Indicador de atmósfera a vacío ultraelevado BPG402-Sx

 

El calibre de membrana de capacitancia Bayard-Alpert Pirani de INFICON, BPG402-S, funciona como dos indicadores de nivel en una sola unidad compacta midiendo desde 5&veces;10-10 mbar a la atmósfera (3.8&veces;10-10 Torr to atmosphere). La combinación de tecnologías reduce la complejidad de la instalación, la configuración y la integración. Elija el BPG402-S con dos filamentos de iridio recubiertos de óxido de itrio para un proceso asequible y repetible para las mediciones de presión de base en un paquete económico. Elementos sensores con datos de calibración a bordo garantizan una alta reproducibilidad en el intercambio de sensores.

Ventajas

  • Direct replacement for ITR 200 series
  • Rango de medición de gran amplitud desde 5&veces;10-10 mbar a la atmósfera (3,8&veces;10-10 Torr a la atmósfera)
  • Excelente repetibilidad en el rango de presión de proceso desde 10-8 … 10-2 mbar de 5%
  • El interbloqueo Pirani protege el filamento de quemarse prematuramente
  • Dos filamentos de iridio revestido de óxido de itrio de larga duración
  • Pantalla gráfica opcional e interfaces de bus de campo disponibles
  • El ajuste Pirani de alto vacío automático reduce las intervenciones del operador
  • El elemento sensor fácil de intercambiar con datos de calibración a bordo garantiza una alta reproducibilidad
  • Conformidad RoHS

Aplicaciones típicas

  • Medición de la presión en el proceso semiconductor y cámaras de transferencia
  • Revestimiento industrial
  • Medición de vacío general y control en el rango de vacío de bajo a ultra alto

Noticias

¡NUEVO! Ahora disponible con interfaz digital EtherCAT!

  • tiba31e1 Massbild.png

Especificaciones

Tipo BPG402-S
Rango de medición (aire, O2, CO, N2) 5×10-10 … 1000
Precisión  
10-8 … 10-2 mbar % of reading ±15
Repetibilidad  
10-8 … 10-2 mbar % of reading 5
Degas (1)  
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
Presión, máx. bar (absolute) 2
Temperatura  
Funcionamiento (ambiente) °C 0 … +50
Almacenamiento °C -20 … +70
Horneado en la brida sin electrónica BPG402-S °C 80
Horneado en la brida sin electrónica BPG402-SL °C 150
Tensión de alimentación +20 … +28
Señal de salida analógica  
Señal de salida V 0 … +10
Rango de medición V +0.774 … +10
Tensión contra presión volts per decade 0.75
Señal de error V 0.1 / 0.3 / 0.5
Impedancia de carga, mín. kΩ 10
Relé de punto de ajuste  
Número de puntos de ajuste 1
Rango mbar 1×10-9 … 100
Contacto de relé n.o., potential free
Histéresis % of reading 10
Capacidad nominal de contacto ≤30
Funciones digitales degas
Interfaz (digital) (2) RS232C
Control de emisión automatic / manual via interface
Filamento two Yt2O3 coated Ir
Estado de filamento / relé LED / relay
Conexión eléctrica D-Sub, 15-pin, male
Longitud de cable, máx. (3) m (ft.) 100 (330)
Materiales expuestos al vacío Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
Volumen interno KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
Peso KF / CF g 450 / 710
Grado de protección IP30
Profibus DP  
Velocidad de transmisión de baudios 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
Dirección 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
Funciones digitales read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
Funciones analógicas 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
Relés de punto de ajuste: Número de puntos de ajuste 2
Relés de punto de ajuste: Rango mbar 1×10-9 … 100
Relés de punto de ajuste: Contacto de relé n.o., potential free
Relés de punto de ajuste: Histéresis % of reading 10
Relés de punto de ajuste: Capacidad nominal de contacto ≤30
Conector para Profibus DP D-Sub, 9-pin, female
Conector para CDG (salida analógica, tensión de alimentación, puntos de ajuste) D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™  
Protocolo DeviceNet™, group 2 slave only
Conmutador de velocidad de transmisión de datos kBaud 125, 250, 500 or network programmable
Longitud de cable 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
Longitud de cable 250 kbps m (ft.) 250 (825)
Longitud de cable 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
Funciones digitales read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
Funciones analógicas 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
Especificación DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
Tipo de dispositivo ''CG'' for combination gauge
Mensaje de esclavo I / O polling only
Relé de punto de ajuste: Número de puntos de ajuste 2
Relés de punto de ajuste: Rango mbar 1×10-9 … 100
Relés de punto de ajuste: Contacto de relé n.o., potential free
Relés de punto de ajuste: Histéresis % of reading 10
Relés de punto de ajuste: Capacidad nominal de contacto ≤30
Tensión de alimentación para DeviceNet™ +11 … +25
Tensión de alimentación para calibre +20 … +28
Conector para DeviceNet™ Microstyle, 5-pin
Conector para BPG (salida analógica, tensión de alimentación, puntos de ajuste) D-Sub, 15-pin, male
EtherCAT  
Protocolo EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
Estándares de comunicación ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
Dirección de nodo Explicit Device Identification
Capa física 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Funciones digitales EtherCAT read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information
Datos de procesos Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
Buzón (CoE) SDO requests, responses and information
Conector EtherCAT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
Cable shielded Ethernet CAT5e or higher
Longitud del cable m (ft.) ≤100 (330)

(1) Precisión reducida durante la desgasificación

(2) Uso simultáneo del bus de campo y de los controladores de las series RS232C o VGC40x no permitido

(3) Para la serie RS232C, funcionamiento a <30 m

Número de referencia

BPG402-S
Número de referencia Descripción
353-570 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-571 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-572 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-573 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-574 BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-575 BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-576 BPG402-SD BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-577 BPG402-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R.
353-578 BPG402-SL BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
354-494 BPG402 Spare measurement system DN25 KF
354-495 BPG402 Spare measurement system DN40CF-R
354-496 BPG402-SL Spare measurement system DN40C
353-511 Power supply BPG400 24VDC

Accesorios

BPG402-S
Número de referencia Descripción
353-511 Power supply BPG400 24VDC
353-512 Baffle for BPG400
211-113 Centering ring with baffle DN 25 KF
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