STM-2-USB-Dünnschichtabscheidungsrate/-dicke-Monitor

KLEIN IM FORMAT UND IM PREIS, GROSS IN DER LEISTUNG

Der STM-2 vereint die Einfachheit der USB-Konnektivität mit der Genauigkeit eines Präzisionsmessprogramms, und all das in einer kompakten, kostengünstigen Einheit. Die Größe und Einfachheit des STM-2 machen Einrichtung und Betrieb einfach und effizient.

HERVORRAGENDE LEISTUNG

Der STM-2 ist der branchenweit genaueste USB-Dünnschichtmonitor. Pro Sekunde werden 10 Messungen durchgeführt, wobei eine Auflösung von 0,037 Å pro Messung erzielt wird (Dichte von 1).

EINFACHE UND FLEXIBLE INSTALLATION

Der Lieferumfang des STM-2 enthält alles, was Sie zum Anschluss Ihres QCM-Sensors bzw. Ihrer Durchführung an einen Windows® PC benötigen. Verbinden Sie einfach die Durchführung und den STM-2 mithilfe des mitgelieferten BNC-Kabels und schließen Sie dann den STM-2 mithilfe eines standardmäßigen USB-Kabels (im Lieferumfang eingeschlossen) an Ihren PC an. Ein externer Oszillator oder eine externe Stromversorgung sind nicht erforderlich.

Der STM-2 besitzt einen internen Oszillator, der eine einfache und kostengünstige Installation ermöglicht, wenn der STM-2 nicht weiter als 1 m vom Quarzkristall entfernt aufgestellt ist. Bei Anwendungen, in denen der STM-2 weiter entfernt von der Durchführung aufgestellt werden muss, kann ein standardmäßiges Oszillator-Kit von INFICON verwendet werden.

STM-2-SOFTWARE

Der STM-2 enthält die LabVIEW®-Software zur einfachen Gerätebedienung und Messwerterfassung. Windows-Software zur Bedienung und Messwerterfassung von bis zu acht STM-2-Monitoren gleichzeitig ist ebenfalls eingeschlossen (jeder STM-2 erfordert einen USB-Anschluss mit Stromversorgung).


Bitte beachten Sie: Der SMDP-Server muss für die STM-2 Windows Anwendungssoftware oder die STM-2 LabVIEW Anwendungssoftware installiert werden, um ordnungsgemäß zu funktionieren.

Merkmale

  • Kostengünstiges Instrument
  • USB-Anschluss
  • Interner Oszillator
  • Hohe Genauigkeit bei 10 Messungen pro Sekunde
  • Mit externem Oszillator kompatibel
  • Inklusive Software

Technische Daten

Typ STM-2
Sensoreingänge One
Kompatible Sensoren Non-shuttered single QCM sensor
Sensoreingang Female BNC
Messfrequenzbereich 6.0 to 5.0 MHz (fixed)
Frequenzauflösung ±0.03 Hz at 6 MHz
Messintervall 0.10 s
Stabilität der Referenzfrequenz ±2 ppm
Auflösung/Messung von Dicke und Abscheidungsrate ±0.037 Å @ tooling/density = 100/1, fundamental frequency = 6 MHz
Auflösung der Dickenanzeige 1 Å (display on software only)
Schnittstelle USB v1.1 or later capable of providing 400 mA, 5 V (dc)
Größe 11.4 x 7.5 x 2.5 cm (4.5 x 3 x 1 in.)
Gewicht 57 g (2 oz.)
Computeranforderungen Any PC running Windows 2000, XP, Vista, 7, or 8 with one available USB 1.1 (or later) port for each STM-2

Teilenummer

STM-2
Teilenummer Produktbeschreibung
STM-2 STM-2-USB-Dünnschichtabscheidungsrate/-dicke-Monitor

Zubehör

Name Beschreibung
Einfach-Sensor mit Frontbeladung Einfach-Sensor mit Frontbeladung
Cool Drawer-Single-Sensor Cool Drawer-Single-Sensor
Ausheizbarer UHV-Sensor Ausheizbarer UHV-Sensor
ALD-Sensor ALD-Sensor
Sputtersensor Sputtersensor
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor

Verbrauchsmaterialien

Name Beschreibung
Quarzmonitorkristalle Quarzmonitorkristalle
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