STM-2XM-Zweikanal-Dünnschichtabscheidungsrate/-dicke-Monitor

EINFACHE BEDIENUNG FÜR VIELE ANWENDUNGEN

STM-2XM ist ein Zweikanal-Abscheidungsrate/Dicke-Monitor, der hohe Genauigkeit mit flexibler Programmierung und einfacher Bedienung zu einem kostengünstigen Preis vereint.

Der STM-2XM verfügt über fünf Bedienungsmodi für einfache bis komplexe Prozesse.  So wird z. B. der Modus Einfach (Simple) zur Überwachung eines einzelnen Sensors für den einfachsten Prozess verwendet, während der Modus Legierung (Alloy) zur Überwachung der Koabscheidung verwendet werden kann. Der Modus Unabhängig (Independent) lässt den STM-2XM wie zwei vollständig unabhängige Monitore arbeiten.

Zwei Sensoreingänge ermöglichen die Verwendung von zwei Einzel-Quarzkristallsensoren oder von einem Dual-Quarzkristallsensor. Pro Sekunde werden 10 Messungen durchgeführt, wobei eine Auflösung von 0,037 Å pro Messung erzielt wird (Dichte von 1).

FUNKTIONSREICH

Der STM-2XM hat acht (8) programmierbare Digitaleingänge, acht (8) programmierbare Digitalausgänge und vier (4) Analogausgänge, die ein Maß an Integration ermöglichen, das normalerweise teureren Geräten vorbehalten ist.

Programmierbare Funktionen umfassen Verschlussverzögerung, Zeit-/Leistungsüberwachung und Stichprobenahme der Abscheidungsrate. Durch gemeinsame Verwendung all dieser Funktionen lassen sich die genauesten Ergebnisse und die längste Kristalllebensdauer erzielen.

Der STM-2XM kann über die einfache Frontpaneelschnittstelle oder über die im Lieferumfang enthaltene LabVIEW®-Software bedient werden. Diese einfache Software ist voll funktionsfähig und benutzerfreundlich.

BENUTZERFREUNDLICH

Der STM-2XM besitzt eine kontraststarke LCD-Anzeige und ein intuitives Menüsystem. Die Menüs enthalten auf dem Bildschirm angezeigte Hinweise zur einfachen menügeführten Programmierung und Bedienung. Das leicht abzulesende LCD kann die akkumulierte Masse oder Dicke anzeigen.

Merkmale

  • Zwei Messkanäle
  • Vier Analogausgänge für Rate, Ratenabweichung oder Dicke
  • Acht programmierbare Digitaleingänge
  • Acht programmierbare Digitalausgänge
  • Hohe Genauigkeit bei 10 Messungen pro Sekunde
  • Zeigt Masse oder Dicke an
  • Fähigkeit zur Überwachung von Koabscheidung

Typische Anwendungen

  • Überwachung mit Einzel- bzw. Dualsensor
  • Koabscheidungsüberwachung

Technische Daten

Typ STM-2XM
Kompatible Sensoren Single/shuttered single or dual QCM sensor
Sensoreingänge Two
Messfrequenzbereich 6.0 to 5.0 MHz (fixed)
Frequenzauflösung ±0.03 MHz at 6 MHz
Stabilität der Referenzfrequenz ±2 ppm
Auflösung/Messung von Dicke und Abscheidungsrate ±0.037 Å @ tooling/density = 100/1, fundamental frequency = 6 MHz
Messintervall 0.10 s
Gespeicherte Schichten 15
Displaymodus Thickness/Mass
Digitaleingänge Eight
Digitalausgänge Eight
Analogausgänge Four
Analogausgangsleistung 0 to +/-10 V, 10 mA
Relaisleistung Up to 48 V (dc) • V (ac), 2A
Leistungsbedarf 120/240, 50/60 Hz, 2.5 VA

Teilenummer

STM-2XM
Teilenummer Produktbeschreibung
STM-2XM-G1 STM-2XM-Monitor, US-Netzkabel
STM-2XM-G2 STM-2XM-Monitor, Europäisches Netzkabel

Zubehör

Name Beschreibung
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor
Einfach-Sensor mit Frontbeladung Einfach-Sensor mit Frontbeladung
Dual-Sensor mit Frontbeladung Dual-Sensor mit Frontbeladung
Cool Drawer-Single-Sensor Cool Drawer-Single-Sensor
Cool Drawer Dual-Sensor Cool Drawer Dual-Sensor
Niederprofil-Dualsensor Niederprofil-Dualsensor
Ausheizbarer UHV-Sensor Ausheizbarer UHV-Sensor
ALD-Sensor ALD-Sensor
Sputtersensor Sputtersensor
Teilenummer Produktbeschreibung
783-014-008 Rackmontagesatz – Zur Montage eines STM-2XM-Instruments in einem 48,3-cm (19 Zoll)-Rack
783-014-009 Dual-Rackmontagesatz - Zur Montage von zwei STM-2XM-Instrumenten in einem 48,3-cm (19 Zoll)-Rack
Oscillator kits (Oszillator und Kabel im Lieferumfang eingeschlossen)
783-500-109-10 3-m-Oszillatorkit - inkl. OSC-100-Oszillator, 6 Zoll(15 cm)-BNC-Kabel und 3-m-BNC-Kabel
783-500-109-25 7,6-m-Oszillatorkit - inkl. OSC-100-Oszillator, 6 Zoll(15 cm)-BNC-Kabel und 7,6-m-BNC-Kabel
783-500-109-50 15,2-m-Oszillatorkit - inkl. OSC-100-Oszillator, 6 Zoll(15 cm)-BNC-Kabel und 15,2-m-BNC-Kabel
783-500-109-75 22,8-m-Oszillatorkit - inkl. OSC-100-Oszillator, 6 Zoll(15 cm)-BNC-Kabel und 22,8-m-BNC-Kabel
Oscillator Only (Kabel nicht eingeschlossen)
783-500-013 Nur OSC-100-Oszillator (ohne Kabel)
Cables
782-902-011 6-Zoll(15 cm)-BNC-Kabel, Stecker/Steckbuchse
782-902-012-10 3-m-BNC-Kabel, Stecker/Stecker
782-902-012-25 7,6-m-BNC-Kabel, Stecker/Stecker
782-902-012-50 15,2-m-BNC-Kabel, Stecker/Stecker
782-902-012-75 22,8-m-BNC-Kabel, Stecker/Stecker

Verbrauchsmaterialien

Name Beschreibung
Quarzmonitorkristalle Quarzmonitorkristalle
An einen Bekannten senden


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