SQC-310-Dünnschichtabscheidungs-Controller

Hochpräzise Steuerung sequenzieller Abscheidung oder Koabscheidung

Die kostengünstigen Dünnschichtcontroller der Baureihe INFICON SQC-310 bieten mit ihrer fortschrittlichen Elektronik und einem verbesserten Display zahlreiche Vorteile gegenüber Konkurrenzprodukten. Und Sie können das ideale Modell für Ihre Anwendung wählen: sequenzielle Abscheidung (SQC-310) oder Koabscheidung (SQC-310C).

 

Merkmale

  • Helle LCD-Farbanzeige - erhältlich auf Englisch oder Chinesisch
  • Standardmäßig RS-232 und USB (RS-232 und Ethernet optional)
  • Einfache Einrichtung und Bedienung mit dem Menü „Quick Setup“, sechs kontextabhängigen Tasten und einem praktischen Drehknopf zur Parametereinstellung
  • Windows®-basiertes Programm zur Entwicklung, Prüfung und zum Herunterladen von Prozessen sowie zur Erfassung von Messwertdaten auf Ihrem PC zur Prozessanalyse und Qualitätskontrolle
  • Präzise Prozesssteuerung, besonders bei niedrigen Abscheidungsraten, mit einer Auflösung von ±0,03 Hz bei 10 Messungen/Sekunde
  • Speicherkapazität für bis zu 100 Prozesse, 1000 Ebenen, 50 Schichten
  • Überwachung des Quellmaterials mit einem einzelnen Sensor oder mit mehreren Sensoren für eine präzise Überwachung der Quellverteilung

Technische Daten

Typ SQC-310 SQC-310C
Messung    
QCM-Eingänge 2 (4 optional) 4
Messfrequenzbereich Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
Frequenzauflösung (1) ± 0.012 Hz ± 0.012 Hz
Auflösung/Messung von Dicke und Abscheidungsrate (2) ±0.015 Å ±0.015 Å
Frequenzstabilität ± 2 ppm total, 0 to 50C ± 2 ppm total, 0 to 50C
Messintervall 0.10 to 1.0 s (adjustable) 0.10 to 1.0 s (adjustable)
Ratenanzeige 0.01 Å/sec 0.01 Å/sec
Steuerung    
Lagerung 100 processes, 1000 layers, 50 films 100 processes, 1000 layers, 50 films
Steuerausgänge 2 (4 optional) 4
Ausgangssignal ± 0 to 10 VDC, 15 bits ± 0 to 10 VDC, 15 bits
Digitaleingänge / Relais 8/8 (16/16 optional) 16/16
Digitaleingänge 5 VDC non-isolated 5 VDC non-isolated
Relais SPST Form 1A, 30V, 2A max SPST Form 1A, 30V, 2A max
Schnittstelle(n) Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional) Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)
Fernsteuerung der Stromversorgung Optional (IPN 782-900-017) Optional (IPN 782-900-017)
Display    
Typ 1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD 1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD
Graphe Rate, deviation, power or full screen numeric Rate, deviation, power or full screen numeric
Allgemeines    
Strom 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25 W
Compliance CE, RoHS CE, RoHS
Windows®-Software Included Included
Gehäuse/Befestigung 5 1/4” half-rack 5 1/4” half-rack
(1) Die Auflösung ist für Messintervalle von 0,25 Sekunden angegeben
(2)Tooling-Faktor/Dichte = 100/1, Grundfrequenz = 6 MHz, 0,25 s Messintervall

SQC-310-C_OrderChart_2013_web-01.png

Zubehör

Name Beschreibung
Einfach-Sensor mit Frontbeladung Einfach-Sensor mit Frontbeladung
Dual-Sensor mit Frontbeladung Dual-Sensor mit Frontbeladung
Cool Drawer-Single-Sensor Cool Drawer-Single-Sensor
Cool Drawer Dual-Sensor Cool Drawer Dual-Sensor
Ausheizbarer UHV-Sensor Ausheizbarer UHV-Sensor
Sputtersensor Sputtersensor
CrystalSix®-Sensor CrystalSix®-Sensor
Crystal 12®-Sensor Crystal 12®-Sensor
RSH-600-Drehsensor RSH-600-Drehsensor
Teilenummer Produktbeschreibung
782-900-017 Handgehaltenes Leistungssteuergerät, 3 m Spiralkabel
782-900-007 Full-Rack-Extender – Zur Montage eines SQC-310 oder eines Composer Elite in einem 19-Zoll-Rack (inkl. Abdeckung)
782-900-016 Rack-Adapter – zur Montage von zwei SQC-310 Geräten in einem 19-Zoll-Rack
782-502-097-G1 Karte für Ethernet-Option
782-502-096-G2 Karte für USB-Option
Oscillator kits (Oszillator und Kabel im Lieferumfang eingeschlossen)
783-500-109-10 3-m-Oszillatorkit - inkl. OSC-100-Oszillator, 6 Zoll(15 cm)-BNC-Kabel und 3-m-BNC-Kabel
783-500-109-25 7,6-m-Oszillatorkit - inkl. OSC-100-Oszillator, 6 Zoll(15 cm)-BNC-Kabel und 7,6-m-BNC-Kabel
783-500-109-50 15,2-m-Oszillatorkit - inkl. OSC-100-Oszillator, 6 Zoll(15 cm)-BNC-Kabel und 15,2-m-BNC-Kabel
783-500-109-75 22,8-m-Oszillatorkit - inkl. OSC-100-Oszillator, 6 Zoll(15 cm)-BNC-Kabel und 22,8-m-BNC-Kabel
Oscillator Only (Kabel nicht eingeschlossen)
783-500-013 Nur OSC-100-Oszillator (ohne Kabel)
Cables
782-902-011 6-Zoll(15 cm)-BNC-Kabel, Stecker/Steckbuchse
782-902-012-10 3-m-BNC-Kabel, Stecker/Stecker
782-902-012-25 7,6-m-BNC-Kabel, Stecker/Stecker
782-902-012-50 15,2-m-BNC-Kabel, Stecker/Stecker
782-902-012-75 22,8-m-BNC-Kabel, Stecker/Stecker

Verbrauchsmaterialien

Name Beschreibung
Quarzmonitorkristalle Quarzmonitorkristalle
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