Stripe™ CDG100Dhs 0,1 ... 1000Torr / mbar

 

Stripe™-Hochgeschwindigkeits-Kapazitätsmembran-Messgeräte von INFICON sind die schnellsten hochgenauen Vakuummessgeräte auf dem Markt. Mit Ansprechzeiten von weniger als 2 ms eröffnen sich in Verbindung mit der EtherCAT-Feldbus-Schnittstelle vollständig neue Anwendungsmöglichkeiten. Der bewährte, temperaturgesteuerte, korrosionsbeständige und ultrareine Keramiksensor bietet hervorragende Messbereichsstabilität über viele Jahre sowie modernste Nullpunktstabilität. Das Stripe-Messgerät wird mit INFICONs patentierter Sensorabschirmung geliefert, die das Gerät vor unerwünschten Prozessnebenprodukten schützt. Das INFICON Stripe nutzt ein innovatives Heizkonzept, dass eine berührbare Außenfläche garantiert. Die hohe Geschwindigkeit ermöglicht eine beispiellose Produktivitätssteigerung, die es zum fortschrittlichsten Vakuumgerät seiner Art macht.

Vorteile

  • Hohe Produktivität – Ansprechzeit unter 2 ms
  • Flexible Integration – EtherCAT-Feldbus
  • Lange Lebensdauer – Bewährter Keramiksensor
  • Nachkalibrierung praktisch eliminiert – Vollskalenstabilität von 90ppm/Jahr

Typische Anwendungen

  • Atomlagenabscheidung
  • Hochgeschwindigkeits-Prozesskontrolle
  • PVD, CVD, Ätzen
  • Allgemeine Hochtemperatur-Vakuumanwendungen
  • Stripe_MB.gif

Technische Daten

Typ 1000 ... 500 Torr / mbar 200 ... 1 Torr / mbar 0.5 ... 0.1 Torr / mbar
Genauigkeit (1) % of reading 0.2 0.2 0.4
Temperatureinfluss      
auf Nullpunkt percent FS/°C 0.0025 0.0025 0.005
auf Bereich % of reading / °C 0.02 0.02 0.02
Druck, max. kPa (absolute) 400 260 130
Auflösung percent FS 0.003 0.003 0.003
Niedrigster messbarer Druck percent FS 0.01 0.01 0.01
Niedrigster empfohlener Messdruck percent FS 0.05 0.05 0.05
Niedrigster empfohlener Steuerdruck percent FS 0.5 0.5 0.5
Temperatur      
Betrieb (Umgebung) °C +10 … +50 +10 … +50 +10 … +50
Ausheizen am Flansch °C ≤110 ≤110 ≤110
Lagerung °C –20 … +85 –20 … +85 –20 … +85
Versorgungsspannung +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
Leistungsaufnahme      
Während Aufheizphase W ≤16 ≤16 ≤16
Bei Betriebstemperatur W ≤11 ≤11 ≤11
Ausgangssignal (analog) V (dc) 0 … +10 0 … +10 0 … +10
Ansprechzeit (2) ms 2 2 2
Schutzart IP 30 IP 30 IP 30
Normen      
CE-Konformität EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL-Zertifizierung UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI-Einhaltung SEMI S2 SEMI S2 SEMI S2
Elektrischer Anschluss D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
Schaltpunkt      
Anzahl Schaltpunkte 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
Relaiskontakt ≤30 ≤30 ≤30
Hysterese percent FS 1 1 1
Diagnostik-Port      
Protokoll USB USB USB
Lesen pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
Einstellen set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
Inneres Volumen      
Inneres Volumen 1/2'' Rohr cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Inneres Volumen DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Inneres Volumen DN 16 CF-R cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Inneres Volumen 8 VCR® cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Gewicht      
Gewicht 1/2'' Rohr g 837 837 837
Gewicht DN 16 ISO KF g 852 852 852
Gewicht DN 16 CF-R g 875 875 875
Gewicht 8 VCR® g 897 897 897
EtherCAT      
Protokoll EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
Kommunikationsstandards ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge
Knotenpunktadresse Explicit Device Identification Explicit Device Identification Explicit Device Identification
Physikalische Schicht 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Digitale Funktionen gelesen pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
Digitaler Funktionssatz set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
Prozessdaten Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
Mailbox (CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
EtherCAT-Stecker RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
Kabel shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
Kabellänge m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330) ≤100 (330)
(1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb.(2) Anstieg 10 ... 90 % des Skalenendwerts
CDG100Dhs Stripe PIM Ordering Information.png
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