Sensor ALD

PRECISIÓN ÓPTIMA, MÁXIMO TIEMPO DE ACTIVIDAD Y MÍNIMO MANTENIMIENTO PARA APLICACIONES ALD

Los sensores ALD de INFICON proporcionan a los sistemas de deposición de capa atómica (ALD) la repetitividad, la precisión y la durabilidad de las mediciones con microbalanzas de cristal de cuarzo (QCM). El sensor ALD puede soportar temperaturas de hasta 450ºC, y está concebido para funcionar en las condiciones extremas de una aplicación ALD. El electrodo expuesto del cristal está totalmente conectado a tierra, para eliminar de forma efectiva los posibles problemas de interferencias eléctricas.

Diseñado específicamente para ALD

Una característica única del sensor ALD de INFICON es el tubo de gas que se usa para purgar la parte posterior del cristal y la cavidad del sensor con un gas inerte, habitualmente nitrógeno. Esto evita que los gases reactivos de la cámara entren en la cabeza del sensor y mantiene la parte posterior del cristal y los contactos eléctricos sin materiales de deposición. Esta técnica permite mediciones in situ en sistemas para los que una QCM estándar no resulta adecuada.

Pasos y conexiones de pasos

Los sensores ALD de INFICON están disponibles en longitudes soldadas personalizadas o con conectores por compresión para longitudes ajustables sin necesidad de soldaduras. Todas las configuraciones usan un paso de brida de 2 ¾ pulgadas (CF40) ConFlat®.

Cristales de alta temperatura para mediciones más precisas

El sensor ALD de INFICON puede conseguir la mayor precisión de medición y un ruido de frecuencia más baja en aplicaciones de alta temperatura si se usa con los nuevos cristales de cuarzo de alta temperatura de INFICON. Estos cristales de alta temperatura están optimizados para aplicaciones de 120, 240 y 285°C, de modo que siempre dispondrá del cristal adecuado para su proceso. Igualmente, para otras temperaturas existen cristales optimizados disponibles. Si quiere consultarnos acerca de sus necesidades, póngase en contacto con INFICON.

Ventajas

  • Es compatible con la mayoría de temperaturas de proceso de ALD
  • Reduce el mantenimiento considerablemente
  • Maximiza el tiempo de actividad del sistema
  • Maximiza la precisión de las mediciones
  • Lecturas estables con bajo ruido a altas temperaturas del proceso

Características

  • Temperatura de funcionamiento hasta 450°C
  • Línea de purga de gas que mantiene la parte posterior del cristal sin materiales de deposición
  • Brida Conflat (CF40) soldada opcional
  • Conectores por compresión con junta tórica opcionales
  • Se dispone de cristales para altas temperaturas

Aplicaciones típicas

  • Deposición de capa atómica (ALD)
ALD PN.png

Accesorios

Número de referencia Descripción
750-1058-G10 Paquete de 10 cristales con electrodo de oro de 6 MHz y 14 mm (0,55 pulgadas), optimizados para 120 °C
750-1059-G10 Paquete de 10 cristales con electrodo de oro de 6 MHz y 14 mm (0,55 pulgadas), optimizados para 240 °C
750-1060-G10 Paquete de 10 cristales con electrodo de oro de 6 MHz y 14 mm (0,55 pulgadas), optimizados para 285 °C

Consumibles

Nombre Descripción
Cristales de cuarzo de monitor Cristales de cuarzo de monitor

Piezas de repuesto

Número de referencia Descripción
007-007 Resorte de retención (para el soporte de cristal)
007-064 Ceramic Retainer, Bakeable Sensor
007-094 Clamping Sring, UHV Bakeable Sensor
007-095 Handle, UHV Bakeable Sensor
007-098 Conector hembra (incluye virola y tuerca)
007-099 Head Contact, UHV Bakeable Sensor
007-100 High Temperature BNC Insulator
007-103 Insulator, UHV Bakeable Sensor
007-104 High Temperature BNC Body, Bakeable
007-147 Vented Screw, 4-40 x 3/8 in.
007-228 SPEC,4-40 X 5/8 VENTED SHC SC
007-267-P2 Spreader Bar, UHV Bakeable Sensor
007-268-P1 Shoulder Washer, UHV Bakeable Sensor
007-269-P1 Shoulder Washer, UHV Bakeable Sensor
070-201 #4 SPLIT LOCKWASHER SS
084-069-P1 SCREW 4-40 x .187 LG PHIL FLAT HD SS
750-018-P3 SPLIT CLAMP {THD} {CLEAN} @
750-018-P5 SPLIT CLAMP {CLEAN} @
750-218-G1 Crystal Holder, Bakeable Sensor
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