SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 Torr / mbar

 

Los manómetros SKY CDG100D de INFICON son la mejor opción para medir y controlar la presión totalmente y de manera precisa. Los indicadores CDG100D tienen una temperatura controlada de 100 °C para conseguir un rendimiento superior en procesos exigentes de semiconductores y de plasma. Están disponibles para rangos de escala completa, desde 100 mTorr hasta 1.000 Torr, con todos los tipos de bridas e interfaces de bus de campo habituales, y ofrecen una señal de presión lineal independiente del tipo de gas de entre 0 y 10 V. Los manómetros de capacitancia de INFICON utilizan un diafragma de cerámica de alúmina ultrapura resistente a la corrosión. Las ventajas del sensor de cerámica son una mejor estabilidad de la señal, una recuperación más rápida de la atmósfera, un tiempo de calentamiento corto y una extraordinaria duración. Los indicadores del diafragma de la capacitancia de INFICON son sensores de presión rentables y de alta calidad para aplicaciones de vacío, de plasma y de semiconductores exigentes.

Ventajas

  • Menos coste de propiedad, tiempo de calentamiento un 50% más rápido y un consumo energético reducido y eficiente
  • Fácil integración, amplia variedad de escalas completas, bridas e interfaces, y estándar con dos puntos de ajuste
  • Botón sencillo o señal remota de puesta a cero y valor cero ajustable
  • Puerto de diagnóstico para un servicio y mantenimiento rápidos
  • Dos años de garantía y mayor duración con un concepto de calentamiento avanzado y protección del indicador
  • A largo plazo, no es necesario realizar recalibraciones debido a la excelente estabilidad y repetibilidad de la señal, incluso en duras aplicaciones de plasma
  • Cumplimiento y estándares: CE, EN, UL, SEMI y RoHS

Aplicaciones típicas

  • Decapado, CVD, PVD y otros procesos de producción de semiconductores
  • Procesos químicos y corrosivos a alta temperatura
  • Procesos generales de vacío y de película delgada que requieren protección del indicador

Noticias

con interfaz digital EtherCAT ¡disponible ya!

  • CDGxxxD geheizt Massbild.gif

Especificaciones

Tipo 1000 ... 500 Torr / mbar 200 ... 1 Torr / mbar 0.5 ... 0.1 Torr / mbar
Precisión (1) % of reading 0.2 0.2 0.4
Efecto de temperatura      
en cero percent FS/°C 0.0025 0.0025 0.005
en duración % of reading / °C 0.02 0.02 0.02
Presión, máx. kPa (absolute) 400 260 130
Resolución percent FS 0.003 0.003 0.003
La lectura más baja percent FS 0.01 0.01 0.01
La lectura sugerida más baja percent FS 0.05 0.05 0.05
La presión de control sugerida más baja percent FS 0.5 0.5 0.5
Temperatura      
Funcionamiento (ambiente) (5) °C +10 … +50 +10 … +50 +10 … +50
Horneado en la brida °C ≤110 ≤110 ≤110
Almacenamiento °C –20 … +65 –20 … +65 –20 … +65
Tensión de alimentación +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
Consumo de potencia      
Durante el calentamiento W ≤15 ≤15 ≤15
En la temperatura de operación W ≤10 ≤10 ≤10
Señal de salida (analógica) V (dc) 0 … +10 0 … +10 0 … +10
Tiempo de respuesta (2) ms 30 30 130 / 30 (3)
Grado de protección IP 40 IP 40 IP 40
Estándares      
Conformidad CE EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
Certificación ETL UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
Cumplimiento SEMI (5) SEMI S2 SEMI S2 SEMI S2
Conexión eléctrica D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
Punto de ajuste      
Número de puntos de ajuste 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
Contacto de relé ≤30 ≤30 ≤30
Histéresis percent FS 1 1 1
Puerto de diagnóstico      
Protocolo RS232-C RS232-C RS232-C
Lectura pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
Set set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Materiales expuestos al vacío Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
Volumen interno      
I. volumen tubo 1/2'' cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
I. volumen DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
I. volumen DN 16 CF-R cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
I. volumen 8 VCR® cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Peso      
Peso tubo 1/2'' g 837 837 837
Peso DN 16 ISO KF g 852 852 852
Peso DN 16 CF-R g 875 875 875
Peso 8 VCR® g 897 897 897
EtherCAT      
Protocolo EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
Estándares de comunicación ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge
Dirección de nodo Explicit Device Identification Explicit Device Identification Explicit Device Identification
Capa física 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Lectura de funciones digitales pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
Conjunto de funciones digitales set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Datos de procesos Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
Buzón (CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
Conector EtherCAT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
Cable shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
Longitud del cable m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330) ≤100 (330)
DeviceNet™      
Protocolo DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only
Velocidad de transmisión de datos kBaud 125, 250, 500 by switch or network programmable 125, 250, 500 by switch or network programmable 125, 250, 500 by switch or network programmable
Longitud de cable 125 kbps m (ft.) 500 (1650) 500 (1650) 500 (1650)
Longitud de cable 250 kbps m (ft.) 250 (825) 250 (825) 250 (825)
Longitud de cable 500 kbps m (ft.) 100 (330) 100 (330) 100 (330)
MAC ID address 00 - 63 by switch or network programmable address 00 - 63 by switch or network programmable address 00 - 63 by switch or network programmable
Funciones de lectura digital pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
Funciones digitales establecidas set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Especificación DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)
Tipo de dispositivo ''VG'' vacuum gauge ''VG'' vacuum gauge ''VG'' vacuum gauge
Mensaje de esclavo I / O polling only polling only polling only
Tensión de alimentación para el calibre en el conector D-sub +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W
Tensión de alimentación para el transmisor DeviceNet en el conector de tipo micro 24 V nom / <2 W (11 … 25 V) 24 V nom / <2 W (11 … 25 V) 24 V nom / <2 W (11 … 25 V)
Conector para DeviceNet™ microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male
Conector para CDG (salida analógica, tensión de alimentación CDG, puntos de ajuste) D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male
Profibus DP      
Velocidad de transmisión de baudios 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
Dirección address 00 - 125 by switch or network programmable address 00 - 125 by switch or network programmable address 00 - 125 by switch or network programmable
Funciones de Lectura digital pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
Funciones digitales Establecidas set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Conector para Profibus DP D-sub, 9 pin, female D-sub, 9 pin, female D-sub, 9 pin, female
Conector para CDG (salida analógica, tensión de alimentación, puntos de ajuste) D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male

(1) No linealidad, histéresis y repetibilidad a 25 °C de temperatura ambiente de funcionamiento sin efectos de temperatura tras 2 horas de funcionamiento.

(2) Aumento de 10 … 90 por ciento a escala completa 

(3) Sólo para tipo de control de presión.

(4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

(5) La temperaturas ambiente > 40°C puede aumentar la temperatura de superficie por encima de los niveles de cumplimiento de SEMI S2

CDG100D Sky PIM Ordering Information.png
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