Sensor CrystalSix®

El sensor CrystalSix de INFICON es crucial para procesos largos que requieren un control continuo de la velocidad. Ya sea con recubrimiento óptico, solar, MBE, OLED o mediante otros procesos con ventilación de cámara espaciada, el sensor CrystalSix ofrece la seguridad de seis cristales de monitor de cuarzo en una sola cabeza. Cuando se utiliza con un controlador de película delgada de INFICON, el sensor CrystalSix gira automáticamente para colocar un cristal nuevo cuando el cristal actual falla o es inestable. Los cristales se sustituyen automáticamente sin interrumpir el proceso de seguimiento continuo de la velocidad de deposición.

 

Los cristales se indexan mediante un mecanismo de acción neumática. Este motor de acción neumática proporciona una estabilidad térmica del cristal mejor que las unidades de la competencia que utilizan caros motores eléctricos de generación de calor en vacío. Los tubos de refrigeración por agua de 1,8 pulgadas preservan la estabilidad térmica de la cabeza del sensor y ofrecen flexibilidad para la instalación del sensor.

 

Cuando se utilizan con determinados controladores de película delgada de INFICON, el sensor proporciona retroalimentación de posición, de modo que se pueden utilizar posiciones específicas con materiales específicos.

Características

  • Soporta 6 cristales con una función de sustitución resistente y automática para maximizar el tiempo de actividad del proceso
  • Temperatura estable de los cristales, ya que la sustitución se acciona por neumáticos (las unidades de la competencia utilizan motores de generación de calor)
  • Los tubos de 1,8" mantienen la estabilidad térmica y ofrecen flexibilidad para la instalación del sensor
  • Obturador de cristal opcional disponible

Especificaciones

Tipo CrystalSix Sensor
Temperatura máxima de cocción sin agua 130°C
Temperatura de entorno isotérmico operativo máximo con flujo de agua mínimo 400° C
Agua, aire y longitud coaxial Standard 30 in. (76 cm)
Cambio de cristal Front-loading, extraction tool required (supplied with unit)
Conjunto Six #4-40 tapped holes on the back of the sensor body
Tamaño (envolvente máximo) 3.8 in. (9.7 cm) DIA x 2.0 in. (5.1 cm) high
Requisitos de la instalación  
Paso eléctrico

Qty (1) 2¾ in. ConFlat® with one coaxial feedthrough, two pass water, one air IPN 750-685-G1,

 or,

Qty (1) 750-685-G2, with one coaxial feedthrough three tube with Ultra-Torr compression fittings

or,

Qty (1) 1 in. bolt with one coaxial feedthrough, two pass water, one air IPN 750-030-G1,

 

Otro

User to provide vacuum-tight braze joints or connectors for the water and air tubes.

Valve assembly for air, IPN 750-420-G1 (not provided), with a 0.022 in. restrictor orifice installed by the user. (Orifice included with CrystalSix accessory kit.)

Utilidades  
Flujo de agua mínimo

150-200 cc/min, 30° C max (Do not allow water to freeze).

Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur.

Suministro de aire regulado 80-90 PSIG (5.5 bar – 6.2 bar) [550 kPa – 620 kPa] 2 meter maximum length of 1/8 in. tubing between sensor head and the solenoid valve.
Materiales  
Placa, soportes, pantalla de material, partes mecánicas 304 type stainless steel
Resortes, contactos eléctricos Au plated Be-Cu, Au Plate Inconel, 303 stainless steel
Tubos de agua y aire S-304, 0.125 in. (0.32 cm) O.D. x 0.016 in. (0.04 cm) Wall Thickness 30 in. Long (76 cm) seamless stainless steel tubing
Conector (Microdot®) Stainless steel
Aislantes >99% Al2O3
Cable Teflon® insulated copper
Cristal 0.550 in. Diameter
Cuerpo y carro 2024 T351 Aluminum

Número de referencia

CrystalSix Sensor
Número de referencia Descripción
750-446-G1 Sensor CrystalSix (solo sensor, no se incluye paso eléctrico)

Accesorios

Nombre Descripción
Paso de sensor QCM Paso de sensor QCM
CrystalSix Sensor
Número de referencia Descripción
750-420-G1 Válvula solenoide de 24 V (para uso con sensores de obturación y sensores multicristales)

Consumibles

Nombre Descripción
Cristales de cuarzo de monitor Cristales de cuarzo de monitor

Piezas de repuesto

CrystalSix Sensor
Número de referencia Descripción
007-007 Resorte de retención (para el soporte de cristal)
007-023 Retención cerámica
070-0170 2 SPLIT LOCKWASHER SS
070-0398 5103-12H,EXT CRESCENT RET RIN
070-0777 Compression Spring, CrystalSix
070-0778 Ball Bearing, CrystalSix
070-0779 Ball Bearing, CrystalSix
070-0870 Washer, Teflon, CrystalSix
070-0877 Shim Spacer, CrystalSix
070-0879 Ball Bearing, CrystalSix
073-114 .022 DIA SS WIRE SPR TMPR 304
082-026 Nut, 2-56 Hex, Stainless Steel
750-048-P1 Retainer Spring, CrystalSix
750-175-P1 Aislante (bajo resorte de hojas)
750-188-P3 Leaf Spring, Formed
750-249-P2 Retaining Pin, CrystalSix Sensor
750-250-G1 Deposition Shield, CrystalSix Sensor
750-256-P2 Extension Spring
750-257-P3 Corrugated Spring, CrystalSix Sensor
750-261-G1 Carousel Assembly, CrystalSix Sensor
750-262-G1 Crystal Holder, CrystalSix Sensor
750-265-G1 Top Plate Weld Assembly, CrystalSix
750-276-P2 DET,ACTUATOR COVER PASSIVATED
750-278-P2 DET,WATER LINE
750-286-P2 Pneumatic Actuator,CrystalSix/Crystal 12
750-290-P3 Electrical Contact, CrystalSix Sensor
750-291-P1 Detent, CrystalSix/Crystal 12
750-293-P2 Ratchet, CrystalSix/Crystal 12
750-294-P2 Stop Ratchet, CrystalSix/Crystal 12
750-295-G1 Pawl/Actuator Stem, Crystal 12 Sensor
750-336-G1 Resistor Network Assembly, CrystalSix
750-338-P1 DET, CONTACT INSULATOR
In-vacuum cables
321-039-G12 Cable en vacío, 15,2 cm (6 pulg.)
007-252 Cable en vacío, 30,5 cm (12 pulg.)
321-039-G11 Cable en vacío, 61,0 cm (24 pulg.)
007-044 Cable en vacío, 78,1 cm (30,75 pulg.)
007-059 Cable en vacío, 91,4 cm (36 pulg.)
007-061 Cable en vacío, 121,9 cm (48 pulg.) - Necesita controlador ModeLock
321-039-G13 Cable en vacío, 154,2 cm (60 pulg.) - Necesita controlador ModeLock
321-039-G14 Cable en vacío, 182,9 cm (72 pulg.) - Necesita controlador ModeLock
321-039-G15 Cable en vacío, 3,5 m (137,8 pulg.) - Necesita controlador ModeLock y XIU de 4 m
321-039-G16 Cable en vacío, 4 m (157,5 pulg.) - Necesita controlador ModeLock y XIU de 4 m
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