SKY® CDG025D 0.1 ... 1000 Torr / mbar

 

La línea de indicadores del diafragma de la capacitancia SKY CDG025D de INFICON con manómetros de temperatura compensada y de alta precisión, se ha diseñado para obtener un rendimiento estable en entornos duros de herramientas de producción. Sus componentes electrónicos digitales avanzados mejoran el rendimiento del indicador y ofrecen funciones fáciles de utilizar, como el botón de puesta a cero y la regulación del punto de ajuste. El sensor de cerámica resistente a la corrosión proporciona una excelente estabilidad de cero y tiene una expectativa de duración de varios millones de ciclos de presión, incluidas ráfagas atmosféricas. La exclusiva pantalla de sensor (pendiente de patente) protege el indicador de la contaminación de procesos. Un diseño mecánico y resistente, junto con los dispositivos electrónicos digitales, mejoran la compatibilidad de EMC, la estabilidad a largo plazo y la compensación de temperatura. El dispositivo CDG025D establece nuevos estándares para lograr una estabilidad rápida después de encenderlo y una rápida recuperación de la exposición a la presión atmosférica.

Ventajas

  • Rangos de escala completa desde 100 mTorr a 1000 Torr
  • Rápida estabilidad después del encendido
  • Rápida recuperación de presión atmosférica
  • Sensor de cerámica resistente a la corrosión
  • Excelente estabilidad de señal a largo plazo
  • Temperatura compensada
  • Sensor protegido contra la contaminación
  • Función de puesta a cero con un botón
  • Fuente de alimentación de rango amplio

Aplicaciones típicas

  • Equipo de fabricación de semiconductores para decapado, CVD, PVD, ALD
  • Equipo de fabricación de pantallas y almacenamiento de datos
  • Equipo de vacío industrial
  • Medición general de presión de alta precisión
  • CDG025D dimensions

Especificaciones

Tipo 1000 Torr / 1100 mbar 500 ... 10 Torr / mbar 1 Torr / mbar 0.25 Torr 0.1 Torr / mbar
Precisión (1) % of reading 0.2 0.2 0.2 0.25 0.5
Efecto de temperatura          
en cero percent FS/°C 0.005 0.005 0.015 0.02 0.02
en duración % of reading / °C 0.01 0.01 0.01 0.03 0.03
Resolución percent FS 0.003 0.003 0.003 0.003 0.003
Presión, máx. kPa (absolute) 400 260 260 130 130
Tiempo de respuesta (2) ms 30 30 30 130 130
La lectura más baja percent FS 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
La lectura sugerida más baja percent FS 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05
La presión de control sugerida más baja percent FS 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
Temperatura          
Funcionamiento (ambiente) °C +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50
Horneado en la brida (3) °C ≤110 ≤110 ≤110 ≤110 ≤110
Almacenamiento °C –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65
Tensión de alimentación V (dc) +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30
Consumo de potencia W ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
Señal de salida (analógica) V (dc) 0 … +10 0 … +10 0 … +10 0 … +10 0 … +10
Grado de protección IP 30 IP 30 IP 30 IP 30 IP 30
Estándares          
Conformidad CE EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS
Certificación ETL UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
Conexión eléctrica D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
Punto de ajuste (4)          
Número de puntos de ajuste 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
Contacto de relé 30 30 30 30 30
Histéresis percent FS 1 1 1 1 1
Materiales expuestos al vacío Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass
Volumen interno          
Tubo de 1/2'' cm³ (in.³)        
DN 16 ISO KF cm³ (in.³)        
DN 16 CF-R cm³ (in.³)        
8 VCR® cm³ (in.³)        
Peso          
Tubo de 1/2'' g        
DN 16 ISO KF g        
DN 16 CF-R g        
8 VCR® g        

(1) No linealidad, histéresis y repetibilidad a 25 °C de temperatura ambiente de funcionamiento sin efectos de temperatura tras 2 horas de funcionamiento.

(2) Aumento de 10 … 90 por ciento a escala completa

(3) Sin funcionamiento

(4) CDG025D-S exclusivamente

(5) 28% Ni, 23% Co, 49% Fe

(6) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

CDG025D PN.png
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