Indicador de vacío de vacío medio a ultraelevado BAG402

El indicador único de iones calientes Bayard-Alpert de INFICON BAG402 cubre una amplia gama de medidas desde 5×10-10 mbar a 2,7×10-2 mbar (3,75×10-10 Torr a 5×10-2 Torr). Seleccione el dispositivo BPG402 de INFICON para llevar a cabo procesos repetibles y asequibles con el fin de realizar mediciones de la presión base en un paquete de indicador activo compacto. Sus filamentos duales exclusivos ofrecen gran precisión, estabilidad y duración.

Ventajas

  • Las medidas oscilan entre 5×10-10 mbar y 2,7×10-2 mbar (3,75×10-10 Torr a 5×10-2 Torr)
  • Excelente repetibilidad en el rango de presión de procesos desde 10-8 hasta 10-2 mbar del 5%
  • La detección de presión excesiva protege el filamento del desgaste prematuro
  • Dos filamentos de iridio revestido de óxido de itrio de larga duración
  • La selección automática de corriente de emisión reduce la complejidad del control
  • Los elementos sensores fáciles de sustituir y con datos de calibración integrados garantizan una reproducibilidad elevada
  • Cumplimiento de la normativa RoHS

Aplicaciones típicas

  • Medición de presión en procesos de semiconductores y cámaras de transferencia
  • Revestimiento industrial
  • Medición general de vacío y control en los rangos de vacío bajo y vacío ultra elevado
  • tiba46e1 Dimensioned Drawing.png

Especificaciones

Tipo BAG402
Rango de medida (aire, O2, CO, N2) 5×10-10 … 2.7×10-2
Precisión  
10-8 … 10-2 mbar % of reading ±15
Repetibilidad  
10-8 … 10-2 mbar % of reading 5
Degas (1)  
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
Presión, máx. bar (absolute) 2
Temperatura  
Funcionamiento (ambiente) °C 0 … +50
Almacenamiento °C -20 … +70
Horneado en la brida sin electrónica BPG402-S °C 80
Tensión de alimentación +20 … +28
Señal de salida analógica (4)  
Señal de salida V 0 … +10
Rango de medidas log / lin V 0 … +9
Tensión frente a presión volts per decade 1
Señal de error V > +10
Impedancia de carga, mín. kΩ 10
Salida analógica secundaria none
Relé de punto de referencia  
Número de puntos de referencia none
Rango  
Contacto de relé  
Histéresis  
Capacidad del contacto  
Funciones digitales degas and emission
Interfaz (digital) (2) Diagnosis port
Control de emisiones manual
Filamento two Yttriumoxid (Y2O3) coated Iridium (Ir)
Estado / relé del filamento LED / relay
Conexión eléctrica D-Sub, 9-pin, male
Longitud del cable, máx. m (ft.) 100 (330)
Materiales expuestos al vacío Y2O3, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
Volumen interno KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
Peso KF / CF g 450 / 710
Grado de protección IP30

1) Precisión reducida durante la desgasificación

2) No se permite el uso simultáneo del bus de campo y de los controladores de las series RS232C o VGC40x

Número de referencia

BAG402
Número de referencia Descripción
353-600 BAG402 DSUB9 KF25
353-601 BAG402 DSUB9 CF40

Accesorios

BAG402
Número de referencia Descripción
303-333 Diagnostic cable 1.9m (P3)

Piezas de repuesto

BAG402
Número de referencia Descripción
354-484 Repuesto cabezal del sensor BAG402 DN 25 ISO-KF
354-485 Repuesto cabezal del sensor BAG402 DN 40 CF-R
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