UL3000 Fab ULTRA (***NEU***)

und UL3000 Fab Mobiles Helium Dichtheitsprüfgerät

 

ULTRATEST™ sensor technology

 

Für die schnelle Wartung und maximale Standzeit von Halbleiteranlagen 

 

Keine Fehler bei der Wartung Ihrer Prozessanlagen. Mit der neuesten smarten Generation unserer erfolgreichen UL-Serie verkürzen Sie die Wartung ihrer Prozessanlagen - und dies sicherer als je zuvor.

 

Vorteile des UL3000 FAB ULTRA (NEU):

 

  • Schnelle Abpumpzeiten durch größeres Saugvermögen der Klauenpumpe 
  • Reduzierte Betriebskosten (TCO) durch die "quasi" wartungsfreie Klauenpumpe
  • Schnellerer Beginn mit der Dichtheitsprüfung: HYDRO·S eliminiert den Wasseranteil des Untergrundes im Signal und ermöglicht so ein schnelles Erreichen eines niedrigen Untergrundes für hohe Sensitivität.
  • Der UL3000 Fab ULTRA bietet auch eine verbesserte Schnüffelfähigkeit durch die Verwendung der bewährten Schnüffelleitung SL3000, die bis zu 10 m lang bestellt werden kann. Die SL3000 hat einen separaten Anschluss, so dass keine Verbindung zum Vakuumeinlass erforderlich ist.

Ihre Prozessausrüstung bleibt während der Dichtheitsprüfung frei von Verunreinigungen.

 

Alle Lecks werden zuverlässig erkannt. Nach der Wartung wird der zeitintensive Druckanstiegstest sicher bestanden.

 

Das Helium-Dichtheitsprüfgerät UL3000 Fab ULTRA ist für alle Anwendungen konzipiert, bei denen es auf Robustheit und höchste Reinheit ankommt, wie zum Beispiel bei Wartungs- oder Produktionsvorgängen von Halbleiterproduktionsanlagen in Reinräumen.

 

Specifications

UL3000 Fab

UL3000 Fab ULTRA

Min. nachweisbare Leckrate für Helium (Vakuumbetrieb) <5 x 10-12 mbar l/s
Kleinste nachweisbare Leckrate für Helium (Schnüffelbetrieb)<5 x 10-8 mbar l/s
Max. Einlassdruck (MASSIVE Modus)1000 mbar
Luftsaugvermögen (Abpumpen)>32 m³/h >36 m³/h
Helium Saugvermögen ULTRA Modus4 l/s
Ansprechzeit<1 s
Zeit bis zur Betriebsbereitschaft<3 min
Nachweisbare Massen (ULTRATEST Sensor Technology)2, 3, 4 (H2, 3He, He)
Ionenquelle 2 Filamente, Iridium/Yttriaoxid beschichtet
AnschlussflanschDN 25 KF
Einstellbare Trigger4
Schnittstellen2 x USB, Ethernet / LAN
Versorgungsspannung100 to 240 V 50/60 Hz (AC)
Leistungsbedarftyp. 700 VA, max. 1500 VA
Abmessungen (L x W x H) 1050 x 472 x 987 mm (42 x 21 x 34 in.)
Gewicht118 kg 132 kg
Zulässige Umgebungstemperatur für den Betrieb10 to 40 °C

UL3000 Fab ULTRA Zusatzeigenschaften

-

HYDRO·S, separater Anschluss für Schnüffeleitung SL3000, Halter für Vakuumschlauch

Vorteile

  • Sparen Sie Zeit mit I-CAL, dem Software-Algorithmus für schnelle Messungen im Bereich von 10-9 bis 10-12 mbar-l/s
  • Effizienteste Dichtheitsprüfung mit I-ZERO 2.0 der verbesserter intelligente Abzug des Untergrundsignals für höhere Messempfindlichkeit
  • Anwendbar für Vakuum- und Schnüffellecksuche
  • Minimieren Sie den Aufwand für die Dichtheitsprüfung durch schnelle Evakuierung und Ansprechzeit
  • Zeitersparnis durch leichte Manövrierbarkeit durch schlankes Design
  • Niedrige Gesamtbetriebskosten (TCO) durch robuste Ionenquelle (3 Jahre Garantie) und Gegenstrom-Vakuumsystem
  • Benutzerfreundliches, bedienergeführtes HMI mit drehbarem, hochauflösendem Farbdisplay
  • UL3000 Fab ULTRA: Schnellerer Beginn mit der Dichtheitsprüfung: HYDRO·S eliminiert den Wasseranteil des Untergrundes im Signal und ermöglicht so ein schnelles Erreichen eines niedrigen Untergrundes für hohe Sensitivität.
  • UL3000 Fab ULTRA: Schnelle Abpumpzeiten durch größeres Saugvermögen der Klauenpumpe
  • UL3000 Fab ULTRA: Reduzierte Betriebskosten (TCO) durch die zuverlässige Klauenpumpe
  • UL3000 Fab ULTRA: The leak detector offers also an improved sniffer capability by using the well proven sniffer line SL3000 which has up to 10 m length. The SL3000 has a separate connection port, thus no connection to the vacuum inlet is required.

Typische Anwendungen

  • Halbleiterfertigung
  • Display/Bildschirmherstellung
  • Solarzellenproduktion
  • Glas und Folien (Rolle zu Rolle) Beschichtungen
  • Vakuumbeschichtungsanlagen und -anwendungen

Technische Daten

Typ UL3000 Fab / UL3000 Fab ULTRA (***NEW***)
Min. nachweisbare Leckrate für Helium (Vakuumbetrieb) mbar•L/s < 5 x 10-12
Kleinste nachweisbare Leckrate für Helium (Schnüffelbetrieb) mbar•L/s < 5 x 10-8
Max. Einlassdruck (MASSIVE Modus) mbar 1000
Luftsaugvermögen (Abpumpen) m³/h >32                          >36
Helium Saugvermögen ULTRA Modus L/s 4
Ansprechzeit s <1
Zeit bis zur Betriebsbereitschaft min <3
Nachweisbare Massen (ULTRATEST Sensor Technology) 2, 3, 4 (H2, 3He, He)
Kathoden Ionenquelle 2 filaments, iridium/yttria oxide coated
Anschlußflansch DN 25 KF
Einstellbare Trigger 4
Schnittstellen 2 x USB, Ethernet / LAN
Spannungsversorgung 100 to 240 V 50/60 Hz (AC)
Leistungsbedarf typ. 700 VA, max. 1500 VA
Abmessungen (L x W x H) 1050 x 472 x 987
Gewicht kg 118                           132
Zulässige Umgebungstemperatur für den Betrieb °C 10 to 40
Zusatzeigenschaften UL3000 Fab ULTRA Roots dry pump with highest air pumping speed, HYDRO·S, separate sniffer line port for SL3000, vacuum hose holder

Teilenummer

UL3000 Fab / UL3000 Fab ULTRA (***NEW***)
Teilenummer Produktbeschreibung
550-260 UL3000 Fab ULTRA
550-200 UL3000 Fab

Zubehör

UL3000 Fab / UL3000 Fab ULTRA (***NEW***)
Teilenummer Produktbeschreibung
551-015 Fernsteuerung RC1000WL, drahtlos, inkl. Funksender
551-010 Fernsteuerung RC1000C, kabelgebunden, mit 4 m langem Spiralkabel
551-202 Schlauchhalter zu UL3000 Fab (inkl. für ULTRA Version)
525-001 Leitung SL3000-3, 3 m Länge
525-002 Leitung SL3000-5, 5 m Länge
525-003 Leitung SL3000-10, 10 m Länge
551-203 Halterung für SL3000
551-201 Heliumflaschen-Halter
560-310 I/O 1000 Modul
560-315 BM1000 Profibus Modul
560-316 BM1000 PROFINET IO Modul
560-317 BM1000 DeviceNet Modul
560-318 BM1000 EtherNet/IP(TM) Modul
560-334 Datenkabel 0,5m I/O1000, BM10000
560-332 Datenkabel 2 m
560-335 Datenkabel 5 m
560-340 Datenkabel 10 m
551-005 Testkammer TC1000 zu UL1000
551-205 Verlängerungsk. für TC1000/SL200, UL3000

Verbrauchsmaterialien

UL3000 Fab / UL3000 Fab ULTRA (***NEW***)
Teilenummer Produktbeschreibung
200007656 Luftfilterset UL3 Gehäusebelüftung

Ersatzteile

UL3000 Fab / UL3000 Fab ULTRA (***NEW***)
Teilenummer Produktbeschreibung
200000683 Ersatzfilter (2 St.) für Flut- und Spülg
200000913 Auspuff-Filter UL1000
200001095 Ersatzteil-Flutfilter
200001680 Filterset 10Stk P3000/XLAdapter/T-Guard
200003801 Betriebsmittelspeicher HiPace 50/80
200007617 Einlassflansch UL3
200007624 Vakuumleitung DN25 UL3
200007631 TriScroll TS620 + Inverter UL3
200007653 Lüfter 4414N 24 V DC UL3
200007655 Lüfter 8314H 24 V DC UL3
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