Transpector® CPM 3 Kompaktprozessmonitor

 

SCHNELLES, BETRIEBSBEREITES SYSTEM ZUR PROZESSÜBERWACHUNG

 

Leistungsstärke, Zuverlässigkeit und Vielseitigkeit

 

Der Transpector CPM von INFICON ist seit mehr als 10 Jahren der marktführende Restgasanalysator (RGA) zur Prozessüberwachung in der Halbleiterindustrie. Der Transpector CPM 3 bietet jetzt branchenführende Messgeschwindigkeit und Messempfindlichkeit durch sein praxiserprobtes Pump- und Einlasssystem in Verbindung mit einem neuen Sensor und neuer Elektronik. Der Transpector CPM 3 ist der ideale RGA-Prozessmonitor für neue und etablierte Halbleiterprozesse wie ALD, CVD, PVD und Ätzen.


 

Der Transpector CPM 3 liefert unseren Partnern eine nachweislich höhere Investitionsrendite durch:

  • Branchenführende Messtechnik
  • Robuste und adaptive Architektur
  • Wartungsfreundlichkeit
  • Hervorragenden Produktsupport

Merkmale

  • Restgasanalysegerät für ALD, Ätzen, CVD und 300 mm Degas zur Prozessüberwachung und -analyse in Echtzeit
  • Betriebsbereit für ALD mit einer Messgeschwindigkeit von 1,8 ms pro Punkt (555 Punkte pro Sekunde)
  • Praxiserprobte Langlebigkeit und Zuverlässigkeit in anspruchsvollsten CVD- und Ätzanwendungen
  • Anwendungsintegration – In Verbindung mit der FabGuard-Software und den kompetenten Anwendungsexperten von INFICON wird der Transpector CPM zu einem leistungsstarken Werkzeug zur Prozessüberwachung und Diagnose
  • Seine kompakte Größe ermöglicht die einfache Integration in Anlagen zur Halbleiterfertigung
  • Hexblock™ mit bis zu drei Druckeingängen und reduzierter Oberfläche zur Minimierung von Oberflächenreaktionen und Ansprechzeiten
  • Kapazitätsmembran-Messgerät (CDG) – CDG ermöglicht die bedienerseitige Überwachung des Prozessdrucks und schützt das System automatisch vor Druckabweichungen
  • Automatische Kalibrierung – garantiert langfristige Datenstabilität und Genauigkeit zum Kammerabgleich individueller Sensoren und Geräte

Technische Daten

Typ 100 AMU CPM 200 AMU CPM 300 AMU CPM
Auflösung 1 amu wide @ 10% peak height 1 amu wide @ 10% peak height 1 amu wide @ 10% peak height
Totaldruckbereich¹ 5E-7 - 1E-3 Torr 5E-7 - 1E-3 Torr 5E-7 - 1E-3 Torr
Totaldruckgenauigkeit¹ +/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr +/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr +/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr
Maximaler Betriebsdruck der Ionenquelle³ 1E-3 Torr 1E-3 Torr 1E-3 Torr
Nomineller Betriebsdruck⁴ 2E-4 Torr 2E-4 Torr 2E-4 Torr
Systembetriebsdruck 1E-8 Torr - 1.2 atm 1E-8 Torr - 1.2 atm 1E-8 Torr - 1.2 atm
Empfindlichkeit (Niedrige Emission) > 4E-6 Amps/Torr > 2E-6 Amps/Torr > 1E-6 Amps/Torr
Empfindlichkeit (Hohe Emission) > 2E-5 Amps/Torr > 1E-5 Amps/Torr > 5E-6 Amps/Torr
Kleinster nachweisbarer Partialdruck⁵ 1E-13 Torr 2E-13 Torr 4E-13 Torr
Maximale Datenrate 1.8 ms/point (555 points/sec) 1.8 ms/point (555 points/sec) 1.8 ms/point (555 points/sec)
Mengenempfindlichkeit⁶ < 5 ppm < 10 ppm < 100 ppm
Zero Blast⁷ < 2 ppm < 25 ppm < 200 ppm
Nachweisgrenze⁸ < 1 ppm < 2 ppm < 4 ppm
Linearität⁹ +/- 20% +/- 20% +/- 20%
Kleinster Hintergrunddruck 1E-8 Torr 1E-8 Torr 1E-8 Torr
Maximale Sensor- und Einlasstemperatur °C 150 150 150

1 Ionenquellen-Druckanzeige bei niedriger Emission unter Verwendung der Totaldrucklinse

2 Totaldruckgenauigkeit bei niedriger Emission

3 Maximaler Betriebsdruck der Ionenquelle bei niedriger Emission

4 2x10-4 Torr in der Ionenquelle erzeugt etwa 1x10-5 Torr im Quadrupolbereich

5 MDPP an der Ionenquelle mit eingeschalteter EM und 1 Sek. Verweilzeit

6 Masse-40-Beitrag bei 41 AMU

7 Zero-Blast-Beitrag bei 2 AMU

8 Kleinste nachweisbare Konzentration mit Krypton in Luft bei einer Verweilzeit von 1 Sekunde

9 Für Blenden von 1 Torr oder weniger. Linearität bei geringer Emission 0,1 bis 2 mal so hoch wie der Blendennenndruck

Verbrauchsmaterialien

100 AMU CPM
Teilenummer Produktbeschreibung
059-0196 NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400 Ersatz-C-Ring
070-1042 O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1 CPM Replacement Diaphragm Kit
923-706-G10 30 Torr HexBlock-Öffnung (10,5 Mikron)
923-706-G3 10 Torr HexBlock-Öffnung (20 Mikron)
923-706-G4 1 Torr HexBlock-Öffnung (62 Mikron)
923-706-G6 10 Millitorr HexBlock-Öffnung (750 Mikron)
923-706-G7 360 Millitorr HexBlock-Öffnung (120 Mikron)
923-706-G8 15 Millitorr HexBlock-Öffnung (350 Mikron)
923-706-G9 3 Torr HexBlock-Öffnung (35 Mikron)
923-707-G1 10 Torr HexBlock-Schnüffler (Länge 5 cm)
923-707-G2 100 Torr HexBlock-Schnüffler (Länge 5 cm)
923-707-G3 7 Torr HexBlock-Schnüffler
961-707-G1 Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1 Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2 Filament Kit CPM Coated
964-711-G1 Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2 Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1 Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2 Ion Source Kit CPM Coated w/Liner
200 AMU CPM
Teilenummer Produktbeschreibung
059-0196 NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400 Ersatz-C-Ring
070-1042 O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1 CPM Replacement Diaphragm Kit
923-706-G10 30 Torr HexBlock-Öffnung (10,5 Mikron)
923-706-G3 10 Torr HexBlock-Öffnung (20 Mikron)
923-706-G4 1 Torr HexBlock-Öffnung (62 Mikron)
923-706-G6 10 Millitorr HexBlock-Öffnung (750 Mikron)
923-706-G7 360 Millitorr HexBlock-Öffnung (120 Mikron)
923-706-G8 15 Millitorr HexBlock-Öffnung (350 Mikron)
923-706-G9 3 Torr HexBlock-Öffnung (35 Mikron)
923-707-G1 10 Torr HexBlock-Schnüffler (Länge 5 cm)
923-707-G2 100 Torr HexBlock-Schnüffler (Länge 5 cm)
923-707-G3 7 Torr HexBlock-Schnüffler
961-707-G1 Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1 Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2 Filament Kit CPM Coated
964-711-G1 Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2 Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1 Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2 Ion Source Kit CPM Coated w/Liner
300 AMU CPM
Teilenummer Produktbeschreibung
059-0196 NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400 Ersatz-C-Ring
070-1042 O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1 CPM Replacement Diaphragm Kit
923-706-G10 30 Torr HexBlock-Öffnung (10,5 Mikron)
923-706-G3 10 Torr HexBlock-Öffnung (20 Mikron)
923-706-G4 1 Torr HexBlock-Öffnung (62 Mikron)
923-706-G6 10 Millitorr HexBlock-Öffnung (750 Mikron)
923-706-G7 360 Millitorr HexBlock-Öffnung (120 Mikron)
923-706-G8 15 Millitorr HexBlock-Öffnung (350 Mikron)
923-706-G9 3 Torr HexBlock-Öffnung (35 Mikron)
923-707-G1 10 Torr HexBlock-Schnüffler (Länge 5 cm)
923-707-G2 100 Torr HexBlock-Schnüffler (Länge 5 cm)
923-707-G3 7 Torr HexBlock-Schnüffler
961-707-G1 Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1 Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2 Filament Kit CPM Coated
964-711-G1 Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2 Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1 Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2 Ion Source Kit CPM Coated w/Liner

Ersatzteile

100 AMU CPM
Teilenummer Produktbeschreibung
032-0079 Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400 Ersatz-C-Ring
915-724-G1 Packung mit drei Auskleidungen (nur zur Verwendung mit Ionenquelle mit Auskleidung)
922-204-G1 Kapillarrohrbaugruppe – 1,5 m
922-204-G3 Kapillarrohrbaugruppe – 3 m
923-403-P2 Ventilcontroller für Verteilerbaugruppe
923-417-G1 Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1 Werkzeuge zum Austausch der HexBlock-Öffnung
923-711-G1 Kit zum Austausch des HexBlock-Ventils
923-712-G1 Ersatzdichtung für HexBlock-Öffnung (Packung à 5)
923-723-G2 2 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12 CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13 CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1 CPM Cable Box Assembly
964-403-P1 CPM Manifold Heater
964-603-G2 CPM Controller Box
964-720-G1 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2 CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3 CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable
200 AMU CPM
Teilenummer Produktbeschreibung
032-0079 Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400 Ersatz-C-Ring
915-724-G1 Packung mit drei Auskleidungen (nur zur Verwendung mit Ionenquelle mit Auskleidung)
922-204-G1 Kapillarrohrbaugruppe – 1,5 m
922-204-G3 Kapillarrohrbaugruppe – 3 m
923-403-P2 Ventilcontroller für Verteilerbaugruppe
923-417-G1 Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1 Werkzeuge zum Austausch der HexBlock-Öffnung
923-711-G1 Kit zum Austausch des HexBlock-Ventils
923-712-G1 Ersatzdichtung für HexBlock-Öffnung (Packung à 5)
923-723-G2 2 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12 CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13 CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1 CPM Cable Box Assembly
964-403-P1 CPM Manifold Heater
964-603-G2 CPM Controller Box
964-720-G1 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2 CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3 CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable
300 AMU CPM
Teilenummer Produktbeschreibung
032-0079 Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400 Ersatz-C-Ring
915-724-G1 Packung mit drei Auskleidungen (nur zur Verwendung mit Ionenquelle mit Auskleidung)
922-204-G1 Kapillarrohrbaugruppe – 1,5 m
922-204-G3 Kapillarrohrbaugruppe – 3 m
923-403-P2 Ventilcontroller für Verteilerbaugruppe
923-417-G1 Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1 Werkzeuge zum Austausch der HexBlock-Öffnung
923-711-G1 Kit zum Austausch des HexBlock-Ventils
923-712-G1 Ersatzdichtung für HexBlock-Öffnung (Packung à 5)
923-723-G2 2 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12 CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13 CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1 CPM Cable Box Assembly
964-403-P1 CPM Manifold Heater
964-603-G2 CPM Controller Box
964-720-G1 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2 CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3 CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable
An einen Bekannten senden