - Incluye cable de 3,5 m en vacío y cable BNC (de XIU a paso eléctrico) de 20 pulg. - Para su uso con Cygnus 2, IC6 o XTC/3
781-613-G100 XIU PKG de 4 m con cable XIU de 30,5 m (100 pies) - Incluye cable de 3,5 m en vacío y cable BNC (de XIU a paso eléctrico) de 20 pulg. - Para su uso con Cygnus 2, IC6 o XTC/3
Oscillator Only (No incluye cables)
781-600-G1 XIU (oscilador) - Para cables entre la unidad XIU y la cabeza del sensor de 15 a 183 cm in (6 a 72 pulg.) - Para su uso con Cygnus 2, IC6 o XTC/3
781-600-G2 XIU (oscilador) - Para cables entre la unidad XIU y la cabeza del sensor de 3 a 4 m (118 a 157 pulg.) - Para su uso con Cygnus 2 o IC6
Cables
755-257-G6 Cable de 15,2 cm (6 pulg.), de unidad XIU con paso de corriente hermético
600-1261-P15 Cable de 4,6 m (15 pies), de controlador XTC/3, Cygnus 2 o IC6 a unidad XIU
600-1261-P30 Cable de 9,1 m (30 pies), de controlador XTC/3, Cygnus 2 o IC6 a unidad XIU
600-1261-P50 Cable de 15,2 m (50 pies), de controlador XTC/3, Cygnus 2 o IC6 a unidad XIU
600-1261-P100 Cable de 30,5 (100 pies), de controlador XTC/3, Cygnus 2 o IC6 a unidad XIU

Consumibles

Nombre Descripción
Cristales de cuarzo de monitor Cristales de cuarzo de monitor
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