SQM-160-Dünnschichtabscheidungs-Monitor

Das SQM-160 verwendet bewährte Quarzkristall-Sensortechnik von INFICON, um Raten und Dicke bei Dünnschichtabscheidungsprozessen zu messen. Zwei Sensoreingänge sind Standard, vier zusätzliche Sensoreingänge sind optional. Zwei Schreiberausgänge liefern Analogsignale für Rate und Dicke.

Die Sensoreingänge können unterschiedlichen Materialien zugeordnet, für präzise Abscheidungskontrolle in großen Systemen gemittelt oder für einen Dualsensor konfiguriert werden. Durch den Ratenprobenahmemodus ist es möglich, die Lebensdauer von Verschlusssensoren in Prozessen mit hohen Raten zu verlängern. Der Benutzer kann zwischen Ratenanzeigen von 0,1Å/s oder 0,01Å/s wählen. Zusätzlich können Frequenz oder Masse angezeigt werden. Durch vier Relaisausgänge kann der SQM-160 Quell- oder Sensorverschlüsse steuern und Sollwerte für Zeit und Dicke sowie Kristallfehler signalisieren. Mithilfe der digitalen Eingänge können externe Signale Messungen starten, anhalten oder auf Null setzen.

Merkmale

  • Zwei Messkanäle sind Standard, vier weitere sind optional.
  • Analoge Ausgänge zur Raten-/Dickenaufzeichnung
  • Variante mit hoher Auflösung: 0,03 Hz bei 10 Messungen/s
  • RS-232 standardmäßig, USB oder Ethernet optional

Technische Daten

Typ SQM-160 Standard Resolution SQM-160 High Resolution
QCM-Sensoreingänge Standard: 2; optional: 4 Standard: 2; optional: 4
Messfrequenzbereich Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
Frequenzauflösung (1) ± 0.30 Hz ± 0.03 Hz
Auflösung/Messung von Dicke und Abscheidungsrate (2) ± 0.37 Å ± 0.037 Å
Messintervall 0.10 to 2.0 s (adjustable) 0.10 to 2.0 s (adjustable)
Messfilter 1 to 20 readings 1 to 20 readings
Gespeicherte Schichten 99 99
Analogausgänge Two 0 to 5 VDC, rate & thickness Two 0 to 5 VDC, rate & thickness
Digitaleingänge/-ausgänge Four inputs, four relay outputs Four inputs, four relay outputs
Kommunikationsschnittstelle

Standard: RS-232;

Optional: USB or Ethernet

Standard: RS-232;

Optional: USB or Ethernet

Strom 100-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W 100-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE-Compliance

Class 1 equipment,

73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD

Class 1 equipment,

73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD

Gehäuse/Befestigung

1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,

89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")

1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,

89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")

Gewicht 2.7 Kg (6 lbs) 2.7 Kg (6 lbs)
Windows Software (im Lieferumfang eingeschlossen)

Provides remote setup and operation,

datalogging functions - see sample

screenshot at right.

Provides remote setup and operation,

datalogging functions - see sample

screenshot at right.

(1) Die Auflösung ist für Messintervalle von 0,10 Sekunden angegeben
(2)Tooling-Faktor/Dichte = 100/1, Grundfrequenz = 6 MHz, 0,10 s Messintervall

SQM-160_OrderChart_2013_web-01.png

Zubehör

Name Beschreibung
Einfach-Sensor mit Frontbeladung Einfach-Sensor mit Frontbeladung
Dual-Sensor mit Frontbeladung Dual-Sensor mit Frontbeladung
Cool Drawer-Single-Sensor Cool Drawer-Single-Sensor
Cool Drawer Dual-Sensor Cool Drawer Dual-Sensor
Ausheizbarer UHV-Sensor Ausheizbarer UHV-Sensor
Sputtersensor Sputtersensor
Teilenummer Produktbeschreibung
782-900-008 19-Zoll-Rack-Montagekit für ein SQM-160 oder CI-100 Gerät
782-900-014 19-Zoll-Rack-Montagekit für zwei SQM-160 oder CI-100 Geräte
782-502-096-G1 Karte für USB-Option
782-502-097-G1 Karte für Ethernet-Option
Oscillator kits (Oszillator und Kabel im Lieferumfang eingeschlossen)
783-500-109-10 3-m-Oszillatorkit - inkl. OSC-100-Oszillator, 6 Zoll(15 cm)-BNC-Kabel und 3-m-BNC-Kabel
783-500-109-25 7,6-m-Oszillatorkit - inkl. OSC-100-Oszillator, 6 Zoll(15 cm)-BNC-Kabel und 7,6-m-BNC-Kabel
783-500-109-50 15,2-m-Oszillatorkit - inkl. OSC-100-Oszillator, 6 Zoll(15 cm)-BNC-Kabel und 15,2-m-BNC-Kabel
783-500-109-75 22,8-m-Oszillatorkit - inkl. OSC-100-Oszillator, 6 Zoll(15 cm)-BNC-Kabel und 22,8-m-BNC-Kabel
Oscillator Only (Kabel nicht eingeschlossen)
783-500-013 Nur OSC-100-Oszillator (ohne Kabel)
Cables
782-902-011 6-Zoll(15 cm)-BNC-Kabel, Stecker/Steckbuchse
782-902-012-10 3-m-BNC-Kabel, Stecker/Stecker
782-902-012-25 7,6-m-BNC-Kabel, Stecker/Stecker
782-902-012-50 15,2-m-BNC-Kabel, Stecker/Stecker
782-902-012-75 22,8-m-BNC-Kabel, Stecker/Stecker

Verbrauchsmaterialien

Name Beschreibung
Quarzmonitorkristalle Quarzmonitorkristalle
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