Indicador de atmósfera a vacío ultraelevado BPG400

 

El calibre de membrana de capacitancia Bayard-Alpert Pirani de INFICON, BPG40o, funciona como dos indicadores de nivel en una sola unidad compacta midiendo desde 5&veces;10-10 mbar a la atmósfera (3.8&veces;10-10 Torr to atmosphere). La combinación de tecnologías reduce la complejidad de la instalación, la configuración y la integración. Elija el BPG400 para el proceso económico y repetible para basar las medidas de presión en un paquete económico.

Ventajas

  • direct replacement for ITR 90 Vacuum Transmitters
  • Rango de medición de gran amplitud desde 5&veces;10-10 mbar a la atmósfera (3,8&veces;10-10 Torr a la atmósfera)
  • Excelente repetibilidad en el rango de presión de proceso desde 10-8 … 10-2 mbar de 5%
  • El interbloqueo Pirani protege el sistema Bayard-Alpert de que no se queme de forma prematura el filamento y del exceso de contaminación del funcionamiento a alta presión
  • Filamento de iridio revestido de óxido de itrio de larga duración
  • Pantalla gráfica opcional e interfaces de bus de campo disponibles
  • El ajuste Pirani de alto vacío automático reduce las intervenciones del operador
  • Conformidad RoHS
  • Medición de vacío general y control en el rango de vacío de bajo a ultra alto

Aplicaciones típicas

  • Medición de la presión en el proceso semiconductor y cámaras de transferencia
  • Revestimiento industrial
  • Medición de vacío general y control en el rango de vacío de bajo a ultra alto

Noticias

Direct replacement for ITR 90 Vacuum Transmitters
  • BPG400 Bayard Alpert Piran Gauge

Especificaciones

Tipo BPG400
Rango de medición (aire, O2, CO, N2) 5×10-10 … 1000
Precisión  
10-8 … 10-2 mbar % of reading ±15
Repetibilidad  
10-8 … 10-2 mbar % of reading 5
Degas (1)  
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
Presión, máx. bar (absolute) 2
Temperatura  
Funcionamiento (ambiente) °C 0 … +50
Almacenamiento °C -20 … +70
Horneado en la brida con extensión °C 150
Horneado en la brida sin extensión °C 80
Electrónica de horneado retirado °C 150
Tensión de alimentación +20 … +28
Señal de salida analógica  
Señal de salida V 0 … +10
Rango de medición V +0.774 … +10
Tensión contra presión volts per decade 0.75
Señal de error V 0.3 / 0.5
Impedancia de carga, mín. kΩ 10
Interfaz (digital) (2) RS232C
Conexión eléctrica D-Sub, 15-pin, male
Longitud de cable, máx. (3) m (ft.) 100 (330)
Materiales expuestos al vacío Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
Volumen interno KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
Peso KF / CF g 285 / 550
Grado de protección IP30
Profibus DP  
Velocidad de transmisión de baudios 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
Dirección 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
Funciones digitales read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
Funciones analógicas 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
Relés de punto de ajuste: Número de puntos de ajuste 2
Relés de punto de ajuste: Rango mbar 1×10-9 … 100
Relés de punto de ajuste: Contacto de relé n.o., potential free
Relés de punto de ajuste: Histéresis % of reading 10
Relés de punto de ajuste: Capacidad nominal de contacto 60
Conector para Profibus DP D-Sub, 9-pin, female
Conector para BPG (salida analógica, tensión de alimentación, puntos de ajuste) D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™  
Protocolo DeviceNet™, group 2 slave only
Conmutador de velocidad de transmisión de datos kBaud 125, 250, 500 or network programmable
Longitud de cable 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
Longitud de cable 250 kbps m (ft.) 250 (825)
Longitud de cable 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
Funciones digitales read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
Funciones analógicas 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
Especificación DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
Tipo de dispositivo ''CG'' for combination gauge
Mensaje de esclavo I / O polling only
Relés de punto de ajuste: Número de puntos de ajuste 2
Relés de punto de ajuste: Rango mbar 1×10-9 … 100
Relés de punto de ajuste: Contacto de relé n.o., potential free
Relés de punto de ajuste: Histéresis % of reading 10
Relés de punto de ajuste: Capacidad nominal de contacto 60
Tensión de alimentación para DeviceNet™ +11 … +25
Tensión de alimentación para calibre +20 … +28
Conector para DeviceNet™ Microstyle, 5-pin
Conector para BPG (salida analógica, tensión de alimentación, puntos de ajuste) D-Sub, 15-pin, male

(1) Precisión reducida durante la desgasificación

(2) Uso simultáneo del bus de campo y de los controladores de las series RS232C o VGC40x no permitido

(3) Para la serie RS232C, funcionamiento a <30 m

Número de referencia

BPG400
Número de referencia Descripción
353-500 BPG400 BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF.
353-501 BPG400 BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-502 BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-503 BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-505 BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-506 BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
354-490 SPARE MEASUREMENT SYSTEM BPG400 DN25KF.
354-491 Spare measurement system BPG400 DN40CF.
353-511 Power supply BPG400 24VDC

Accesorios

BPG400
Número de referencia Descripción
353-510 100 mm sensor extension tube
353-511 Power supply BPG400 24VDC
353-512 Baffle for BPG400
211-113 Centering ring with baffle DN 25 KF

Hojas de datos

Folletos

Manuales

Archivos 3D Step

Otros archivos

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