Indicador triple de atmósfera a vacío ultraelevado BCG450

 

El calibre de membrana de capacitancia Bayard-Alpert Pirani de INFICON, BCG450 (Triple-Gauge™), combina las ventajas de tres tecnologías diferentes en un solo paquete compacto y económico para medir el proceso y la presión de la base de 5&veces;10-10 a 1500 mbar (3.75&veces;10-10 to 1125 Torr). El BCG450 está diseñado para sustituir tres sensores (ion caliente, convección mejorada Pirani y el interruptor de vacío), lo que reduce costes y espacio valioso para la herramienta.

Ventajas

  • El indicador BCG450 ahorra costes y espacio de herramientas y reduce la complejidad de la configuración y de la instalación de mediciones de vacío.
  • La medición de la presión independiente del tipo de gas por encima de 10 Torr ofrece un control de bloqueo de carga más fiable para cualquier combinación de gases
  • El bloqueo Pirani protege los filamentos calientes del desgaste prematuro
  • El ajuste Pirani automático de alto vacío reduce las intervenciones del operador
  • La medición de la presión diferencial en la atmósfera elimina la incertidumbre relacionada con los cambios de presión atmosférica
  • Los elementos sensores fáciles de sustituir y con datos de calibración integrados garantizan la reproducibilidad
  • Están disponibles una interfaz de bus de campo y una pantalla gráfica opcional
  • Cumplimiento de la normativa RoHS

Aplicaciones típicas

  • Medición de presión en procesos de semiconductores, cámaras de bloqueo de carga y de transferencia
  • Revestimiento industrial
  • Medición general de vacío y control de los sistemas en los rangos de vacío bajo y vacío ultra elevado

Noticias

NUEVO Con la interfaz digital EtherCAT ¡disponible ahora!

  • BCG450 dimensions

Especificaciones

Tipo BCG450
Rango de medición 5×10-10 … 1500
Precisión  
10-8 … 50 mbar % of reading ±15
50 … 950 mbar % of reading ±5
950 … 1050 mbar % of reading ±2.5
Repetibilidad  
10-8 … 10-2 mbar % of reading 5
Emisión de ion caliente encendida mbar 2×10-2 (high)
(seleccionable alto / bajo, vía RS232 / Fieldbus) mbar 8×10-3 (low)
Degas (1)  
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
Presión, máx. bar (absolute) 5
Temperatura  
Funcionamiento (ambiente) °C 0 … +50
Almacenamiento °C -20 … +70
Horneado en la brida °C 80
Electrónica de horneado retirado °C 150
Tensión de alimentación 20 … 28
Señal de salida analógica  
Señal de salida V 0 … 10.3
Salida del rango de medición V 0.774 … 10.3
Relación tensión / presión volts per decade 0.75
Señal de error V 0.3 / 0.5
Carga mínima kΩ 10
Interfaz (digital) (2) RS232C
Conector D-Sub, 15-pin, male
Longitud de cable, máx. (3) m (ft.) 100 (330)
Materiales expuestos al vacío Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass
Volumen interno KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
Peso KF / CF g 285 / 550
Grado de protección IP30
DeviceNet™  
Protocolo DeviceNet™, group 2 slave only
Conmutador de velocidad de transmisión de datos kBaud 125, 250, 500 or network programmable
Longitud de cable 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
Longitud de cable 250 kbps m (ft.) 250 (825)
Longitud de cable 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
Tamaño de la red up to 64 nodes per segment
Funciones digitales read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
Funciones analógicas 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
Indicadores de comunicación visual LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
Especificación DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
Tipo de dispositivo ''CG'' for combination gauge
Mensaje de esclavo I / O polling only
Relés de punto de ajuste: Número de puntos de ajuste 2
Relés de punto de ajuste: Rango mbar 1×10-9 … 1400
Relés de punto de ajuste: Contacto de relé n.o., potential free
Relés de punto de ajuste: Histéresis % of reading 10
Relés de punto de ajuste: Capacidad nominal de contacto 60
Relés de punto de ajuste: Conector D-Sub, 15-pin, male
Tensión de alimentación para DeviceNet™ 11 … 25
Tensión de alimentación para calibre 20 … 28
Conector para DeviceNet™ Microstyle, 5-pin
Conector para BCG (salida analógica, tensión de alimentación, puntos de ajuste) D-Sub, 15-pin, male
Profibus DP  
Velocidad de transmisión de baudios 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
Dirección 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
Funciones digitales read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
Funciones analógicas 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
Relés de punto de ajuste: Número de puntos de ajuste 2
Relés de punto de ajuste: Rango mbar 1×10-9 … 1400
Relés de punto de ajuste: Contacto de relé n.o., potential free
Relés de punto de ajuste: Histéresis % of reading 10
Relés de punto de ajuste: Capacidad nominal de contacto 60
Conector para Profibus DP D-Sub, 9-pin, female
Conector para BCG (salida analógica, tensión de alimentación, puntos de ajuste) D-Sub, 15-pin, male
EtherCAT  
Protocolo EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
Estándares de comunicación ETG.5003.1 S (R) V1.1.0: Part 1 Common Device Profile (CDP) ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0: Part 2080: Specific Device Profile (SDP) Vacuum Pressure Gauge
Dirección de nodo Explicit Device Identification
Capa física 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Funciones digitales EtherCAT read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information
Datos de procesos Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
Buzón (CoE) SDO requests, responses and information
Conector EtherCAT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
Cable shielded Ethernet CAT5e or higher
Longitud del cable m (ft.) ≤100 (330)

(1) Precisión reducida durante la desgasificación

(2) Uso simultáneo del bus de campo y de los controladores de las series RS232C o VGC40x no permitido

(3) Para la serie RS232C, funcionamiento a <30m

Número de referencia

BCG450
Número de referencia Descripción
353-550 BCG450 TripleGauge; DN 25 ISO-KF
353-551 BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R
353-552 BCG450 TripleGauge; DN 25 ISO-KF
353-553 BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R
353-554 BCG450-SP TripleGauge; DN 25 ISO-KF
353-556 BCG450-SP TripleGauge; DN 40 CF-R
353-557 BCG450-SD TripleGauge; DN 25 ISO-KF
353-558 BCG450-SD TripleGauge; DN 40 CF-R.
353-592 BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-593 BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-598 BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-599 BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R
354-492 BCG450 Spare measurement system DN25 KF
354-493 BCG450 Spare measurement systemDN40CF-R.
353-606 BCG450 TripleGauge; W, DN 40 CF-R

Accesorios

BCG450
Número de referencia Descripción
353-511 Power supply BPG400 24VDC
353-512 Baffle for BPG400
211-113 Centering ring with baffle DN 25 KF

Piezas de repuesto

BCG450
Número de referencia Descripción
354-492 BCG450 Spare measurement system DN25 KF
354-493 BCG450 Spare measurement systemDN40CF-R.
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