Sensor Crystal 12®

La sustitución de cristales automática maximiza el tiempo de producción

El sensor Crystal 12 de INFICON sustituye a los cristales de forma automática sin interrumpir el proceso cuando está emparejado con el controlador de deposición de película delgada IC6 de INFICON. Cuando un cristal es inestable o falla, IC6 indica al carro del sensor Crystal 12 que haga rotar de inmediato un nuevo cristal a su posición para controlar continuamente la velocidad de deposición. Para reducir aún más el tiempo de inactividad, los cristales se pueden precargar en un segundo carro opcional, que después se puede sustituir rápida y fácilmente por el carro que contiene los cristales gastados, reduciendo así al mínimo el tiempo que el sistema permanece abierto.

Características

  • Soporta 12 cristales con una función de sustitución resistente y automática para maximizar el tiempo de actividad del proceso
  • Carro fácil de extraer que permite una sustitución rápida de los 12 cristales
  • Temperatura estable de los cristales, ya que la sustitución se acciona por neumáticos (las unidades de la competencia utilizan motores de generación de calor)
  • La pantalla de deposición delantera es fácil de extraer y protege los cristales y el carro de la acumulación de material, lo que minimiza la necesidad de extraer todo el sensor para el mantenimiento
  • El usuario puede modificar el kit de montaje opcional para alojar el hardware métrico

Especificaciones

Tipo Crystal 12 Sensor
Temperatura máxima de cocción sin agua 130°C
Temperatura de entorno isotérmico operativo máximo con flujo de agua mínimo 300° C
Tamaño (envolvente máximo) 4.0 in. (102 mm) dia. x 3.3 in. (84 mm) high 4.75 in. (121 mm) dia. x 3.46 in. (88 mm) with optional mounting posts installed
Longitud de agua y aire Standard 30 in. (762 mm)
Cambio de cristal Front-loading
Conjunto Six #4-40 tapped holes on the back of the sensor body, six #4-40 tapped holes on outside circumference. Three #6-32 tapped holes with optional mounting kit (IPN 750-670-G1).
Peso 4.92 lb. (2.23 kg)
Requisitos de la instalación  
Paso eléctrico

Qty (1) 2-3/4 in. ConFlat® with one coaxial feedthrough, two pass water, one air, IPN 750-685-G1,

or,

Qty (1) 750-685-G2, with one coaxial feedthrough three tube with Ultra-Torr compression fittings

or,

Qty (1) 1 in. bolt with one coaxial feedthrough, two pass water, one air IPN 750-030-G1

Conjunto User to provide mounting structure adequate to support weight of Crystal12 and designed to facilitate removal and replacement with minimal change in exact position. An optional mounting post kit, IPN 750-670-G1, may be purchased for this purpose.
Conexiones de aire y agua User to provide vacuum-tight braze joints or connectors for the water and air tubes. Valve assembly for air, IPN 750-420-G1 (not provided), with a 0.022 in. restrictor orifice installed by the user. (Orifice included with Crystal12 accessory kit.)
Utilidades Minimum water flow 150-200 cc/min, 30° C max (Do not allow water to freeze). Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. Regulated air supply 80-90 PSIG (5.5 bar – 6.2 bar) [550 kPa - 620 kPa] 2 meter maximum length of 1/8 in. tubing between sensor head and the solenoid valve.
Materiales  
Placa, pantalla de material, piezas mecánicas, cuerpo y carro 304 type stainless steel
Resortes, contactos eléctricos Au plated Be-Cu, Au Plated 302 stainless steel
Tubos de agua y aire S-304, 0.125 in. (3.2 mm) O.D. x .016 in. (0.4 mm) Wall Thickness x 30 in. Long (762 mm) seamless stainless steel tubing
Conector Stainless steel
Aislantes Teflon, Peek®
Cable Teflon insulated copper plated steel
Cristal 0.550 in. (13.97 mm) diameter
Perno de 1 pulg. (2,54 cm) y terminaciones Ultra-Torr (conector por compresión):  
Materiales 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON®
Temperatura Operational environment to 300° C with water cooling or 165° C without
Conjunto 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
Terminaciones soldadas CF 40:  
Materiales 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
Temperatura Operational environment to 450° C with water cooling or 165° C without
Conjunto Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.
Crystal12_OrderChart_2013_web-01.png

Accesorios

Nombre Descripción
Paso de sensor QCM Paso de sensor QCM
Crystal 12 Sensor
Número de referencia Descripción
750-420-G1 Válvula solenoide de 24 V (para uso con sensores de obturación y sensores multicristales)

Consumibles

Nombre Descripción
Cristales de cuarzo de monitor Cristales de cuarzo de monitor

Piezas de repuesto

Crystal 12 Sensor
Número de referencia Descripción
750-276-P3 XTAL12 ACTUATOR COVER PASSIVATED
750-644-G1 CAROUSEL HOUSING WELDMENT
750-658-G1 Deposition Shield Assembly, Crystal 12
750-286-P2 Pneumatic Actuator,CrystalSix/Crystal 12
750-291-P1 Detent, CrystalSix/Crystal 12
750-294-P2 Stop Ratchet, CrystalSix/Crystal 12
750-293-P2 Ratchet, CrystalSix/Crystal 12
750-256-P2 Extension Spring
750-252-P2 DET,SPRING POST
750-649-G1 Electrical Connection, Crystal 12
750-295-G1 Pawl/Actuator Stem, Crystal 12 Sensor
750-258-P2 DET - Bearing Shaft
070-0779 Ball Bearing, CrystalSix
750-652-G1 Crystal Carousel, Crystal 12 Sensor
750-650-P1 RESISTOR NETWORK APERTURE PLATE
070-1253 Dowel Pin, CrystalSix
750-651-P1 RESISTOR NETWORK SUPPORT
750-655-P1 RESISTOR NETWORK INSULATOR
750-642-G1 Resistor Network Grid Weldment
750-661-P1 Contact Terminal, Crystal 12
750-656-P1 CRYSTAL INSULATOR
321-038-P6 Leaf Spring, Crystal 12
750-657-P1 Leaf Spring, Grounding, Crystal 12
750-671-P1 Torsion Spring, Crystal 12
750-626-P1 Spring, Crystal 12 and Sputtering Sensor
750-647-P1 Carousel Spindle Body, Crystal 12
070-1268 Bearing, CrystalSix
070-1254 E-RING BOWED #H51310075STBtruarc
750-660-P1 Location Screw, 6-32, Crystal 12
007-126 DET-30"STN STL SEAMLESS TUBING
070-201 #4 SPLIT LOCKWASHER SS
084-004 Tornillo de cabeza Allen 4-40 X 0,187
070-398 5103-12H,EXT CRESCENT RET RING
070-0867 B4-10,1/8"SHAFT SPACER .094TH
070-170 #2 SPLIT LOCKWASHER SS
070-177 Tornillo de cabeza hexagonal 4-40 X 3,12
080-038 SCREW 0-80 x .375 LG PHIL PAN HD SS
082-032 Lock Washer, #2, Stainless Steel
082-045 Screw, Philips Pan Head, 2-56 x 0.187in.
084-054 Split Washer, #4, Stainless Steel
082-022 Washer, #2, Flat, Stainless Steel
082-024 Screw, Socket Head, 2-56 x 0.250 in.
750-292-P2 Detent Spacer, CrystalSix/Crystal 12
080-013 Washer, Split Lock Stainless Steel
080-007-P1 Flat Washer, Stainless Steel
080-009-P1 Tornillo de cabeza Allen 0-80 X 0,188
084-048 SCREW 4-40 x .250 LG PHIL FLAT HD SS
750-665-P1 Shoulder Screw, 2-56, Torsion Spring
084-093 Screw, Socket Head, 4-40 x 1.125 in.
086-084-P2 Screw, Socket Head Set, 6-32 x 0.125in.
086-041 WASHER 6 FLAT SS
086-038 WASHER 6 SPLIT LOCK SS
086-036 SCREW 6-32 x .375 LG SOC HD CAP SS
In-vacuum cables
321-039-G12 Cable en vacío, 15,2 cm (6 pulg.)
007-252 Cable en vacío, 30,5 cm (12 pulg.)
321-039-G11 Cable en vacío, 61,0 cm (24 pulg.)
007-044 Cable en vacío, 78,1 cm (30,75 pulg.)
007-059 Cable en vacío, 91,4 cm (36 pulg.)
007-061 Cable en vacío, 121,9 cm (48 pulg.) - Necesita controlador ModeLock
321-039-G13 Cable en vacío, 154,2 cm (60 pulg.) - Necesita controlador ModeLock
321-039-G14 Cable en vacío, 182,9 cm (72 pulg.) - Necesita controlador ModeLock
321-039-G15 Cable en vacío, 3,5 m (137,8 pulg.) - Necesita controlador ModeLock y XIU de 4 m
321-039-G16 Cable en vacío, 4 m (157,5 pulg.) - Necesita controlador ModeLock y XIU de 4 m
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