SKY® CDG025D 0.1 ... 1000 Torr / mbar

 

La línea de indicadores del diafragma de la capacitancia SKY CDG025D de INFICON con manómetros de temperatura compensada y de alta precisión, se ha diseñado para obtener un rendimiento estable en entornos duros de herramientas de producción. Sus componentes electrónicos digitales avanzados mejoran el rendimiento del indicador y ofrecen funciones fáciles de utilizar, como el botón de puesta a cero y la regulación del punto de ajuste. El sensor de cerámica resistente a la corrosión proporciona una excelente estabilidad de cero y tiene una expectativa de duración de varios millones de ciclos de presión, incluidas ráfagas atmosféricas. La exclusiva pantalla de sensor (pendiente de patente) protege el indicador de la contaminación de procesos. Un diseño mecánico y resistente, junto con los dispositivos electrónicos digitales, mejoran la compatibilidad de EMC, la estabilidad a largo plazo y la compensación de temperatura. El dispositivo CDG025D establece nuevos estándares para lograr una estabilidad rápida después de encenderlo y una rápida recuperación de la exposición a la presión atmosférica.

 

 

Flange type       Full scale        INFICON part number       old Oerlikon Leybold
                                                                                               part number
                             [Torr]              CDG025D                           CTR 100

 

DN 16 ISO-KF      1000              375-001                                  230 300
                              100               376-001                                   230 301
                              20                 383-001                                   230 340V01
                              10                 377-001                                   230 302
                              1                   378-001                                   230 303
                              0.1                379-001                                   230 304V01

 

DN16 CF-R           1000              375-002                                  230 305
                              100               376-002                                   230 306
                              10                 377-002                                   230 307
                              1                   378-002                                   230 308
                              0.1                379-002                                   230 309V01

 

 Cajon 8 VCR        1000              375-003                                   230 310
                              100                376-003                                   230 311
                              10                  377-003                                   230 312
                              1                    378-003                                   230 313
                              0.1                 379-003                                   230 314V01

 

1/2" tube              1000                375-000                                  230 315
                             100                 376-000                                   230 316
                             10                   377-000                                   230 317
                             1                     378-000                                  230 318
                             0.1                  379-000                                  230 319V01

Ventajas

  • Fully compatible with CTR 100 transmitters
  • Rangos de tamaño real desde 100 mTorr … 1000 Torr
  • Estabilidad rápida tras el encendido
  • Recuperación rápida de la presión atmosférica
  • Sensor de cerámica resistente a la corrosión
  • Excelente estabilidad de señal a largo plazo
  • Temperatura compensada
  • Sensor protegido contra la suciedad
  • Un pulsador de función cero
  • Fuente de alimentación de rango amplio

Aplicaciones típicas

  • Equipamiento de fabricación semiconductor para Etch, CVD, PVD, ALD
  • Almacenamiento de datos y equipos de fabricación de pantallas
  • Equipamiento de vacío industrial
  • Medición de presión general de gran precisión

Noticias

CDG025D series is 100% drop in replacement for CTR 100 vacuum transmitters.
  • CDG025D dimensions

Especificaciones

Tipo 1000 Torr / 1100 mbar 500 ... 10 Torr / mbar 1 Torr / mbar 0.25 Torr 0.1 Torr / mbar
Precisión (1) % of reading 0.2 0.2 0.2 0.25 0.5
Efecto de temperatura          
en cero percent FS/°C 0.005 0.005 0.015 0.02 0.02
en duración % of reading / °C 0.01 0.01 0.01 0.03 0.03
Resolución percent FS 0.003 0.003 0.003 0.003 0.003
Presión, máx. kPa (absolute) 400 260 260 130 130
Tiempo de respuesta (2) ms 30 30 30 130 130
La lectura más baja percent FS 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
La lectura sugerida más baja percent FS 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05
La presión de control sugerida más baja percent FS 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
Temperatura          
Funcionamiento (ambiente) °C +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50
Horneado en la brida (3) °C ≤110 ≤110 ≤110 ≤110 ≤110
Almacenamiento °C –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65
Tensión de alimentación V (dc) +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30
Consumo de potencia W ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
Señal de salida (analógica) V (dc) 0 … +10 0 … +10 0 … +10 0 … +10 0 … +10
Grado de protección IP 30 IP 30 IP 30 IP 30 IP 30
Estándares          
Conformidad CE EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS
Certificación ETL UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
Conexión eléctrica D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
Materiales expuestos al vacío Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass
Volumen interno          
Tubo de 1/2'' cm³ (in.³)        
DN 16 ISO KF cm³ (in.³)        
DN 16 CF-R cm³ (in.³)        
8 VCR® cm³ (in.³)        
Peso          
Tubo de 1/2'' g        
DN 16 ISO KF g        
DN 16 CF-R g        
8 VCR® g        

(1) No linealidad, histéresis y repetibilidad a 25 °C de temperatura ambiente de funcionamiento sin efectos de temperatura tras 2 horas de funcionamiento.

(2) Aumento de 10 … 90 por ciento a escala completa

(3) Sin funcionamiento

(4) CDG025D-S exclusivamente

(5) 28% Ni, 23% Co, 49% Fe

(6) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

  • CDG025D PN.png

Número de referencia

1000 Torr / 1100 mbar
Número de referencia Descripción
375-000 CDG025D 1`000 Torr; 1/2¨tube
375-001 CDG025D 1`000 Torr; DN16ISO-KF
375-002 CDG025D 1`000 Torr; DN16CF-R
375-003 CDG025D 1000 Torr; 8-VCR
376-000 CDG025D 100 Torr; 1/2¨tube
376-001 CDG025D 100 Torr; DN16ISO-KF
376-002 CDG025D 100 Torr; DN16CF-R
376-003 CDG025D 100 Torr; 8-VCR
377-000 CDG025D 10 Torr; 1/2¨tube
377-001 CDG025D 10 Torr; DN16ISO-KF
377-002 CDG025D 10 Torr; DN16CF-R
377-003 CDG025D 10 Torr; 8-VCR
378-000 CDG025D 1 Torr; 1/2¨tube
378-001 CDG025D 1 Torr; DN16ISO-KF
378-002 CDG025D 1 Torr; DN16CF-R
378-003 CDG025D 1 Torr; 8-VCR
379-000 CDG025D 0.1 Torr; 1/2¨tube
379-001 CDG025D 0.1 Torr; DN16ISO-KF
379-002 CDG025D 0.1 Torr; DN16CF-R
379-003 CDG025D 0.1 Torr; 8-VCR
383-001 CDG025D 20 Torr; DN16ISO-KF
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