XTC/3-Dünnschichtabscheidungs-Controller

Fortschrittliche, erschwingliche Ratensteuerung für Einfach- oder Mehrfachschichten

Sie erhalten jetzt sämtliche Funktionen, die Sie benötigen in einem einzigen Dünnschichtabscheidungs-Controller für Prozesse mit Einfach- oder Mehrfachschichten. Der XTC/3 mit patentiertem ModeLock bietet bewährte, modensprungfreie und gleichbleibende Qualität. Mit dem XTC/3-Dünnschichtabscheidungs-Controller erhalten Sie präzise Kontrolle über Abscheidungsraten und -dicke, die Kapazität für eine beliebige Anzahl von Schichten, eine einfache Installation sowie eine extrem hohe Zuverlässigkeit, die Ihre Produktivität garantiert.

INFICON, der globale Marktführer im Bereich der Dünnschichtabscheidungs-Steuerung, bietet nun ein Instrument mit erstaunlich niedrigen Betriebskosten und außergewöhnlichem Wert an.

Egal, ob Sie eine Steuerung für die Produktion oder Forschung und Entwicklung benötigen – der INFICON XTC/3 erfüllt Ihre Anforderungen.

Weltweiter INFICON-Support

Wir garantieren schnelle Antwortzeiten, aufmerksamen Service und maximale Betriebszeiten, unabhängig von Ihrem Standort. INFICON verfügt über internationale Geschäftsstellen und ist der einzige Hersteller von Dünnschichtabscheidungs-Controllern, der weltweit lokalen Service und technischen Support bietet.

Merkmale

  • Erhältlich in Modellen für Einfach- oder Mehrfachschichten
  • Patentierte ModeLock-Technologie verhindert Schichtdickenfehler aufgrund von Modensprüngen
  • Unterstützt INFICON Crystal 12®, Crystal Six® und automatische Dualsensor-Kristallumschaltung für maximale Produktivität
  • Das XTC/3M-Modell für Mehrfachschichten unterstützt bis zu 99 Prozesse, 999 Ebenen, 32 Schichten, 2 Sensoren und 2 Quellen
  • Das XTC/3S-Modell für eine Ebene unterstützt bist zu 9 Schichten, 2 Sensoren und 2 Quellen
  • Übersichtliche TFT-LCD-Grafikanzeigen
  • Schichten und Prozessen können eindeutige, aussagekräftige Namen zugewiesen werden, um das Abrufen der Daten zu erleichtern
  • Ethernetverbindung erhältlich
  • Freistehend (kein Computer erforderlich) oder optionale Windows®-Software für PC-Betrieb
  • Plug-and-Play-Austausch für INFICON XTC/2-Controller (beschränkt auf XTC/2-Funktionen und Befehlssatz)

Typische Anwendungen

  • Hochwertige optische Beschichtungen

Nachrichten

Die Frontplatte des XTC/3 wurde zur Übereinstimmung mit INFICONs neuen
Firmenstandards

neu gestaltet.
Der XTC/3M ist das erste Dünnschichtprodukt mit diesem neuen Design, das bei unseren neuen Produkten verwendet wird. Die Ausführung mit dem neuem Frontpaneel des XTC/3S ist ab Ende 2013 erhältlich. Frontpaneele für andere Dünnschichtprodukte werden 2014 und 2015 aktualisiert.

Technische Daten

Typ XTC3/S XTC3/M
Frequenzauflösung ±0.028 Hz @ 6 MHz
±0.028 Hz @ 6 MHz
Messfrequenzbereich 6.0 to 5.0 MHz (fixed) 6.0 to 5.0 MHz (fixed)
Messintervall 0.25 seconds 0.25 seconds
Auflösung/Messung von Dicke und Abscheidungsrate (1) ±0.034 Å ±0.034 Å
Messtechnik ModeLock ModeLock
Anzahl der Prozesse 1 99
Anzahl der Schichten 1 999
Anzahl der Materialprogramme (oder Schichten) 9 32
Anzahl der Sensoreingänge 2 2
CrystalSix / Crystal 12 Sensorträger Yes Yes
Support XTAL 2 Switch Yes Yes
Anzahl der Quellenausgänge 2 2
Computerkommunikation RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional
Max. RS232-Baudrate 115.2 KBaud 115.2 KBaud
Automatischer Kristallwechsel Yes Yes
Anzahl der Relais 12, Not Event Assignable 12, Event Assignable
Anzahl programmierbarer Relaisfunktionen 1 1
Funktionen pro Relais 1 1
Relais-Nennspannung 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps
Anzahl der Eingänge 8 TTL, 24VDC Max 8 TTL, 24VDC Max
Anzahl programmierbarer Eingangsfunktionen 1, Not Event Assignable 1, Event Assignable
Anzahl der Schreiberausgänge 1 1
Manuelle Kraftanwendung / Handgehaltener Controller Yes Yes
Abgasgebläse No Exhaust Fan No Exhaust Fan
Prüfmodus Yes Yes
Verschlussverzögerung Yes Yes
Sekundärwerkzeuge Yes Yes
Gehäuseabmessungen half rack, 2U high half rack, 2U high
Auflösung der Raten- und Dickenanzeige 0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A 0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A
Schichtauswahl über Eingänge Yes No
Sprachen des Benutzerhandbuchs English, Chinese English, Chinese
Regelkreise PID PID
Software für PC-seitige Bedienung Yes Yes
Messwerterfassung Yes Yes
Qualität und Stabilitätsfunktion Yes Yes
„Sample-and-Hold“ (RateWatcher™) Yes Yes
Tiegelauswahl Yes Yes
Tiegel-Rückkopplungseingang Yes Yes
Polarität der Steuerspannung wählen Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution
Programmsperrcode Yes Yes
Anzeige mit Grafiken Yes Yes
Benutzergekennzeichnete Prozesse (alphanumerische Eingabe wie beim Handy) No No
Benutzergekennzeichnete Schichten (alphanumerische Eingabe wie beim Handy) No No
Sensorsteuerung übertragen Yes Yes
XTC/2 RS232 Kommunikationsverträglichkeit Yes (limited) Yes (limited)

(1) Tooling-Faktor/Dichte = 100/1, Grundfrequenz = 6 MHz

XTC3M-S_OrderChart_2013_web-01.png

Zubehör

Name Beschreibung
Einfach-Sensor mit Frontbeladung Einfach-Sensor mit Frontbeladung
Dual-Sensor mit Frontbeladung Dual-Sensor mit Frontbeladung
Cool Drawer-Single-Sensor Cool Drawer-Single-Sensor
Cool Drawer Dual-Sensor Cool Drawer Dual-Sensor
Niederprofil-Dualsensor Niederprofil-Dualsensor
Ausheizbarer UHV-Sensor Ausheizbarer UHV-Sensor
Sputtersensor Sputtersensor
CrystalSix®-Sensor CrystalSix®-Sensor
Crystal 12®-Sensor Crystal 12®-Sensor
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor
RSH-600-Drehsensor RSH-600-Drehsensor
Teilenummer Produktbeschreibung
780-700-G1 Ethernet Computer-Kommunikationsmodul
755-262-G1 Handgehaltener Leistungssteller (zur manuellen Leistungssteuerung)
780-702-G1 Kit zur Rack-Montage einer Einheit – Enthält alle zur Montage einer XTC/3-Einheit in einem standardmäßigen 19-Zoll-Rack benötigten Materialien
780-702-G2 Kit zur Rack-Montage von zwei Einheiten – Enthält alle zur Montage von zwei XTC/3-Einheiten nebeneinander in einem standardmäßigen 19-Zoll-Rack benötigten Materialien
780-032-G1 XTC/3M oder XTC/3S Editor / Monitor-Software, auf CD
780-038-G1 XTC/3M oder XTC/3S Kommunikationsbibliothek (DLL) auf CD
779-220-G1 CrystalTwo Schalter, 15,2 cm (6 Zoll) BNC-Kabel
779-220-G2 CrystalTwo Schalter, 50,8 cm (20 Zoll) BNC-Kabel
Oscillator kits (Oszillator und Kabel im Lieferumfang eingeschlossen)
780-611-G15 XIU-PKG mit 4,6 m Kabel – Zur Verwendung mit XTC/3
780-611-G30 XIU-PKG mit 9,1 m Kabel – Zur Verwendung mit XTC/3
780-611-G50 XIU-PKG mit 15,2 m Kabel – Zur Verwendung mit XTC/3
780-611-G100 XIU-PKG mit 30,5 m Kabel – Zur Verwendung mit XTC/3
780-612-G15 4-m-XIU-PKG mit 4,6 m XIU-Kabel – Inkl. 4-m-In-vacuo-Kabel und 6-Zoll-BNC-Kabel (XIU an Durchführung) – Zur Verwendung mit XTC/3
780-612-G30 4-m-XIU-PKG mit 9,1 m XIU-Kabel – Inkl. 4-m-In-vacuo-Kabel und 6-Zoll-BNC-Kabel (XIU an Durchführung) – Zur Verwendung mit XTC/3
780-612-G50 4-m-XIU-PKG mit 15,2 m XIU-Kabel – Inkl. 4-m-In-vacuo-Kabel und 6-Zoll-BNC-Kabel (XIU an Durchführung) – Zur Verwendung mit XTC/3
780-612-G100 4-m-XIU-PKG mit 30,5 m XIU-Kabel – Inkl. 4-m-In-vacuo-Kabel und 6-Zoll-BNC-Kabel (XIU an Durchführung) – Zur Verwendung mit XTC/3
780-613-G15 4-m-XIU-PKG mit 4,6 m XIU-Kabel – Inkl. 3,5-m-In-vacuo-Kabel und 20-Zoll-BNC-Kabel (XIU an Durchführung) – Zur Verwendung mit XTC/3
780-613-G30 4-m-XIU-PKG mit 9,1 m XIU-Kabel – Inkl. 3,5-m-In-vacuo-Kabel und 20-Zoll-BNC-Kabel (XIU an Durchführung) – Zur Verwendung mit XTC/3
780-613-G50 4-m-XIU-PKG mit 15,2 m XIU-Kabel – Inkl. 3,5-m-In-vacuo-Kabel und 20-Zoll-BNC-Kabel (XIU an Durchführung) – Zur Verwendung mit XTC/3
780-613-G100 4-m-XIU-PKG mit 30,5 m XIU-Kabel – Inkl. 3,5-m-In-vacuo-Kabel und 20-Zoll-BNC-Kabel (XIU an Durchführung) – Zur Verwendung mit XTC/3
Oscillator Only (Kabel nicht eingeschlossen)
780-600-G1 XTC/3 XIU (Oszillator) - Für Kabellängen zwischen XIU und Sensorkopf von 15 cm bis 183 cm
780-600-G2 XTC/3 XIU (Oszillator) - Für Kabellängen zwischen XIU und Sensorkopf von 3 m bis 4 m
Cables
755-257-G6 15,2-cm-BNC-Kabel, XIU an Vakuumdurchführung
600-1261-P15 4,6-m-Kabel, Cygnus 2, IC6 oder XTC/3 Controller an XIU
600-1261-P30 9,1-m-Kabel, Cygnus 2, IC6 oder XTC/3 Controller an XIU
600-1261-P50 15,2-m-Kabel, Cygnus 2, IC6 oder XTC/3 Controller an XIU
600-1261-P100 30,5-m-Kabel, Cygnus 2, IC6 oder XTC/3 Controller an XIU

Verbrauchsmaterialien

Name Beschreibung
Quarzmonitorkristalle Quarzmonitorkristalle
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